公开(公告)号：CN113646532B

公开(公告)日：2023-04-14

申请号：CN202080024278.6

申请日：2020-02-26

Applicant: 住友重机械工业株式会社

Inventor： 中西嵩裕

IPC: F04B37/08

Abstract: 低温泵(10)具备：低温泵真空容器(12)；超低温制冷机(14)；第1凸缘(28)，固定于低温泵真空容器(12)；第2凸缘(30)，固定于超低温制冷机(14)且与第1凸缘(28)气密地连接；及环状层叠防振体(32)，从第1凸缘(28)朝向第2凸缘(30)依次配置第1环状防振材料(38)、第1环状支承部件(40)、中间环状防振材料(42)、第2环状支承部件(44)及第2环状防振材料(46)而成。第2环状支承部件(44)固定于第1凸缘(28)且第1环状支承部件(40)固定于第2凸缘(30)，使得第1凸缘(28)及第2环状支承部件(44)与第2凸缘(30)及第1环状支承部件(40)之间隔振。

公开(公告)号：CN118679319A

公开(公告)日：2024-09-20

申请号：CN202380021363.0

申请日：2023-01-25

Applicant: 住友重机械工业株式会社

Inventor： 中西嵩裕

IPC: F04B37/08

Abstract: 低温泵(10)能够经由闸阀(102)安装于真空腔室。低温泵(10)具备：制冷机(14)；及控制器(60)，其构成为，检测闸阀(102)是否处于关闭状态，并控制制冷机(14)以使闸阀(102)处于关闭状态时的制冷机(14)的制冷能力比闸阀(102)处于打开状态时的制冷能力增加。

公开(公告)号：CN118188400A

公开(公告)日：2024-06-14

申请号：CN202311590670.9

申请日：2023-11-27

Applicant: 住友重机械工业株式会社

Inventor： 中西嵩裕

IPC: F04B37/08 ,  F04B39/00 ,  F04B39/14

Abstract: 本发明的课题在于保护采用了防振结构的低温泵。低温泵(10)具备：低温泵真空容器(12)；超低温制冷机(14)；防振结构(16)，将超低温制冷机(14)连接于低温泵真空容器(12)；可拆卸的限制件(70)，与防振结构(16)并列地将超低温制冷机(14)连接于低温泵真空容器(12)，从而限制超低温制冷机(14)与低温泵真空容器(12)之间的防振结构(16)伸长及收缩。

公开(公告)号：CN116848321A

公开(公告)日：2023-10-03

申请号：CN202280013932.2

申请日：2022-02-10

Applicant: 住友重机械工业株式会社

Inventor： 五反田修平 ,  中西嵩裕

IPC: F04B37/08

Abstract: 本发明的低温泵(10)具备：低温泵容器(16)，具有确定低温泵进气口(17)的容器主体(16a)及连接于容器主体(16a)的侧部的制冷机容纳筒(16b)；制冷机(14)，固定于制冷机容纳筒(16b)，并且具有第1冷却台(30)及冷却至比第1冷却台(30)更低的温度的第2冷却台(34)；多个低温板(38)，与第2冷却台(34)热连接，并且各个低温板能够吸附非冷凝性气体，多个低温板沿从低温泵进气口(17)朝向容器主体(16a)的底部的方向排列或者从低温泵进气口(17)观察时配置成放射状；及吹扫气体导入部(20)，在比制冷机容纳筒(16b)更靠下方位置设置于容器主体(16a)上，从而向远离第2冷却台(34)的低温板(38)的远端部喷吹吹扫气体。

公开(公告)号：CN113646532A

公开(公告)日：2021-11-12

申请号：CN202080024278.6

申请日：2020-02-26

Applicant: 住友重机械工业株式会社

Inventor： 中西嵩裕

IPC: F04B37/08

Abstract: 低温泵(10)具备：低温泵真空容器(12)；超低温制冷机(14)；第1凸缘(28)，固定于低温泵真空容器(12)；第2凸缘(30)，固定于超低温制冷机(14)且与第1凸缘(28)气密地连接；及环状层叠防振体(32)，从第1凸缘(28)朝向第2凸缘(30)依次配置第1环状防振材料(38)、第1环状支承部件(40)、中间环状防振材料(42)、第2环状支承部件(44)及第2环状防振材料(46)而成。第2环状支承部件(44)固定于第1凸缘(28)且第1环状支承部件(40)固定于第2凸缘(30)，使得第1凸缘(28)及第2环状支承部件(44)与第2凸缘(30)及第1环状支承部件(40)之间隔振。