公开(公告)号：CN101840879B

公开(公告)日：2011-11-09

申请号：CN201010143307.9

申请日：2010-03-17

Applicant: 住友重机械工业株式会社

Inventor： 牧野史纪 ,  小梁川靖 ,  中岛龙太

IPC: H01L21/683 ,  H01L21/677 ,  H01L21/66 ,  G03F7/20

CPC classification number: B23Q1/621 ,  G03F7/70716 ,  H01L21/682

Abstract: 一种XY工作台装置、半导体检查装置及半导体曝光装置，对Y轴移动体的偏航角度进行期望的控制且提高X轴移动体的行进精度。XY工作台装置具备：X轴移动体(3)，在定盘(2)上沿X轴方向移动；Y轴移动体(4)，在定盘上沿Y轴方向移动且引导X轴移动体的移动；轴电动机(14A、14B)，沿Y轴方向驱动Y轴移动体；及线性标尺(16A、16B)，检测Y轴移动体的偏航角度。其中，由控制器(17)根据偏航角度控制轴电动机的驱动，能够对应于偏航角度适当控制轴电动机。由滚动引导件(11)支持Y轴移动体的X轴方向一端部，由提升气垫(12)支持Y轴移动体的X轴方向另一端部，Y轴移动体在X轴方向不被完全限制。

公开(公告)号：CN101840879A

公开(公告)日：2010-09-22

申请号：CN201010143307.9

申请日：2010-03-17

Applicant: 住友重机械工业株式会社

Inventor： 牧野史纪 ,  小梁川靖 ,  中岛龙太

IPC: H01L21/683 ,  H01L21/677 ,  H01L21/66 ,  G03F7/20

CPC classification number: B23Q1/621 ,  G03F7/70716 ,  H01L21/682

Abstract: 一种XY工作台装置、半导体检查装置及半导体曝光装置，对Y轴移动体的偏航角度进行期望的控制且提高X轴移动体的行进精度。XY工作台装置具备：X轴移动体(3)，在定盘(2)上沿X轴方向移动；Y轴移动体(4)，在定盘上沿Y轴方向移动且引导X轴移动体的移动；轴电动机(14A、14B)，沿Y轴方向驱动Y轴移动体；及线性标尺(16A、16B)，检测Y轴移动体的偏航角度。其中，由控制器(17)根据偏航角度控制轴电动机的驱动，能够对应于偏航角度适当控制轴电动机。由滚动引导件(11)支持Y轴移动体的X轴方向一端部，由提升气垫(12)支持Y轴移动体的X轴方向另一端部，Y轴移动体在X轴方向不被完全限制。

公开(公告)号：CN1868094A

公开(公告)日：2006-11-22

申请号：CN200480030352.6

申请日：2004-10-15

Applicant: 住友重机械工业株式会社

Inventor： 筱平大辅 ,  臼井道太郎 ,  森英彦 ,  小梁川靖

IPC: H01R9/24 ,  H02K5/22

CPC classification number: H01R13/5202 ,  H01R9/24 ,  H01R13/5216 ,  H01R13/748 ,  H02K5/225

Abstract: 本发明提供一种端子板组件，其包括：在下面一侧具有用于连接引线(60)的金属端子(12)的端子板(10)；粘接在端子板的下面一侧、在与包括金属端子及其周围区域的部分相对应的部分具有孔(20－1)的绝缘板(20)；具有粘接到绝缘板的下面一侧的上面、并具有从上面贯穿到下面的贯通孔(30－2)的金属板(30)。引线穿过贯通孔(30－2)引出到金属板的下面一侧。将粘接剂填充到包括孔(20－1)的绝缘板与端子板的接触面、绝缘板与金属板的接触面、以及贯通孔(30－2)中，由螺栓(40)将端子板组件一体化。

公开(公告)号：CN100421305C

公开(公告)日：2008-09-24

申请号：CN200480030352.6

申请日：2004-10-15

Applicant: 住友重机械工业株式会社

Inventor： 筱平大辅 ,  臼井道太郎 ,  森英彦 ,  小梁川靖

IPC: H01R9/24 ,  H02K5/22

CPC classification number: H01R13/5202 ,  H01R9/24 ,  H01R13/5216 ,  H01R13/748 ,  H02K5/225

Abstract: 本发明提供一种端子板组件，其包括：在下面一侧具有用于连接引线(60)的金属端子(12)的端子板(10)；粘接在端子板的下面一侧、在与包括金属端子及其周围区域的部分相对应的部分具有孔(20-1)的绝缘板(20)；具有粘接到绝缘板的下面一侧的上面、并具有从上面贯穿到下面的贯通孔(30-2)的金属板(30)。引线穿过贯通孔(30-2)引出到金属板的下面一侧。将粘接剂填充到包括孔(20-1)的绝缘板与端子板的接触面、绝缘板与金属板的接触面、以及贯通孔(30-2)中，由螺栓(40)将端子板组件一体化。

公开(公告)号：CN1611430A

公开(公告)日：2005-05-04

申请号：CN200410083505.5

申请日：2004-10-08

Applicant: 住友重机械工业株式会社

Inventor： 富田良幸 ,  小林雄二 ,  小梁川靖 ,  光永阳介

IPC: B65G49/06 ,  B05C5/02 ,  G01N21/896

Abstract: 本发明提供一种可以减少搬运所需推力、并且能够抑制被搬运物的弯曲的搬运装置、具备这种搬运装置的涂敷系统及检验系统。搬运装置(12、62)具备：具有沿被搬运物(28)的搬运方向X延伸的主面(16a)的底座(16)；向搬运方向X延伸的引导部件(18)；被引导部件(18)引导，从而能够向搬运方向X移动的移动部件(20)；被固定在移动部件(20)上，并且与主面(16a)保持间隙，而固定被搬运物(28)的固定部件(24)；以及，用于在底座(16)上的搬运方向X的部分区域内，对被搬向搬运方向X的被搬运物(28)进行气体的吐出和吸引的气体吐出吸引机构(26)。