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公开(公告)号:CN110391582B
公开(公告)日:2024-04-12
申请号:CN201910262061.8
申请日:2019-04-02
申请人: 住友重机械工业株式会社
IPC分类号: H01S3/097
摘要: 本发明提供一种提高了可靠性的激光装置。高频电源(400)向包含一对放电电极(202、204)的电容的谐振电路(210)施加高频电压(VRF)。过电压抑制电路(500)抑制谐振电路(210)的两端之间的过电压。若保护电路(550)检测出异常,则保护电路(550)停止来自高频电源(400)的高频电压(VRF)的施加。
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公开(公告)号:CN110391582A
公开(公告)日:2019-10-29
申请号:CN201910262061.8
申请日:2019-04-02
申请人: 住友重机械工业株式会社
IPC分类号: H01S3/097
摘要: 本发明提供一种提高了可靠性的激光装置。高频电源(400)向包含一对放电电极(202、204)的电容的谐振电路(210)施加高频电压(VRF)。过电压抑制电路(500)抑制谐振电路(210)的两端之间的过电压。若保护电路(550)检测出异常,则保护电路(550)停止来自高频电源(400)的高频电压(VRF)的施加。
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公开(公告)号:CN110048695B
公开(公告)日:2024-01-12
申请号:CN201910023076.9
申请日:2019-01-10
申请人: 住友重机械工业株式会社
IPC分类号: H03K3/57 , H03K3/011 , H01S3/0975
摘要: 本发明提供一种能够提高进行间歇动作的负载的动作频率的电源装置。电源装置(200)具备电容器组(202)及充电电源(210)。在电容器组(104)。充电电源(210)包含开关转换器(212),并且对电容器组(202)进行充电。充电电源(210)以负载即高频电源(104)的动作开始作为触发而进行使开关转换器(212)的低侧晶体管(M1)导通一次的主充电。(202)连接有进行间歇动作的负载即高频电源
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公开(公告)号:CN110048695A
公开(公告)日:2019-07-23
申请号:CN201910023076.9
申请日:2019-01-10
申请人: 住友重机械工业株式会社
IPC分类号: H03K3/57 , H03K3/011 , H01S3/0975
摘要: 本发明提供一种能够提高进行间歇动作的负载的动作频率的电源装置。电源装置(200)具备电容器组(202)及充电电源(210)。在电容器组(202)连接有进行间歇动作的负载即高频电源(104)。充电电源(210)包含开关转换器(212),并且对电容器组(202)进行充电。充电电源(210)以负载即高频电源(104)的动作开始作为触发而进行使开关转换器(212)的低侧晶体管(M1)导通一次的主充电。
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