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公开(公告)号：CN110095935B
公开(公告)日：2022-05-10
申请号：CN201811423993.8
申请日：2018-11-27
Applicant: 住友重机械工业株式会社
Inventor： 镒广诚
Abstract: 本发明提供一种能够减少膜表面的凹凸的膜形成方法。沿着基板表面的应形成膜的预定区域的边缘涂布油墨并使其固化而形成框部分。向预定区域的内部涂布油墨并使其固化，从而形成设置有未涂布有油墨的间隙的粗涂布部分。在形成了框部分及粗涂布部分之后，向粗涂布部分的间隙涂布油墨，并经过比形成框部分时的从油墨的涂布至固化为止的时间以及形成粗涂布部分时的从油墨的涂布至固化为止的时间均长的时间之后，使涂布于间隙中的油墨固化，从而形成覆盖预定区域的整个区域的膜。
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公开(公告)号：CN1319653C
公开(公告)日：2007-06-06
申请号：CN200410069688.5
申请日：2004-07-19
Applicant: 住友重机械工业株式会社
Abstract: 本发明提供一种通过降低滑动件部分的重心来使俯仰振动难以发生的工作台装置。本台式涂敷机用工作台装置包括：可以沿搭载被处理基板的基板台(100)的表面沿Y轴方向移动的第1滑动件和组装到第1滑动件上能够与第1滑动件一起沿Y轴的方向移动的、用来沿上下方向驱动喷嘴(140)的第2滑动件。第1滑动件由2个线性电动机构成的Y轴驱动机构(120A、120B)构成，该Y轴驱动机构能够沿设置在与基板台的两侧相对应的位置上、互相平行延伸的2根导轨(110A、110B)移动；第2滑动件由组装到2个Y轴驱动机构中的2个滑动楔块机构(10)构成。在这2个滑动楔块机构中的上下移动块(11)之间架设有喷嘴。
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公开(公告)号：CN1575863A
公开(公告)日：2005-02-09
申请号：CN200410069687.0
申请日：2004-07-19
Applicant: 住友重机械工业株式会社
Abstract: 本发明提供一种能够防止微小振动产生的涂敷不匀的台式涂敷机用工作台装置。本工作台装置用滑动件在设置于工作台(10)上的石平台(20)上配置的基板台(30)的上方沿一轴方向运送喷嘴(60)。滑动件包括由2台线性电动机构成的2个Y轴驱动机构(40A、40B)，该线性电动机具有能够沿设置在石平台的两侧沿上述一轴方向互相平行延伸地配置的2条导轨(21A、21B)行走的可动部。各线性电动机的轭铁介由结构上与石平台分离设置的、沿一个轴的方向延伸的臂(11A、11B)，沿导轨配置；工作台与石平台之间至少设置了1个减振单元(25)。
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公开(公告)号：CN106079205A
公开(公告)日：2016-11-09
申请号：CN201610184778.1
申请日：2016-03-28
Applicant: 住友重机械工业株式会社
Inventor： 镒广诚
Abstract: 本发明提供一种能够减轻维护作业的负担的膜形成装置。多个吐出模块包括向保持于载物台的基板吐出墨滴的喷嘴孔。支承结构物将多个吐出模块支承于载物台的上方。分别与多个吐出模块相对应地配置的供给模块分别向相对应的吐出模块供给墨水。各供给模块包括对墨水进行加热的加热装置。移动机构使载物台和吐出模块的一方相对于另一方移动。控制装置控制吐出模块、移动机构及加热装置。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1323765C
公开(公告)日：2007-07-04
申请号：CN200410069687.0
申请日：2004-07-19
Applicant: 住友重机械工业株式会社
Abstract: 本发明提供一种能够防止微小振动产生的涂敷不匀的台式涂敷机用工作台装置。本工作台装置用滑动件在设置于工作台(10)上的石平台(20)上配置的基板台(30)的上方沿一轴方向运送喷嘴(60)。滑动件包括由2台线性电动机构成的2个Y轴驱动机构(40A、40B)，该线性电动机具有能够沿设置在石平台的两侧沿上述一轴方向互相平行延伸地配置的2条导轨(21A、21B)行走的可动部。各线性电动机的轭铁介由结构上与石平台分离设置的、沿一个轴的方向延伸的臂(11A、11B)，沿导轨配置；工作台与石平台之间至少设置了1个减振单元(25)。
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公开(公告)号：CN113334930A
公开(公告)日：2021-09-03
申请号：CN202110224999.8
申请日：2021-03-01
Applicant: 住友重机械工业株式会社
Inventor： 镒广诚
IPC: B41J2/01
Abstract: 本发明提供一种油墨涂布装置，其能够抑制由于无法发挥表面的充分的改性效果引起油墨的涂布不良。表面改性装置改变基板表面的亲液性。喷墨头将油墨进行液滴化后朝向基板吐出。控制装置控制表面改性装置及喷墨头。该控制装置对通过表面改性装置而表面得到改性的每个基板监视进行了改性之后的经过时间，并针对表面改性之后的经过时间超过了容许上限值的基板中止从喷墨头吐出油墨。
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公开(公告)号：CN1575864A
公开(公告)日：2005-02-09
申请号：CN200410069688.5
申请日：2004-07-19
Applicant: 住友重机械工业株式会社
Abstract: 本发明提供一种通过降低滑动件部分的重心来使俯仰振动难以发生的工作台装置。本台式涂敷机用工作台装置包括：可以沿搭载被处理基板的基板台(100)的表面沿Y轴方向移动的第1滑动件和组装到第1滑动件上能够与第1滑动件一起沿Y轴的方向移动的、用来沿上下方向驱动喷嘴(140)的第2滑动件。第1滑动件由2个线性电动机构成的Y轴驱动机构(120A、120B)构成，该Y轴驱动机构能够沿设置在与基板台的两侧相对应的位置上、互相平行延伸的2根导轨(110A、110B)移动；第2滑动件由组装到2个Y轴驱动机构中的2个滑动楔块机构(10)构成。在这2个滑动楔块机构中的上下移动块(11)之间架设有喷嘴。
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公开(公告)号：CN113334930B
公开(公告)日：2023-03-17
申请号：CN202110224999.8
申请日：2021-03-01
Applicant: 住友重机械工业株式会社
Inventor： 镒广诚
IPC: B41J2/01
Abstract: 本发明提供一种油墨涂布装置，其能够抑制由于无法发挥表面的充分的改性效果引起油墨的涂布不良。表面改性装置改变基板表面的亲液性。喷墨头将油墨进行液滴化后朝向基板吐出。控制装置控制表面改性装置及喷墨头。该控制装置对通过表面改性装置而表面得到改性的每个基板监视进行了改性之后的经过时间，并针对表面改性之后的经过时间超过了容许上限值的基板中止从喷墨头吐出油墨。
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公开(公告)号：CN110095935A
公开(公告)日：2019-08-06
申请号：CN201811423993.8
申请日：2018-11-27
Applicant: 住友重机械工业株式会社
Inventor： 镒广诚
Abstract: 本发明提供一种能够减少膜表面的凹凸的膜形成方法。沿着基板表面的应形成膜的预定区域的边缘涂布油墨并使其固化而形成框部分。向预定区域的内部涂布油墨并使其固化，从而形成设置有未涂布有油墨的间隙的粗涂布部分。在形成了框部分及粗涂布部分之后，向粗涂布部分的间隙涂布油墨，并经过比形成框部分时的从油墨的涂布至固化为止的时间以及形成粗涂布部分时的从油墨的涂布至固化为止的时间均长的时间之后，使涂布于间隙中的油墨固化，从而形成覆盖预定区域的整个区域的膜。
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