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公开(公告)号：CN101459103B
公开(公告)日：2011-11-30
申请号：CN200810087089.4
申请日：2008-04-11
Applicant: 住友重机械工业株式会社
IPC: H01L21/687 , B23Q1/25
Abstract: 本发明提供一种通过提高基台的刚性、能够不降低生产能力而在基台上正确地处理基板的台装置。台装置(1)具备基台(10)、在基台(10)上可移动地设置的台架部(30)、和支撑基台(10)的除振单元(50)。基台(10)具有将罐部件以框状连结而构建的上部框架(12)、将罐部件以框状连结而构建、与上部框架(12)上下离开而设置的下部框架(22)、和将上部框架(12)与下部框架(22)连结的连结部件(18)。
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公开(公告)号：CN1323765C
公开(公告)日：2007-07-04
申请号：CN200410069687.0
申请日：2004-07-19
Applicant: 住友重机械工业株式会社
Abstract: 本发明提供一种能够防止微小振动产生的涂敷不匀的台式涂敷机用工作台装置。本工作台装置用滑动件在设置于工作台(10)上的石平台(20)上配置的基板台(30)的上方沿一轴方向运送喷嘴(60)。滑动件包括由2台线性电动机构成的2个Y轴驱动机构(40A、40B)，该线性电动机具有能够沿设置在石平台的两侧沿上述一轴方向互相平行延伸地配置的2条导轨(21A、21B)行走的可动部。各线性电动机的轭铁介由结构上与石平台分离设置的、沿一个轴的方向延伸的臂(11A、11B)，沿导轨配置；工作台与石平台之间至少设置了1个减振单元(25)。
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公开(公告)号：CN110099513A
公开(公告)日：2019-08-06
申请号：CN201811248191.8
申请日：2012-07-17
Applicant: 住友重机械工业株式会社
Abstract: 本发明提供一种基板制造装置及基板制造方法。本发明的基板制造装置，在第1涂布站中，对底层基板的单面涂布液状薄膜材料，并对涂布于底层基板的薄膜材料照射光来固化薄膜材料的表层部。在第1涂布站中被涂布薄膜材料的底层基板搬入到反转站。在反转站对涂布于底层基板的薄膜材料照射光来使薄膜材料固化至其内部，并且使底层基板的背面和表面反转。搬送装置在第1涂布站与反转站之间搬送底层基板。控制装置控制第1涂布站、反转站及搬送装置。控制装置控制搬送装置将在第1涂布站中经处理的底层基板搬送到反转站。
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公开(公告)号：CN101459104A
公开(公告)日：2009-06-17
申请号：CN200810095603.9
申请日：2008-04-29
Applicant: 住友重机械工业株式会社
IPC: H01L21/687 , G02F1/13 , G02F1/1333 , B23Q1/25 , B23Q1/01
Abstract: 本发明提供一种能够在对基台下的构造提高设计的自由度的同时抑制大型化的台装置。一种具备基台(10)、和在基台(10)上可沿一轴方向移动地设置的台架部(30)的台装置(1)，具备：伸出片(52)，设置为使其向基台(1)的侧方伸出，设置有沿着一轴方向延伸、引导台架部(30)的移动的导轨(40)；和线缆托架(60)，设在基台(10)的侧方、伸出片(52)的下方，追随台架部(30)的移动而变形，汇集并配线控制台架部(30)的线缆。
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公开(公告)号：CN1824458A
公开(公告)日：2006-08-30
申请号：CN200610009405.7
申请日：2006-02-21
Applicant: 住友重机械工业株式会社
Abstract: 本发明以可修正梁相对工作台的平行度为课题，提供载物台装置和龙门型载物台装置及载物台装置的控制方法。载物台装置(10)为使作为工件的基板(11)沿水平方向移动的被称为“龙门型”的载物台装置，具有基座(12)、沿Y方向可移动地设置在基座上的工作台(14)、固定在基座上的门型龙门部(16)、控制工作台沿Y方向移动并进行龙门部在Z方向上的高度调整控制的控制装置(17)。龙门部具有横架在工作台上方的梁(18)和支持梁两端部的一对Z轴驱动机构(20)。并且，梁上设置有测量与工作台的距离的一对Z方向传感器(21A、21B)。通过驱动Z轴驱动机构使Z方向传感器测量到的值相等来使梁处于与工作台的上面平行的状态。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1575864A
公开(公告)日：2005-02-09
申请号：CN200410069688.5
申请日：2004-07-19
Applicant: 住友重机械工业株式会社
Abstract: 本发明提供一种通过降低滑动件部分的重心来使俯仰振动难以发生的工作台装置。本台式涂敷机用工作台装置包括：可以沿搭载被处理基板的基板台(100)的表面沿Y轴方向移动的第1滑动件和组装到第1滑动件上能够与第1滑动件一起沿Y轴的方向移动的、用来沿上下方向驱动喷嘴(140)的第2滑动件。第1滑动件由2个线性电动机构成的Y轴驱动机构(120A、120B)构成，该Y轴驱动机构能够沿设置在与基板台的两侧相对应的位置上、互相平行延伸的2根导轨(110A、110B)移动；第2滑动件由组装到2个Y轴驱动机构中的2个滑动楔块机构(10)构成。在这2个滑动楔块机构中的上下移动块(11)之间架设有喷嘴。
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公开(公告)号：CN110099513B
公开(公告)日：2022-02-18
申请号：CN201811248191.8
申请日：2012-07-17
Applicant: 住友重机械工业株式会社
Abstract: 本发明提供一种基板制造装置及基板制造方法。本发明的基板制造装置，在第1涂布站中，对底层基板的单面涂布液状薄膜材料，并对涂布于底层基板的薄膜材料照射光来固化薄膜材料的表层部。在第1涂布站中被涂布薄膜材料的底层基板搬入到反转站。在反转站对涂布于底层基板的薄膜材料照射光来使薄膜材料固化至其内部，并且使底层基板的背面和表面反转。搬送装置在第1涂布站与反转站之间搬送底层基板。控制装置控制第1涂布站、反转站及搬送装置。控制装置控制搬送装置将在第1涂布站中经处理的底层基板搬送到反转站。
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公开(公告)号：CN103718661A
公开(公告)日：2014-04-09
申请号：CN201280037448.X
申请日：2012-07-17
Applicant: 住友重机械工业株式会社
CPC classification number: B05D3/065 , H05K3/0091 , H05K2203/1563
Abstract: 本发明提供一种基板制造装置及基板制造方法。本发明的基板制造装置，在第1涂布站中，对底层基板的单面涂布液状薄膜材料，并对涂布于底层基板的薄膜材料照射光来固化薄膜材料的表层部。在第1涂布站中被涂布薄膜材料的底层基板搬入到反转站。在反转站对涂布于底层基板的薄膜材料照射光来使薄膜材料固化至其内部，并且使底层基板的背面和表面反转。搬送装置在第1涂布站与反转站之间搬送底层基板。控制装置控制第1涂布站、反转站及搬送装置。控制装置控制搬送装置将在第1涂布站中经处理的底层基板搬送到反转站。
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公开(公告)号：CN1824458B
公开(公告)日：2011-01-19
申请号：CN200610009405.7
申请日：2006-02-21
Applicant: 住友重机械工业株式会社
Abstract: 本发明以可修正梁相对工作台的平行度为课题，提供载物台装置和龙门型载物台装置及载物台装置的控制方法。载物台装置(10)为使作为工件的基板(11)沿水平方向移动的被称为“龙门型”的载物台装置，具有基座(12)、沿Y方向可移动地设置在基座上的工作台(14)、固定在基座上的门型龙门部(16)、控制工作台沿Y方向移动并进行龙门部在Z方向上的高度调整控制的控制装置(17)。龙门部具有横架在工作台上方的梁(18)和支持梁两端部的一对Z轴驱动机构(20)。并且，梁上设置有测量与工作台的距离的一对Z方向传感器(21A、21B)。通过驱动Z轴驱动机构使Z方向传感器测量到的值相等来使梁处于与工作台的上表面平行的状态。
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公开(公告)号：CN101459104B
公开(公告)日：2010-09-22
申请号：CN200810095603.9
申请日：2008-04-29
Applicant: 住友重机械工业株式会社
IPC: H01L21/687 , G02F1/13 , G02F1/1333 , B23Q1/25 , B23Q1/01
Abstract: 本发明提供一种能够在对基台下的构造提高设计的自由度的同时抑制大型化的台装置。一种具备基台(10)、和在基台(10)上可沿一轴方向移动地设置的台架部(30)的台装置(1)，具备：伸出片(52)，设置为使其向基台(1)的侧方伸出，设置有沿着一轴方向延伸、引导台架部(30)的移动的导轨(40)；和线缆托架(60)，设在基台(10)的侧方、伸出片(52)的下方，追随台架部(30)的移动而变形，汇集并配线控制台架部(30)的线缆。
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