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公开(公告)号：CN101529116A
公开(公告)日：2009-09-09
申请号：CN200780038467.3
申请日：2007-10-15
Applicant: 佛姆法克特股份有限公司
Abstract: 包括多个垂直对齐的碳纳米管柱可被构造为机电接触结构或探针。柱可在牺牲衬底上生长，并转移到产品衬底上，或者柱可在产品衬底上生长。柱可被处理成增强诸如刚度之类的机械性质、诸如电导率之类的电性质和/或物理接触特性。可机械地调节柱以使其具有预定的弹簧性质。可将柱用作例如机电探针，以接触和测试诸如半导体管芯的电子器件，且柱可在电子器件的端子上制作独特的标记。
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