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公开(公告)号：CN101467054A
公开(公告)日：2009-06-24
申请号：CN200780022191.X
申请日：2007-05-25
Applicant: 佛姆法克特股份有限公司
Inventor： J·K·格里特斯
IPC: G01R31/02
CPC classification number: G01R1/07342 , G01R1/06727 , G01R3/00
Abstract: 在本发明的一些实施例中，探测装置包括基板、附连于基板的弹性结构和附连于弹性结构的多个弹力探针。每个探针可包括设置成与器件接触的接触部分。弹性结构可响应探针接触部分上的力为每个探针提供第一顺应源，且每个探针可单独响应探针的接触部分上的力各自提供第二顺应源。
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公开(公告)号：CN101652901A
公开(公告)日：2010-02-17
申请号：CN200780031193.5
申请日：2007-08-21
Applicant: 佛姆法克特股份有限公司
IPC: H01R12/00
CPC classification number: G01R1/06755 , H01R13/03 , Y10T29/49204
Abstract: 可以使用碳纳米管接触结构来构成对DUT的压力连接。所述接触结构可以使用碳纳米管膜或用溶液中的碳纳米管形成。碳纳米管膜可以在牺牲基板的沟槽中生长，然后通过金属镀敷在此基板中形成接触结构如梁或接触元件。还可以在接触元件上形成此膜，并且所述膜中散布有金属柱，以提供刚性和弹性。接触结构或其部分也可以用含碳纳米管的溶液镀敷形成。产生的接触结构可以是韧性的，并提供了良好的导电性。
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公开(公告)号：CN101517422A
公开(公告)日：2009-08-26
申请号：CN200780035871.5
申请日：2007-09-27
Applicant: 佛姆法克特股份有限公司
IPC: G01R31/02
CPC classification number: G01R1/07342 , G01R1/06727 , G01R1/07378 , G01R31/31905
Abstract: 探针组可包括用于测试具有接触焊盘的器件的多个探针。这些探针可包括梁、接触针尖结构、以及安装部分。这些梁可提供受控的探针挠曲。接触针尖结构可连接至梁且可包括用于与器件接触的接触部分。梁的安装部分可附连至支承结构，支承结构可被安排成交错图案。位于交错图案的第一行的梁可包括与梁的第二行的安装部分基本成一条直线的窄化区。
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公开(公告)号：CN101490570A
公开(公告)日：2009-07-22
申请号：CN200680050179.5
申请日：2006-12-19
Applicant: 佛姆法克特股份有限公司
IPC: G01R31/02
CPC classification number: G01R3/00 , G01R1/06716 , G01R1/06727 , G01R1/06744
Abstract: 揭示了探针阵列结构和制造探针阵列结构的方法。可以提供设置在第一基板上的多个导电细长接触结构。然后，接触结构可以被部分地包入固定材料中，使得接触结构的末端从固定材料的表面延伸出来。然后，接触结构的露出的部分可以被俘获在第二基板中。
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公开(公告)号：CN101606073A
公开(公告)日：2009-12-16
申请号：CN200780046189.6
申请日：2007-11-25
Applicant: 佛姆法克特股份有限公司
Inventor： J·K·格里特斯
IPC: G01R31/02
CPC classification number: H01R13/2407 , H01R4/4809 , Y10T29/49222
Abstract: 本发明提供了加强弹性元件及其制造方法的实施例。在一实施例中，一种加强弹性元件包括：被配置为电探测待测器件的弹性元件，该弹性元件具有第一末端和相反的第二末端；和加强构件，其具有：第一末端，其在该弹性元件的第一末端处或设置在该弹性元件的第一与第二末端之间的一点处附连到该弹性元件；相反的第二末端，该第二末端按照朝向弹性构件的第二末端的方向设置；以及设置在第一和第二末端之间的弹性部分，其中该弹性部分不附连到该弹性构件。
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公开(公告)号：CN101529116A
公开(公告)日：2009-09-09
申请号：CN200780038467.3
申请日：2007-10-15
Applicant: 佛姆法克特股份有限公司
Abstract: 包括多个垂直对齐的碳纳米管柱可被构造为机电接触结构或探针。柱可在牺牲衬底上生长，并转移到产品衬底上，或者柱可在产品衬底上生长。柱可被处理成增强诸如刚度之类的机械性质、诸如电导率之类的电性质和/或物理接触特性。可机械地调节柱以使其具有预定的弹簧性质。可将柱用作例如机电探针，以接触和测试诸如半导体管芯的电子器件，且柱可在电子器件的端子上制作独特的标记。
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公开(公告)号：CN101454679A
公开(公告)日：2009-06-10
申请号：CN200780019033.9
申请日：2007-04-19
Applicant: 佛姆法克特股份有限公司
IPC: G01R31/02
CPC classification number: G01R31/312 , G01R1/06727 , G01R1/06744 , G01R1/07342 , G01R3/00
Abstract: 一种探针装置包括基板、附加在基板上的接触结构以及电连接到接触结构的电子组件。电子组件可以附加在接触结构上。
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