公开(公告)号：CN101140297A

公开(公告)日：2008-03-12

申请号：CN200710163679.6

申请日：2003-12-15

申请人： 佛姆费克托公司

发明人： 蒂莫西·E·科珀 ,  本杰明·N·埃尔德里奇 ,  卡尔·V·雷诺兹 ,  拉温德拉·V·社诺伊

IPC分类号： G01R1/073 ,  G01R31/26 ,  G01R31/28 ,  H01L21/66

CPC分类号： G01R31/2887 ,  G01R3/00 ,  G01R31/2886

摘要： 本发明揭示用于测试半导体器件的方法和装置。超程止挡件限制一待测器件相对于一探针卡总成的探针的超程。利用反馈控制技术来控制器件与探针卡总成的相对移动。一探针卡总成包括用于吸收待测器件相对于探针卡总成的过量超程的柔性基座。

公开(公告)号：CN1745308A

公开(公告)日：2006-03-08

申请号：CN200380109301.8

申请日：2003-12-15

申请人： 佛姆费克托公司

发明人： 蒂莫西·E·科珀 ,  本杰明·N·埃尔德里奇 ,  卡尔·V·雷诺兹 ,  拉温德拉·V·社诺伊

IPC分类号： G01R1/073 ,  G01R31/316 ,  G01R3/00

CPC分类号： G01R31/2887 ,  G01R3/00 ,  G01R31/2886

摘要： 本发明揭示用于测试半导体器件的方法和装置。超程止挡件限制一待测器件相对于一探针卡总成的探针的超程。利用反馈控制技术来控制器件与探针卡总成的相对移动。一探针卡总成包括用于吸收待测器件相对于探针卡总成的过量超程的柔性基座。

公开(公告)号：CN100424513C

公开(公告)日：2008-10-08

申请号：CN200380109301.8

申请日：2003-12-15

申请人： 佛姆费克托公司

发明人： 蒂莫西·E·科珀 ,  本杰明·N·埃尔德里奇 ,  卡尔·V·雷诺兹 ,  拉温德拉·V·社诺伊

IPC分类号： G01R1/073 ,  G01R31/316 ,  G01R3/00

CPC分类号： G01R31/2887 ,  G01R3/00 ,  G01R31/2886

摘要： 本发明揭示用于测试半导体器件的方法和装置。超程止挡件限制一待测器件相对于一探针卡总成的探针的超程。利用反馈控制技术来控制器件与探针卡总成的相对移动。一探针卡总成包括用于吸收待测器件相对于探针卡总成的过量超程的柔性基座。