基于振镜的激光干涉微纳制造系统

    公开(公告)号:CN118808887B

    公开(公告)日:2025-02-18

    申请号:CN202410560802.1

    申请日:2024-05-08

    Applicant: 佛山大学

    Abstract: 本发明涉及一种基于振镜的激光干涉微纳制造系统,包括激光器,激光分束光传输装置,第一振镜接收所述第一相干光束,第二振镜接收第二相干光束;加工平台包括载台、X轴移动模组和Y轴移动模组,载台用于装载待加工件,待加工件的表面划分有阵列排布的多个加工分区,载台设置于X轴移动模组上,X轴移动模组设置于Y轴移动模组上,经第一振镜控制后的第一相干光束与经第二振镜控制后的第二相干光束汇聚而形成干涉光斑,干涉光斑在每个加工分区内加工出分块图案,在X轴移动模组和Y轴移动模组的协同运动下,带动载台相对第一振镜和第二振镜平移,以使干涉光斑逐个移动到所有的加工分区内以实现所有分块图案拼接加工得到完整图案。

    一种基于双振镜的光固化增材制造系统

    公开(公告)号:CN118810021A

    公开(公告)日:2024-10-22

    申请号:CN202410559674.9

    申请日:2024-05-08

    Applicant: 佛山大学

    Abstract: 本发明涉及一种基于双振镜的光固化增材制造系统,包括:激光器,用于发出加工激光;激光分束光传输装置,所述激光分束光传输装置与所述激光器的出光口相对设置,并用于将接收到的加工激光分成至少第一相干光束和第二相干光束;第一振镜和第二振镜,所述第一振镜与所述第二振镜设置于所述激光分束光传输装置的后端,所述第一振镜接收所述第一相干光束,所述第二振镜接收第二相干光束,经所述第一振镜控制后的所述第一相干光束与经所述第二振镜控制后的所述第二相干光束汇聚而形成干涉光斑;以及加工平台,所述加工平台设置于所述第一振镜和所述第二振镜的下方,所述干涉光斑在所述加工平台上按照预设路径扫描并逐层打印切片图形以形成加工图案。

    基于振镜的多功能金属表面加工系统

    公开(公告)号:CN118808886A

    公开(公告)日:2024-10-22

    申请号:CN202410559855.1

    申请日:2024-05-08

    Applicant: 佛山大学

    Abstract: 本发明涉及一种基于振镜的多功能金属表面加工系统,包括激光器,用于发出加工激光;激光分束传输设备与激光器的出光口相对设置,并用于将接收到的加工激光分成至少第一相干光束和第二相干光束;第一振镜与第二振镜设置于激光分束传输设备的后端,第一振镜接收所述第一相干光束,第二振镜接收第二相干光束;位移平台设置于第一振镜和第二振镜的下方,位移平台用于装载待加工件,经第一振镜控制后的第一相干光束与经第二振镜控制后的第二相干光束汇聚而形成干涉光斑,受控于第一振镜、第二振镜和位移平台,干涉光斑在待加工件表面按预设轨迹移动以进行减材加工以获得所需的产品形貌。

    基于振镜的多功能金属表面加工系统

    公开(公告)号:CN118808886B

    公开(公告)日:2025-01-28

    申请号:CN202410559855.1

    申请日:2024-05-08

    Applicant: 佛山大学

    Abstract: 本发明涉及一种基于振镜的多功能金属表面加工系统,包括激光器,用于发出加工激光;激光分束传输设备与激光器的出光口相对设置,并用于将接收到的加工激光分成至少第一相干光束和第二相干光束;第一振镜与第二振镜设置于激光分束传输设备的后端,第一振镜接收所述第一相干光束,第二振镜接收第二相干光束;位移平台设置于第一振镜和第二振镜的下方,位移平台用于装载待加工件,经第一振镜控制后的第一相干光束与经第二振镜控制后的第二相干光束汇聚而形成干涉光斑,受控于第一振镜、第二振镜和位移平台,干涉光斑在待加工件表面按预设轨迹移动以进行减材加工以获得所需的产品形貌。

    基于振镜的激光干涉微纳制造系统

    公开(公告)号:CN118808887A

    公开(公告)日:2024-10-22

    申请号:CN202410560802.1

    申请日:2024-05-08

    Applicant: 佛山大学

    Abstract: 本发明涉及一种基于振镜的激光干涉微纳制造系统,包括激光器,激光分束光传输装置,第一振镜接收所述第一相干光束,第二振镜接收第二相干光束;加工平台包括载台、X轴移动模组和Y轴移动模组,载台用于装载待加工件,待加工件的表面划分有阵列排布的多个加工分区,载台设置于X轴移动模组上,X轴移动模组设置于Y轴移动模组上,经第一振镜控制后的第一相干光束与经第二振镜控制后的第二相干光束汇聚而形成干涉光斑,干涉光斑在每个加工分区内加工出分块图案,在X轴移动模组和Y轴移动模组的协同运动下,带动载台相对第一振镜和第二振镜平移,以使干涉光斑逐个移动到所有的加工分区内以实现所有分块图案拼接加工得到完整图案。

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