公开(公告)号：CN1172177C

公开(公告)日：2004-10-20

申请号：CN01140762.X

申请日：2001-07-27

申请人： 佳能株式会社

发明人： 川守田阳一 ,  福田良三 ,  德田一也 ,  村中谦治 ,  五十岚松真

IPC分类号： G01N21/88 ,  G01N27/20 ,  G03G5/12

CPC分类号： G01N27/205

摘要： 本发明提供了一种用于在目测前对检验品预览检验的方法，该方法包括：缺陷信号检测步骤用于在所述检验品的缺陷状态的基础上检测缺陷信号，详细缺陷信息产生步骤用于在由所述缺陷信号检测步骤检测到的缺陷信号的基础上产生详细缺陷信息，以及详细缺陷信息显现步骤用于在所述检验品上显现由所述详细缺陷信息产生步骤产生的详细缺陷信息，以及一种用于在目测前对检验品预览检验的设备，该设备包括缺陷信号检测装置用于在所述检验品的缺陷状态的基础上检测缺陷信号，详细缺陷信息产生装置用于在由所述缺陷信号检测装置检测到的缺陷信号的基础上产生详细缺陷信息，以及详细缺陷信息显现装置用于在所述检验品上显现由所述详细缺陷信息产生装置产生的详细缺陷信息。

公开(公告)号：CN1339700A

公开(公告)日：2002-03-13

申请号：CN01140762.X

申请日：2001-07-27

申请人： 佳能株式会社

发明人： 川守田阳一 ,  福田良三 ,  德田一也 ,  村中谦治 ,  五十岚松真

IPC分类号： G01N21/88 ,  G01N27/20 ,  G03G5/12

CPC分类号： G01N27/205

摘要： 本发明提供了一种用于在目测前对检验品预览检验的方法,该方法包括:缺陷信号检测步骤用于在所述检验品的缺陷状态的基础上检测缺陷信号,详细缺陷信息产生步骤用于在由所述缺陷信号检测步骤检测到的缺陷信号的基础上产生详细缺陷信息,以及详细缺陷信息显现步骤用于在所述检验品上显现由所述详细缺陷信息产生步骤产生的详细缺陷信息,以及一种用于在目测前对检验品预览检验的设备,该设备包括缺陷信号检测装置用于在所述检验品的缺陷状态的基础上检测缺陷信号,详细缺陷信息产生装置用于在由所述缺陷信号检测装置检测到的缺陷信号的基础上产生详细缺陷信息,以及详细缺陷信息显现装置用于在所述检验品上显现由所述详细缺陷信息产生装置产生的详细缺陷信息。