用于测量光学组件的几何结构的方法和工具

    公开(公告)号:CN104169704A

    公开(公告)日:2014-11-26

    申请号:CN201380013373.6

    申请日:2013-03-08

    IPC分类号: G01M11/02 G01B11/24

    摘要: 本发明的主题是一种用于测量光学组件的几何或光学结构的方法和系统。具体地,本发明涉及一种用于测量由一个第一侧面(10)和一个第二侧面(20)所界定的组件的几何结构的方法,所述方法包括以下步骤:(S1)测量一个第一信号(MS1),该第一信号是由至少所述第一侧面(10)对一个第一探测信号(PS1)进行的一次第一转化所产生的;(S2)测量一个第二信号(MS2),该第二信号是由至少所述第二侧面(20)对一个第二探测信号(PS2)进行的一次第二转化所产生的;(S3)确定一次第三转换,该第三转换使得可以将与对该第一信号(MS1)的测量相关联的一个第一坐标系(R1)转换成与对该第二信号(MS2)的测量相关联的一个第二坐标系(R2);(S10)使用该第一信号(MS1)、所述第一模拟和一个对该估计(ES1)与该第一信号(MS1)之间的差别进行量化的第一代价标准(V1)对所述第一侧面(10)进行估计;以及(S20)使用该第二信号(MS2)、所述第二模拟、所述第三转换和一个对该估计(ES2)和该第二信号(MS2)之间的差异进行量化的第二代价标准(V2)对所述第二侧面(20)进行估计。

    形成光学透镜表面的方法和设备

    公开(公告)号:CN102483525B

    公开(公告)日:2015-10-14

    申请号:CN201080038355.X

    申请日:2010-06-29

    IPC分类号: G02C7/02

    CPC分类号: G02C7/061 G02C2202/08

    摘要: 光学透镜制造中根据光学透镜参数(II)形成光学透镜的目标表面(I)的方法,该方法包括:提供一组L个第一表面差分数据E(λj),每个第一表面差分数据E(λj)对应于预计算表面(III)和初始表面(IV)之间的表面差值,光学透镜的目标表面据此形成,其满足表达式:(V)其中,λj(j=1,...,L)相应于预计算的光学透镜的光学透镜参数;提供一组第二表面差分数据(VI),其相应于目标光学表面(I)和初始表面(VII)之间的表面差值,该差值是通过对第一表面差分数据E(λj)根据以下表达式进行线性内插而得到:(VIII),其中(IX)表示内插系数;以及;根据表达式(X),通过组合第二表面差分数据(VI)和初始表面(VII)确定光学透镜的目标表面(I)。

    形成光学透镜表面的方法和设备

    公开(公告)号:CN102483525A

    公开(公告)日:2012-05-30

    申请号:CN201080038355.X

    申请日:2010-06-29

    IPC分类号: G02C7/02

    CPC分类号: G02C7/061 G02C2202/08

    摘要: 光学透镜制造中根据光学透镜参数(II)形成光学透镜的目标表面(I)的方法,该方法包括:提供一组L个第一表面差分数据E(λj),每个第一表面差分数据E(λj)对应于预计算表面(III)和初始表面(IV)之间的表面差值,光学透镜的目标表面据此形成,其满足表达式:(V)其中,λj(j=1,...,L)相应于预计算的光学透镜的光学透镜参数;提供一组第二表面差分数据(VI),其相应于目标光学表面(I)和初始表面(VII)之间的表面差值,该差值是通过对第一表面差分数据E(λj)根据以下表达式进行线性内插而得到:(VIII),其中(IX)表示内插系数;以及;根据表达式(X),通过组合第二表面差分数据(VI)和初始表面(VII)确定光学透镜的目标表面(I)。

    用于测量光学组件的几何结构的方法和工具

    公开(公告)号:CN104169704B

    公开(公告)日:2018-04-24

    申请号:CN201380013373.6

    申请日:2013-03-08

    IPC分类号: G01M11/02 G01B11/24

    摘要: 本发明的主题是一种用于测量光学组件的几何或光学结构的方法和系统。具体地,本发明涉及一种用于测量由一个第一侧面(10)和一个第二侧面(20)所界定的组件的几何结构的方法,所述方法包括以下步骤:(S1)测量一个第一信号(MS1),该第一信号是由至少所述第一侧面(10)对一个第一探测信号(PS1)进行的一次第一转化所产生的;(S2)测量一个第二信号(MS2),该第二信号是由至少所述第二侧面(20)对一个第二探测信号(PS2)进行的一次第二转化所产生的;(S3)确定一次第三转换,该第三转换使得可以将与对该第一信号(MS1)的测量相关联的一个第一坐标系(R1)转换成与对该第二信号(MS2)的测量相关联的一个第二坐标系(R2);(S10)使用该第一信号(MS1)、所述第一模拟和一个对该估计与该第一信号(MS1)之间的差别进行量化的第一代价标准对所述第一侧面(10)进行估计;以及(S20)使用该第二信号(MS2)、所述第二模拟、所述第三转换和一个对该估计和该第二信号(MS2)之间的差异进行量化的第二代价标准对所述第二侧面(20)进行估计。