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公开(公告)号：CN108700832A
公开(公告)日：2018-10-23
申请号：CN201780014155.2
申请日：2017-03-02
申请人： 卡尔蔡司SMT有限责任公司
IPC分类号： G03F7/20
CPC分类号： G03F7/70591 , G01M11/0271 , G03F7/70341 , G03F7/70958
摘要： 微光刻投射曝光设备(100)，具有将物平面(155)成像至像平面(156)的投射镜头(150)，其中在投射曝光设备(100)的操作期间至少暂时地提供浸没液体于投射镜头(150)与像平面(156)之间，其中测量结构(121)配置于浸没液体中，其中测量结构(121)构造为产生测量图案；具有测量该测量图案的测量装置(130，160)，且其中测量结构(121)具有包含氧化硅和/或氮氧化硅和/或氮化物的吸收层(125)。
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公开(公告)号：CN104655046B
公开(公告)日：2017-10-31
申请号：CN201510069546.7
申请日：2015-02-10
申请人： 帝麦克斯(苏州)医疗科技有限公司
CPC分类号： G01B11/30 , G01B9/02015 , G01B9/02039 , G01B9/02057 , G01B9/021 , G01B11/2441 , G01M11/02 , G01M11/0271
摘要： 本发明揭示了一种对非球面的光学元件进行干涉测试的方法和系统，在反射中，由横向位于共路干涉仪光轴上的衍射元件形成两个衍射光束(具有不同的衍射级项)。第一衍射光束保持了照射到衍射元件上的波阵面，第二衍射光束具有与被测表面相对应的波阵面。第一衍射光束可以被猫眼装置中的表面反射，第二衍射光束可以被共聚焦平面的表面反射。待测的表面可以被调整来平衡反射到表面的第一衍射光束和第二衍射光束的强度。
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公开(公告)号：CN106500968A
公开(公告)日：2017-03-15
申请号：CN201611007630.7
申请日：2016-11-16
申请人： 中国科学院云南天文台
IPC分类号： G01M11/02
CPC分类号： G01M11/0271
摘要： 本发明涉及一种基于杨氏双缝干涉理论检测望远镜成像质量的方法，具体步骤如下：首先根据已知的望远镜参数计算该系统中准直，成像系统及离焦透镜的通光口径和个系统焦距等相关参数，并根据当地大气视宁度情况计算出Hartman屏每个小空的直径及小孔间距。在数据处理时，首先探测到的小孔及干涉像，并记录它们的位置。硬件设计加工和软件研发完成后，要对整个系统进行联合调试，检验系统软硬件的匹配情况，以便及时修改错误与不足，使整个系统的工作尽善尽美。联调结束后，就要通过观测来进行望远镜像质的检测。该发明方法能有效地针对望远镜成像质量进行检测，使用效果好，便于根据需要使用。
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公开(公告)号：CN104145205B
公开(公告)日：2016-09-28
申请号：CN201380011972.4
申请日：2013-01-23
申请人： 卡尔蔡司SMT有限责任公司
CPC分类号： G03F7/706 , G01K11/00 , G01M11/0242 , G01M11/0271 , G03F7/70141 , G03F7/70258 , G03F7/7085 , G03F7/70891
摘要： 一种微光刻的投射曝光设备(10)，包括测量投射曝光设备的光学元件的测量系统(50)。测量系统(50)包括：照射装置(54)，其构造成在不同方向(64)上将测量辐射(62)辐射至光学元件(20)，使得对于不同入射方向(64)，测量辐射(62)覆盖光学元件(20)内的相应光路长度(68)；检测装置(56)，其构造成对于相应入射方向(64)测量光学元件(20)中由测量辐射(62)覆盖的对应光学路径长度；以及评估装置，其构造成考虑相应入射方向，通过所测量路径长度的计算机断层反向投射确定光学元件(20)中的折射率的空间解析分布。
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公开(公告)号：CN105865753A
公开(公告)日：2016-08-17
申请号：CN201610329545.6
申请日：2016-05-18
申请人： 哈尔滨工程大学
IPC分类号： G01M11/02
CPC分类号： G01M11/30 , G01M11/0271
摘要： 本发明提供的是一种光纤干涉仪臂长差的测量装置及测量方法。包括激光光源模块、被测光纤干涉仪模块、参考干涉仪模块和采集与控制模块。可调谐激光器发出波长线性变化的光进入被测干涉仪和参考干涉仪模块、使用计算机控制模拟量输出板卡驱动绕好光纤的压电陶瓷，解调得到的信号后获得两模块精确的位相变化量；改变参考干涉仪模块两臂光程差同时使用光源模块中的分布式反馈激光器结合PGC算法解调出光程差变化量；改变参考干涉仪两臂光程差后重复第一步；依据臂长差测量公式计算出被测光纤干涉仪臂长差。本发明通过引入压电陶瓷、分布式反馈激光器等，运用PGC算法可精确测得被测光纤干涉仪的臂长差，具有测量精度高、范围广和自动定标等优点。
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公开(公告)号：CN105466668A
公开(公告)日：2016-04-06
申请号：CN201510982725.X
申请日：2015-12-24
申请人： 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC分类号： G01M11/02
CPC分类号： G01J9/02 , G01J1/0437 , G01J2009/0223 , G01J2009/0226 , G01J2009/0261 , G01M11/0271
摘要： 一种点衍射干涉波像差测量仪及光学系统波像差的检测方法之二,该测量仪由光源、分光器、第一光强与偏振态调节器、相移器、第二光强与偏振态调节器、理想波前与点光源发生单元、物方精密调节台、被测光学系统、像方波前检测单元、像方精密调节台和数据处理单元组成。本发明测量仪在被测光学系统物面仅需要产生一路标准球面波输出，降低了系统复杂性，提高了光能利用率；该测量仪也降低了系统精密度要求及操作复杂性。
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公开(公告)号：CN105277338A
公开(公告)日：2016-01-27
申请号：CN201410318139.0
申请日：2014-07-04
申请人： 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 , VTT-NTM有限责任公司
发明人： 马冬梅
IPC分类号： G01M11/02
CPC分类号： G01B9/02038 , G01B9/02041 , G01B9/02072 , G01B11/2441 , G01M11/005 , G01M11/0271
摘要： 本发明涉及一种大数值孔径移相式双针孔衍射干涉仪及其测试方法，该衍射干涉仪包括：测试基准光路，测试光路，针孔基板；所述针孔基板上设有测试针孔和测试基准针孔；在所述测试针孔发出的衍射波前经所述针孔基板附近的被测试光学元部件反射后会聚到测试基准针孔附近，其波前中带有被测试光学元部件的面形信息，其经过针孔基板反射后与由测试基准针孔发出的衍射波前干涉形成干涉条纹。本发明的大数值孔径移相式双针孔衍射干涉仪采用双针孔基板和双光路会聚照明形式实现测试光路与基准光路的分离，防止两光路的相互干扰导致移相式过程中的干涉图像状态改变；通过小视场干涉图光学成像系统避开了测试光路对图像的影响，实现移相方式的大数值孔径测试。
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公开(公告)号：CN103003662B
公开(公告)日：2015-06-24
申请号：CN201080068052.2
申请日：2010-07-15
申请人： 佳能株式会社
发明人： 大崎由美子
CPC分类号： G01M11/025 , G01B2210/52 , G01M11/005 , G01M11/0271
摘要： 提供了可减少用于测量整个被检表面的形状的时间的测量方法或设备。多个测量范围中的每一个被设定为使得一个测量范围重叠至少另一测量范围的一部分以形成重叠区域，各测量范围是被检表面的一部分。然后，在多个测量范围中的第一测量范围中以第一分辨率测量被检表面的形状，并在第二测量范围中以第二分辨率测量被检表面的形状。通过使用得到的测量数据拼接多个测量范围中的被检表面的形状的数据，以计算被检表面的形状。
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公开(公告)号：CN102353522B
公开(公告)日：2014-11-05
申请号：CN201110170847.0
申请日：2006-04-05
申请人： QED技术国际股份有限公司
发明人： 保罗.E.墨菲 , 德拉吉沙.米拉迪诺维克 , 格雷格.W.福布斯 , 加里.M.德弗里斯 , 乔恩.F.弗莱格
IPC分类号： G01M11/02
CPC分类号： G01J9/02 , G01B9/02039 , G01B9/02057 , G01B9/02063 , G01B9/02072 , G01B9/02085 , G01M11/025 , G01M11/0257 , G01M11/0271 , G01M11/0278
摘要： 本发明提供一种从表面的多个重叠子孔径数据图合成物方表面的全数值孔径图的方法，包括步骤：选择减小重叠子孔径数据图的测量误差的至少一种方法；从表面的多个区域采集多个子孔径数据图，至少每个子孔径数据图的一部分与至少一个相邻子孔径数据图的一部分重叠，以形成重叠数据区域；将多个重叠子孔径数据图投影到具有标定畸变图的球坐标系统；从由具有自由放大率范围的自由补偿器和具有相同限制放大率的互锁补偿器组成的两组中的至少一组选择多个误差补偿器，以补偿重叠子孔径数据图中的拼接误差；同时通过选择的误差补偿器的线性组合，将重叠子孔径区域中数据图的每一个的不一致最小化。
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公开(公告)号：CN102661719B
公开(公告)日：2014-03-26
申请号：CN201210110946.4
申请日：2012-04-16
申请人： 中国人民解放军国防科学技术大学
IPC分类号： G01B11/24
CPC分类号： G01B9/021 , G01B9/02039 , G01B9/02058 , G01B9/02085 , G01M5/005 , G01M11/025 , G01M11/0271
摘要： 本发明提供一种用于非球面子孔径拼接测量的近零位补偿器，其主要由一对相向回转的CGH相位板组成，相位函数由Zernike多项式的Z5和Z7两项组成，两个多项式系数均互为相反数，且取值大小由离轴子孔径的像差确定；相位板安装在一对中空精密转台上，且其光轴与转台回转轴线重合。本发明还提供一种面形测量仪，包括波面干涉仪、待测镜面安装座、前述近零位补偿器以及各个位姿调整组件，近零位补偿器的光轴与波面干涉仪的光轴重合。本发明的非球面子孔径进行拼接测量的方法包括以下步骤：先安装被测非球面镜，再利用面形测量仪进行各个子孔径的测量，最后进行拼接处理。本发明具有结构简化、空间紧凑、低成本、高精度、适应性强等优点。
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