公开(公告)号：CN117289541A

公开(公告)日：2023-12-26

申请号：CN202310736900.1

申请日：2023-06-21

申请人： 信越化学工业株式会社

发明人： 杉山朋阳 ,  原田大实 ,  松井晴信 ,  枪田直树 ,  竹内正树

IPC分类号： G03F1/66 ,  G03F1/68 ,  G03F1/82

摘要： 本发明涉及一种用于掩模坯料的衬底及其制造方法。具有152mm×152mm见方的第一和第二主表面以及6.35mm的厚度的用于掩模坯料的衬底，其中：当中心在对角线交点上的132mm×132mm正方形的范围定义为在第一主表面与第二主表面每者中的计算区域时，在第一主表面和第二主表面的至少一者的计算区域的衬底表面上，基于最小二乘平面的计算区域的衬底表面的平坦度为100nm以下，并且计算表面高度的最高值与最低值之间的差值(PV)为20nm以下，所述差值(PV)由基于最小二乘平面的使用高斯滤波器(10mm×10mm)的平滑处理之前该衬底表面的形状与平滑处理之后的形状之间的差异所表示。

公开(公告)号：CN116111024A

公开(公告)日：2023-05-12

申请号：CN202211396563.8

申请日：2022-11-09

申请人： 信越化学工业株式会社

发明人： 松井晴信 ,  原田大实 ,  安藤雅郎 ,  竹内正树

IPC分类号： H01L33/48 ,  H01L33/58

摘要： 本发明涉及用于光学元件的窗材料、用于光学元件封装的盖、光学元件封装和光学装置。本发明的用于光学元件的窗材料由合成石英玻璃形成，所述合成石英玻璃能够经受成型加工，可以以低成本制造和具有平板形状。即使所述用于光学元件的窗材料具有平板形状，例如在用表面安装型封装(SMD PKG)密封的UV‑LED例如UVC‑LED的窗材料中，当通过窗材料时可有效地收集从光学元件发射的光，特别是具有光分布角的光，并且可实现等同于具有透镜形状例如常规的凸面形状的窗材料的光收集。此外，还可实现没有例如朗伯反射的照射不均匀的光分布。

公开(公告)号：CN115386341A

公开(公告)日：2022-11-25

申请号：CN202210559455.1

申请日：2022-05-23

申请人： 信越化学工业株式会社

发明人： 枪田直树 ,  原田大实 ,  松井晴信 ,  竹内正树

IPC分类号： C09K3/14

摘要： 本发明涉及研磨组合物。包括含有胶态二氧化硅颗粒的胶态二氧化硅、pH调节剂和螯合剂的研磨组合物以低成本和高生产率提供具有高平坦度、低缺陷和低表面粗糙度的表面的基板，并且提供具有高表面品质的基板，适合作为掩模坯料用基板例如含有SiO2作为主要组分的玻璃基板，特别地作为在EUVL中使用的掩模坯料用基板。

公开(公告)号：CN107176794B

公开(公告)日：2021-11-12

申请号：CN201710134890.9

申请日：2017-03-09

申请人： 信越化学工业株式会社

发明人： 石塚洋行 ,  渡部厚 ,  原田大实 ,  竹内正树

IPC分类号： C03C17/34 ,  C03B33/07 ,  B24B1/00

摘要： 通过提供合成石英玻璃块材，用在双折射测定波长下具有至少99.0％/mm的透射率的液体涂布该玻璃块材的两个相对表面，通过引导光从其经过而测定该玻璃块材的双折射，基于双折射测定和该基板的尺寸来确定切割厚度，和以确定的切割厚度将该玻璃块材切割，从而制备合成石英玻璃基板。

公开(公告)号：CN106141918B

公开(公告)日：2020-03-27

申请号：CN201610317737.5

申请日：2016-05-13

申请人： 信越化学工业株式会社

发明人： 松井晴信 ,  原田大实 ,  竹内正树

IPC分类号： B24B49/16 ,  B24B37/10 ,  B24B37/34 ,  B24B55/00

摘要： 本发明涉及基板的制备方法。本发明提出基板的制备方法、特别是合成石英玻璃的基板的制备方法，同时使基板表面免于致命性缺陷而没有采取任何大规模装置和精密抛光板，由此与用常规设施制备相比，进一步减少缺陷和改善收率。通过抛光制备基板的方法，包括如下步骤：将基板原料各自放入下抛光板上的载体中形成的加工孔中；使上抛光板接触所述基板原料的表面，所述基板原料的表面涂覆有冲击吸收液并且使所述下抛光板旋转；和使所述上抛光板和下抛光板旋转，所述基板原料的表面伴有抛光浆料。

公开(公告)号：CN104786135A

公开(公告)日：2015-07-22

申请号：CN201510026173.5

申请日：2015-01-20

申请人： 信越化学工业株式会社

发明人： 松井晴信 ,  原田大实 ,  竹内正树

IPC分类号： B24B37/10 ,  B24B37/24 ,  C09K3/14

摘要： 本发明提供了一种制备合成石英玻璃基材的方法。具体地，通过将起始基材浸渍在非离子型表面活性剂的水溶液中并且采用胶体二氧化硅水分散体精密抛光该基材制备了合成石英玻璃基材。获得了具有极少缺陷和低表面粗糙度的合成石英玻璃基材，同时改进了抛光速率和减少了抛光时间。

公开(公告)号：CN103240665A

公开(公告)日：2013-08-14

申请号：CN201310088370.0

申请日：2013-02-01

申请人： 信越化学工业株式会社

发明人： 长谷川良平 ,  松井晴信 ,  原田大实 ,  竹内正树

IPC分类号： B24B37/04 ,  C09G1/02

CPC分类号： B24B1/00 ,  B24B37/044 ,  C09G1/02

摘要： 本发明涉及一种合成石英玻璃衬底的制造方法。使用含有四方或立方氧化锆的抛光浆料将起始合成石英玻璃衬底的粗糙表面抛光至镜面光洁度。

公开(公告)号：CN102636953A

公开(公告)日：2012-08-15

申请号：CN201210088083.5

申请日：2012-02-10

申请人： 信越化学工业株式会社

发明人： 原田大实 ,  竹内正树

IPC分类号： G03F7/00

CPC分类号： G03F7/0002 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  G03F1/60

摘要： 本发明提供了形成模板的衬底以及检测方法。特别地，本发明提供了具有125-300mm直径的圆形的形成模板的衬底，其具有要在其上形成拓扑图案的表面，其中在直径为125mm的圆内衬底的厚度变化为至多2μm。

公开(公告)号：CN102436136A

公开(公告)日：2012-05-02

申请号：CN201110218545.6

申请日：2011-05-24

申请人： 信越化学工业株式会社

发明人： 松井晴信 ,  原田大实 ,  竹内正树

IPC分类号： G03F1/64 ,  B24B29/02

CPC分类号： C03C3/06 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  C03C19/00 ,  C03C2201/42 ,  C03C2204/08 ,  G03F1/24 ,  G03F1/60 ,  G03F7/0002 ,  Y10T428/24355

摘要： 本发明涉及一种合成石英玻璃衬底及其制备方法。该衬底具有包括132mm2中央表面区域的6平方英寸的表面。132mm2的中央表面区域具有最多50nm的平整度。通过从148mm2中央表面区域减去132mm2中央表面区域得到的框架区域具有最多150nm的平整度。

公开(公告)号：CN117226680A

公开(公告)日：2023-12-15

申请号：CN202310687732.1

申请日：2023-06-12

申请人： 信越化学工业株式会社

发明人： 枪田直树 ,  原田大实 ,  松井晴信 ,  竹内正树

IPC分类号： B24B29/02 ,  C09G1/02

摘要： 本发明涉及一种衬底及其制造方法。本文中提供了用于制造适于EUVL的掩模坯料的衬底的方法，以及能够抑制深度小于5nm的凹陷缺陷的方法。本发明提供了制造衬底的方法，其中通过具有配备有抛光垫的上抛光板的抛光设备来进行最终抛光，所述方法包括以下步骤：将衬底原料放置在抛光设备中，使得该衬底原料的主表面朝向该上抛光板；旋转上抛光板并在衬底原料的主表面上与抛光浆料一起抛光该衬底原料；以及将保持旋转的上抛光板升高以使其与抛光的衬底原料的主表面分离。