公开(公告)号：CN110066101B

公开(公告)日：2022-10-18

申请号：CN201910060528.0

申请日：2019-01-23

Applicant: 信越化学工业株式会社

Inventor： 西田润一郎 ,  代田和雄 ,  八木寿 ,  竹内正树

IPC: C03B20/00 ,  C03B25/00 ,  C03C23/00

Abstract: 本发明涉及一种合成石英玻璃基板及其制造方法。具体涉及一种具有可控的氢分子浓度的合成石英玻璃基板，其通过如下步骤来制备：(a)将合成石英玻璃锭热成形为玻璃块，(b)将玻璃块切成玻璃板，(c)在500℃至1,250℃下对玻璃板进行15小时至60小时的退火，(d)在300℃至450℃、于氢气气氛中对玻璃板进行20小时至40小时的氢掺杂处理，以及(e)在200℃至400℃下对玻璃板进行5小时至10小时的脱氢处理。

公开(公告)号：CN110066101A

公开(公告)日：2019-07-30

申请号：CN201910060528.0

申请日：2019-01-23

Applicant: 信越化学工业株式会社

Inventor： 西田润一郎 ,  代田和雄 ,  八木寿 ,  竹内正树

IPC: C03B20/00 ,  C03B25/00 ,  C03C23/00

Abstract: 本发明涉及一种合成石英玻璃基板及其制造方法。具体涉及一种具有可控的氢分子浓度的合成石英玻璃基板，其通过如下步骤来制备：(a)将合成石英玻璃锭热成形为玻璃块，(b)将玻璃块切成玻璃板，(c)在500℃至1,250℃下对玻璃板进行15小时至60小时的退火，(d)在300℃至450℃、于氢气气氛中对玻璃板进行20小时至40小时的氢掺杂处理，以及(e)在200℃至400℃下对玻璃板进行5小时至10小时的脱氢处理。