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公开(公告)号：CN102736400B
公开(公告)日：2014-02-05
申请号：CN201210091249.9
申请日：2012-03-30
Applicant: 信越化学工业株式会社
Inventor： 関原一敏
Abstract: 本发明提供一种将含有i线、h线、g线的350至450nm的波长领域的紫外线进行照射的光刻工程中适宜的，便宜的耐光性优良的防尘薄膜。本发明的薄膜是在用350至450nm的波长领域的紫外线进行照射的光刻工程中被使用防尘薄膜组件用防尘薄膜。该防尘薄膜的特征是，在原料防尘薄膜的至少曝光光源侧的表面，对350至450nm的波长领域的紫外线的平均透过率为90％以上，同时有对200至300nm的波长领域的紫外线的平均透过率为50％以下的紫外线吸收层。
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公开(公告)号：CN105652587A
公开(公告)日：2016-06-08
申请号：CN201510802587.2
申请日：2015-11-19
Applicant: 信越化学工业株式会社
Inventor： 関原一敏
Abstract: 一种易于制造以及处理的同时，在将防尘薄膜组件贴附于光掩模的时，可以将曝光中保持水平的光掩模的形状的变动抑制到很小的防尘薄膜组件框架以及使用该防尘薄膜组件框架的防尘薄膜组件。所述防尘薄膜组件框架，具有长边和短边的矩形，其特征在于，对至少一对的边赋予形变，该形变的大小，在所述的一对边的中央部，与防尘膜面垂直的方向上，为所述边的边长的0.01～1％。
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公开(公告)号：CN104102089A
公开(公告)日：2014-10-15
申请号：CN201410150086.6
申请日：2014-04-15
Applicant: 信越化学工业株式会社
Inventor： 関原一敏
CPC classification number: G03F7/70916 , C23C4/08 , C23C4/18 , C23C28/00 , G03F1/64
Abstract: 本发明的目的为，提供一种在防尘薄膜组件框架内侧的表面没有被误认为凹陷以及白点等的异物的亮点（缺陷），外观品质以及可信性优良的防尘薄膜组件框架以及使用该防尘薄膜组件框架的防尘薄膜组件。本发明的铝合金制的防尘薄膜组件框架10，在防尘薄膜组件框架10的形状被加工成以后，至少在防尘薄膜组件框架内侧的表面上形成纯铝皮膜22，该纯铝皮膜22的上面有铝阳极氧化皮膜23形成。纯铝皮膜22优选为纯度为99.7%以上，其厚度优选为3μm以上50μm以下。
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公开(公告)号：CN102736401B
公开(公告)日：2015-01-21
申请号：CN201210098084.8
申请日：2012-04-05
Applicant: 信越化学工业株式会社
Inventor： 関原一敏
IPC: G03F1/48
Abstract: 本发明提供一种在碳纤维中含浸树脂的复合体，不变更尺寸而提高全体的刚性，轻量化可能并制造简单的防尘薄膜组件框架。防尘薄膜组件框架10的长方形形状的防尘薄膜组件框架10的各边，由长纤维状的碳纤维和树脂和的复合材料形成的细长部件14，20来形成，上述碳纤维，细长部件14，20的纵方向分配方向。细长部件14，20的全表面树脂皮膜来包覆，从而没有碳纤维露出。
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公开(公告)号：CN104111582A
公开(公告)日：2014-10-22
申请号：CN201410163552.4
申请日：2014-04-22
Applicant: 信越化学工业株式会社
Inventor： 関原一敏
IPC: G03F1/64
CPC classification number: G03F1/22 , G03F1/142 , G03F1/64 , Y10T428/24008
Abstract: 提供一种安装防尘薄膜组件后的光掩模的变形小，而且防尘薄膜组件的装卸容易，且可信性高的防尘薄膜组件以及安装该防尘薄膜组件的光掩模。本发明的防尘薄膜组件40为，由至少具有4个边的防尘薄膜组件框架10构成，在防尘薄膜组件框架10的至少4处的角部上，设置从光掩模70侧端面向设置防尘薄膜42的端面的阴螺纹11，另外，该防尘薄膜组件40的光掩模70侧的端面，设置弹性体层43。然后，此弹性体层43，在该防尘薄膜组件40被用连接部件101安装在光掩模70上的场合，被压扁,与光掩模70表面的接触宽为0.3～1.0mm的范围，由此,防尘薄膜组件40和光掩模70之间的密封性良好。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN115202148A
公开(公告)日：2022-10-18
申请号：CN202210376691.X
申请日：2022-04-12
Applicant: 信越化学工业株式会社
Inventor： 関原一敏
IPC: G03F1/48
Abstract: 本发明提供一种护膜、曝光方法及平板显示器用屏的制造方法，此护膜的至少一条边的边长超过1000mm，且当安装于光掩模的护膜高速移动时，护膜膜片的摇晃量小。本发明的护膜包含至少一条边长超过1000mm的护膜框、及粘接于其一个框状面的护膜膜片而构成，且所述护膜，其中，对于护膜膜片，在与相互平行且为线对称的一对护膜框边平行的方向赋予有1％以上且2.5％以下的拉伸应变。
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公开(公告)号：CN105446073B
公开(公告)日：2020-02-14
申请号：CN201510594528.0
申请日：2015-09-17
Applicant: 信越化学工业株式会社
Inventor： 関原一敏
Abstract: 本发明的目的一种在制造以及处理容易的同时，使装着后的光掩模变形极小的防尘薄膜组件框架以及防尘薄膜组件。本发明的防尘薄膜组件框架，具有框状的防尘薄膜组件框架本体和从与该防尘薄膜组件框架本体的防尘薄膜绷紧设置的面的相对面沿着防尘薄膜组件框架本体的内面，以具有防尘薄膜组件框架本体的幅度的5～30％的厚度垂直伸出的垂直伸出部，另外，从所述垂直伸出部的终端向着外侧，以与防尘薄膜绷紧设置的面相平行地伸出的厚度为0.3～1mm的水平伸出部。
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公开(公告)号：CN105807560A
公开(公告)日：2016-07-27
申请号：CN201610022706.7
申请日：2016-01-14
Applicant: 信越化学工业株式会社
Inventor： 関原一敏
IPC: G03F1/66
CPC classification number: G03F1/66
Abstract: 提供一种在运送未使用分离片的防尘薄膜组件时掩模粘着层不发生损伤等的防尘薄膜组件收纳容器。本发明的防尘薄膜组件收纳容器是包括收纳未使用保护掩模粘着层(22)的分离片的矩形防尘薄膜组件的防尘薄膜组件(20)收纳容器本体、嵌合于所述防尘薄膜组件收纳容器本体(20)中的密闭的盖体(17)的防尘薄膜组件收纳容器，其特点是，在上述防尘薄膜组件收纳容器本体(11)上设置外侧高起的阶梯状防尘薄膜组件框架支承装置(12)，防尘薄膜组件框架的掩模粘着层未涂布区域(23)支承在阶梯状防尘薄膜组件框架支承装置(12)的低阶梯部上。
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公开(公告)号：CN102736401A
公开(公告)日：2012-10-17
申请号：CN201210098084.8
申请日：2012-04-05
Applicant: 信越化学工业株式会社
Inventor： 関原一敏
IPC: G03F1/48
Abstract: 提供一种在碳纤维中含浸树脂的复合体，不变更尺寸而提高全体的刚性，轻量化可能并制造简单的防尘薄膜组件框架。防尘薄膜组件框架10的长方形形状的防尘薄膜组件框架10的各边，由长纤维状的碳纤维和树脂和的复合材料形成的细长部件14，20来形成，上述碳纤维，细长部件14，20的纵方向分配方向。细长部件14，20的全表面树脂皮膜来包覆，从而没有碳纤维露出。
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公开(公告)号：CN105652587B
公开(公告)日：2019-12-06
申请号：CN201510802587.2
申请日：2015-11-19
Applicant: 信越化学工业株式会社
Inventor： 関原一敏
Abstract: 一种易于制造以及处理的同时，在将防尘薄膜组件贴附于光掩模的时，可以将曝光中保持水平的光掩模的形状的变动抑制到很小的防尘薄膜组件框架以及使用该防尘薄膜组件框架的防尘薄膜组件。所述防尘薄膜组件框架，具有长边和短边的矩形，其特征在于，对至少一对的边赋予形变，该形变的大小，在所述的一对边的中央部，与防尘膜面垂直的方向上，为所述边的边长的0.01～1％。
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