公开(公告)号：CN117529457A

公开(公告)日：2024-02-06

申请号：CN202280042598.3

申请日：2022-06-23

Applicant: 信越石英株式会社

Inventor： 藤田大辉 ,  濑川彻 ,  丸子洋一郎

IPC: C03C15/00

Abstract: 本发明的目的在于提供石英玻璃夹具的制造方法及石英玻璃夹具，在不存在微裂纹的通过药液处理的凹凸形成中，即使为大型的石英玻璃夹具，斑纹在表面的凹凸加工面也不显眼，具备优良的均匀性的凹凸处理面。一种石英玻璃夹具的制造方法，是通过药液处理在表面形成凹凸而成的石英玻璃夹具的制造方法，包含：附着物去除工序，去除平滑的石英玻璃表面的附着物；及加工面形成药液处理工序，通过由所述药液处理的凹凸形成，在去除所述附着物后的所述石英玻璃表面，形成凹凸加工面，测定10个部位的所述凹凸加工面的表面粗糙度Ra时的标准偏差为1.00μm以下。

公开(公告)号：CN115023411A

公开(公告)日：2022-09-06

申请号：CN202080083942.4

申请日：2020-12-02

Applicant: 信越石英株式会社

Inventor： 藤田大辉 ,  丸子洋一郎 ,  会田务 ,  斋藤彰 ,  濑川徹

IPC: C03C15/00 ,  H01L21/205 ,  C23C16/44

Abstract: 本发明提供石英玻璃的制造方法，其是使用表面处理液进行石英玻璃的表面处理、在玻璃表面具有凹凸的石英玻璃的制造方法，其中，通过预先使不参与利用上述表面处理液进行的表面处理的溶剂成分与石英玻璃的表面接触，其次，趁着所述溶剂成分没有干燥，进行利用上述表面处理液的表面处理，由此在玻璃表面形成表面粗糙度(Ra)为1.5～3.5μm的凹凸。根据本发明的制造方法，在微裂纹不存在的通过利用表面处理液的表面处理形成凹凸的工序中，能够制造具有表面粗糙度(Ra)为1.5～3.5μm的范围的凹凸的石英玻璃，不需使表面处理液的浓度变化，是比较简便、经济的。