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公开(公告)号:CN113324461A
公开(公告)日:2021-08-31
申请号:CN202110193455.X
申请日:2021-02-20
Applicant: 信越石英株式会社
IPC: G01B5/14
Abstract: 本发明的目的在于提供一种测量夹具,其在将用于通过CZ法培育硅单晶锭的有底筒状的石英坩埚配置在有底筒状的石墨坩埚的内部时,能够容易地测量石英坩埚的外表面与石墨坩埚的内表面之间的间隙的间隔。该测量夹具在为了利用CZ法培育硅单晶锭而将有底筒状的石英坩埚配置在有底筒状的石墨坩埚的内部时,用于对所述有底筒状的石英坩埚的外表面与所述有底筒状的石墨坩埚的内表面之间的间隙的间隔进行测量,所述测量夹具具备间隙板,所述间隙板具有剖面形状部,在包含所述石墨坩埚的中心轴的纵剖面中,所述剖面形状部形成为至少包含底部的区域的所述石墨坩埚的内表面的剖面形状。
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公开(公告)号:CN116194413A
公开(公告)日:2023-05-30
申请号:CN202180059406.5
申请日:2021-07-02
Applicant: 信越石英株式会社
IPC: C03B20/00
Abstract: 本发明是一种CZ用坩埚,用于通过CZ法培育单晶硅锭,所述CZ用坩埚包含:有底筒状的石墨坩埚、以及配置于该石墨坩埚的内部的有底筒状的石英玻璃坩埚,在所述CZ用坩埚的中心轴上的所述石墨坩埚的底部的内表面与所述石英玻璃坩埚的底部的外表面之间具有间隙,所述间隙使得所述石墨坩埚的底部的内表面与所述石英玻璃坩埚的底部的外表面成为非接触。由此,提供一种CZ用坩埚,当将用于通过CZ法培育单晶硅锭的有底筒状的石英玻璃坩埚配置于有底筒状的石墨坩埚的内部时,石英玻璃坩埚能够稳定地自立。
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