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公开(公告)号：CN116465204A
公开(公告)日：2023-07-21
申请号：CN202310330095.2
申请日：2023-03-30
申请人： 先导薄膜材料(安徽)有限公司
IPC分类号： F27D5/00
摘要： 本发明公开了平面靶材基体烧结用承载放置机构，涉及靶材基体生产技术领域，包括安装架，所述安装架的内壁滑动设置有若干个用于放置靶材基体的承托板，所述承托板上设置有若干个等距排布的定位单元，所述定位单元包括定位槽，所述定位槽的下方设置有若干个导引台，所述导引台的顶面倾斜设置并滑动连接有定位块，所述定位块的底部与导引台的顶面相互平行并贴合设置；本发明通过设置若干个承托板，实现对大批量靶材基体的同步装填，减少装填频次，提高烧结操作效率；通过设置定位单元对靶材基体进行限位，同时保证了各个靶材基体在承托板上的间距稳定，提高其排布均匀性，进而使得烧结操作使得受热均匀性。
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公开(公告)号：CN117367139A
公开(公告)日：2024-01-09
申请号：CN202311480792.2
申请日：2023-11-08
申请人： 先导薄膜材料(安徽)有限公司
摘要： 本发明公开了一种ITO靶材均匀加热的烧结炉，烧结箱的顶部设有密封顶盖，密封顶盖固定连接有密封侧板，烧结箱安装有第一推杆，第一推杆安装有连接块，连接块与密封顶盖固定连接，烧结箱安装有支撑侧台，支撑侧台上滑动设有支撑箱，密封顶盖的下表面中部安装有安装板，安装板下表面安装有加热竖管，安装板安装有支撑竖架，支撑竖架上安装有加热环管，烧结箱的底部中心处安装有隔热箱，隔热箱内安装有第二推杆，第二推杆安装有驱动电机，驱动电机固定连接有花键轴，对烧结箱内的气流进行导流，使得烧结箱内的热量随着气流的不断流动而均匀分布，既确保了烧结效率的极大提升，又确保了烧结效果的均匀度，保质保量地烧结ITO靶材。
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公开(公告)号：CN117102096A
公开(公告)日：2023-11-24
申请号：CN202311273407.7
申请日：2023-09-28
申请人： 先导薄膜材料(安徽)有限公司
摘要： 本发明公开了一种ITO靶材模具清理装置，具体涉及靶材制造技术领域，本发明通过若干个凸头与靶材模具的内外表面接触，从而方便将靶材模具表面附着的黏结物体刮落，配合着清洗的液体水通过中心通孔进入并经由侧孔进入到通风座上的出液孔内，并经由出液孔排出清洗用的液体水，将刮落的黏结物体由靶材模具的内外壁面上脱落，同时对多个靶材模具的内外两面高效清理，通过旋转气缸驱动转动板转动90度，将装有喷气嘴的储放筒转动至待通风的靶材模具的位置，带有喷气嘴的储放筒对准装入到待通风除水的靶材模具上，由风机产生循环风并进入到储放筒内，通过喷气嘴对靶材模具除水除湿，实现完整的清洁以及除湿步骤。
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公开(公告)号：CN221164826U
公开(公告)日：2024-06-18
申请号：CN202322636649.X
申请日：2023-09-27
申请人： 先导薄膜材料(安徽)有限公司
摘要： 本实用新型公开了一种靶材烧结垫片的自动布料装置，包括矩形支架，所述矩形支架一侧安装有驱动机构，所述矩形支架内安装有两根横向螺纹杆，所述驱动机构可驱动两根所述横向螺纹杆同步转动，两根所述横向螺纹杆之间设置有吊框和铺设机构，所述吊框内固定安装有两根竖向滑杆，两根所述竖向滑杆上活动设置有多个用于叠放烧结垫片的放置盒，所述放置盒左侧具有开口，所述放置盒内设置有推动机构，所述推动机构用于将叠放的烧结垫片逐个推送至所述开口处，所述铺设机构用于将所述开口处的烧结垫片逐个铺设至承烧板表面。此自动布料装置能够自动快速地将不同尺寸的烧结垫片均匀地呈矩形阵列地铺设在承烧板上。
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公开(公告)号：CN220975036U
公开(公告)日：2024-05-17
申请号：CN202322754794.8
申请日：2023-10-13
申请人： 先导薄膜材料(安徽)有限公司
摘要： 本实用新型公开了一种平面靶材用出装炉放置车，包括箱体，箱体内开设有多个凹槽，在凹槽底部的两侧处还形成有向下凹陷的斜面，凹槽内还设置有滑块和夹具，夹具通过轴在凹槽内转动，滑块在凹槽内滑动，夹具尾部靠近滑块处呈环形固定有齿，滑块贴近夹具一侧固定有齿条，齿条与齿啮合，滑块上安装有第二弹性件。其呈阵列均匀分布的凹槽，平面靶材(外形尺寸类似瓷砖)插入其中，凹槽底部设有类似弹簧的夹持的机构，当平面靶材插入时，通过激发夹持机构，对平面靶材夹持，当需要取出时，再次按动靶材，夹持机构受限松开，靶材可轻松取出，从而可方便平面靶材的存放和拿取，避免出现脱落和破碎情况的发生。
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公开(公告)号：CN220974256U
公开(公告)日：2024-05-17
申请号：CN202322754798.6
申请日：2023-10-13
申请人： 先导薄膜材料(安徽)有限公司
摘要： 本实用新型公开了放置车技术领域的一种旋转靶材用出装炉放置车，包括车底板，车底板上侧安装有立柱,立柱上安装有多组承载板机构，承载板机构包括套环，套环套设于立柱且可通过驱动机构实现转动；板体通过连接板与套环连接；承载板机构上表面开设有多个均匀分布的放置槽，用以水平放置旋转靶材板体内部设置有气腔,每个放置槽底部均开设有多个与气腔连通的气孔；板体底部安装有气泵，用以对气腔进行吸气多层板体可以承载数量较多的旋转靶材，满足一次性转运大量旋转靶材的需求，且旋转靶材成水平放置，通过气压吸附固定，可以保证旋转靶材放置的稳固性，相较于竖直放置的方式，可更好的避免靶材倾倒造成损坏的问题。
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