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公开(公告)号：CN118064846A
公开(公告)日：2024-05-24
申请号：CN202410301133.6
申请日：2024-03-15
申请人： 先导薄膜材料(安徽)有限公司
摘要： 本发明属于靶材绑定技术领域，公开了一种靶材绑定温度控制方法。采用绑定机对靶材进行加热，所述绑定机从上至下设有多个温区，分别对应多节靶材的加热；所述方法包括步骤：根据绑定机内壁的实时温度值与靶材表面的实时温度值的差值对绑定机温度进行PID动态调节，使得靶材表面的实时温度值在预设时间内，从室温升到目标温度值；控制相邻温区的靶材表面温度的温差值在预设的温区温差阈值范围内，并且相邻温区中的上一温区的温度要大于下一温区的温度。本发明的靶材绑定温度控制方法能控制靶材在目标温度下进行靶材绑定，提升靶材绑定质量。
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公开(公告)号：CN117816277A
公开(公告)日：2024-04-05
申请号：CN202410151684.9
申请日：2024-02-02
申请人： 先导薄膜材料(安徽)有限公司
摘要： 本发明涉及一种大颗粒的预砂磨工艺，具体包括以下步骤：步骤一：通过使用破碎机将大颗粒的氧化物颗粒进行破碎；步骤二：通过注水装置对该氧化物颗粒进行加水分散；步骤三：将加水分散后的氧化物颗粒输送至预砂磨装置内破碎至规定粒径，再输出；步骤四：将符合规定粒径的氧化物颗粒投放进砂磨装置内研磨成氧化物粉末；在两个推动滚轮分别经过破碎盒的两个拐角后，由于重力影响，破碎盒向下移动，与支撑板发生碰撞产生震动，将改变破碎盒内的氧化物颗粒的位置与角度，通过控制液压缸的伸出端往复伸缩，对破碎盒内的氧化物颗粒进行多次挤压破碎，从而使得其内部氧化物颗粒的粒径均符合规定，此过程提高了对氧化物颗粒的破碎效率。
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公开(公告)号：CN117464162A
公开(公告)日：2024-01-30
申请号：CN202311451056.4
申请日：2023-10-31
申请人： 先导薄膜材料(安徽)有限公司
摘要： 本发明公开了一种控制旋转靶材超声涂铟探头升降装置，包括操作台，操作台上端固定设置有保温箱，保温箱上端设置有箱盖组件，保温箱内侧下部转动设置有两组驱动辊，保温箱外壁上固定安装有用于带动驱动辊转动的第一电机；操作台下端固定安装有竖直向上的升降缸，升降缸的输出端固定连接有升降台，升降台上固定设置有驱动组件和支撑组件，驱动组件上安装有涂布连杆，驱动组件用于驱动涂布连杆水平移动，支撑组件用于支撑涂布连杆，涂布连杆远离驱动组件的一侧固定连接有涂布探头；本发明通过支撑座上设置的连杆槽与涂布连杆相配合，从而对涂布连杆起到支撑的作用，以降低涂布时涂布连杆和涂布探头自重对圆筒产生的压力，避免圆筒产生裂纹。
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公开(公告)号：CN117160950A
公开(公告)日：2023-12-05
申请号：CN202311173959.0
申请日：2023-09-12
申请人： 先导薄膜材料(安徽)有限公司
摘要： 本发明公开了一种平面靶材清洗车，涉及清洗车技术领域，包括清洗池，清洗池中设有清洗机构，清洗机构包括数量为双数且平行式并列设置的多根可转动的清洗辊，其中，多根清洗辊从中间位置分为数量相同的两组，两组清洗辊各自的组内转动方向相同、组外转动方向相反；使用时，将平面靶材居中放置在该清洗机构上的两组清洗辊上，随后对平面靶材进行冲洗，水流顺着靶材留至清洗辊上，两组清洗辊处于方向相反的转动状态，因此，平面靶材的位置可以保持稳定，且在清洗辊转动的过程中，清洗辊会对平面靶材的底部产生摩擦作用力，因此清洗辊可以伴随着水流对靶材底部起到清洁作用，从而实现了无需翻面即可对靶材进行全面清洁的目的。
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公开(公告)号：CN116465204A
公开(公告)日：2023-07-21
申请号：CN202310330095.2
申请日：2023-03-30
申请人： 先导薄膜材料(安徽)有限公司
IPC分类号： F27D5/00
摘要： 本发明公开了平面靶材基体烧结用承载放置机构，涉及靶材基体生产技术领域，包括安装架，所述安装架的内壁滑动设置有若干个用于放置靶材基体的承托板，所述承托板上设置有若干个等距排布的定位单元，所述定位单元包括定位槽，所述定位槽的下方设置有若干个导引台，所述导引台的顶面倾斜设置并滑动连接有定位块，所述定位块的底部与导引台的顶面相互平行并贴合设置；本发明通过设置若干个承托板，实现对大批量靶材基体的同步装填，减少装填频次，提高烧结操作效率；通过设置定位单元对靶材基体进行限位，同时保证了各个靶材基体在承托板上的间距稳定，提高其排布均匀性，进而使得烧结操作使得受热均匀性。
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公开(公告)号：CN116447876A
公开(公告)日：2023-07-18
申请号：CN202310374769.9
申请日：2023-04-10
申请人： 先导薄膜材料(安徽)有限公司
摘要： 本发明公开了一种保证均匀进气和温度均匀的烧结炉腔体结构，包括支架和架设在支架上的炉体，所述炉体的炉壁四周均设置有硅钼棒发热丝，本发明涉及烧结炉技术领域。该保证均匀进气和温度均匀的烧结炉腔体结构，靶材不断旋转四周进行均匀受热，此时进气口内通入保护气体，气流吹动位于进气口正前方的扰流板，扰流板带动驱动轴在支撑架内转动，两个扰流板相对转动形成中间向下的气流，带动炉体内腔的气体不断运动，使得炉内气氛从下到上，均匀分布，靶材在内部旋转，内腔温度通过陶瓷基板圈的包围设置均匀的对靶材进行加热，使靶材在烧结过程中的晶粒、孔隙、致密度均达到最佳状态，大大提高了ITO靶材的烧结质量。
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公开(公告)号：CN116444269A
公开(公告)日：2023-07-18
申请号：CN202310330102.9
申请日：2023-03-30
申请人： 先导薄膜材料(安徽)有限公司
IPC分类号： C04B35/495 , C04B35/622 , C04B35/63 , C04B35/634 , C23C14/08
摘要： 本发明公开了一种掺杂型钼靶材的制备方法，属于靶材制备技术领域，包括以下步骤：将聚乙烯吡咯烷酮和聚乙二醇加入去离子水中搅拌溶解，加入氧化钼粉和二水合钼酸钠，球磨，喷雾干燥，得到钠掺杂钼粉；向钠掺杂钼粉中加入氧化铋粉和无水乙醇，球磨后进行喷雾干燥处理，得到坯体粉料；经过低压预压制和烧结成型，得到掺杂型钼靶材，本发明以氧化钼粉和二水合钼酸钠为原料，以聚乙烯吡咯烷酮为粘结剂，聚乙二醇为分散剂，得到钠掺杂钼粉，组分均一，形态良好，本发明在坯体粉料中引入了助熔剂氧化铋粉，可以增强靶材烧结成型过程中的晶界运动，促进晶粒生长，降低材料内部的空隙，有效提高粉体的粘接性和靶材的致密度。
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公开(公告)号：CN117531579A
公开(公告)日：2024-02-09
申请号：CN202311702622.4
申请日：2023-12-12
申请人： 先导薄膜材料(安徽)有限公司
摘要： 本发明公开一种超细氢氧化铟循环处理设备，包括两组碎料旋刀、筛料框和固定底座，所述固定底座的上端内侧设有碎料槽，用来粉碎氢氧化铟的碎料旋刀活动安装在碎料槽的内部，所述筛料框活动安装在碎料旋刀的下方，筛料框呈倾斜设置，所述筛料框和碎料旋刀之间设有两组侧旋底板，所述筛料框和碎料槽之间设有回料器，所述回料器的内部活动安装有绞龙，所述筛料框的内侧活动安装有用来筛分氢氧化铟的移动筛网；使得碎料槽和筛料框之间形成物料循环结构，提升氢氧化铟粉碎处理效果，令其可以适用不同粗细程度氢氧化铟的筛分操作，同时可以完成对移动筛网的自动清理操作，避免其在长时间筛料使用过程中出现阻塞现象。
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公开(公告)号：CN117517130A
公开(公告)日：2024-02-06
申请号：CN202311476176.X
申请日：2023-11-08
申请人： 先导薄膜材料(安徽)有限公司
IPC分类号： G01N9/02
摘要： 本发明涉及重量及密度检测领域，公开了一种靶材重量及密度检测自动化设备，包括机架、升降单元、用于支撑靶材的支撑居中单元、用于测量靶材重量的称重单元、水箱、用于运输完成测量的靶材的输送单元；所述升降单元、支撑居中单元、水箱沿着竖直方向依次放置在机架上；所述称重单元放置于升降单元；所述称重单元设有用于承接靶材的第一架体和第二架体；所述第一架体固定在称重单元的上表面；所述第二架体位于支撑居中单元的下方，且通过连接件与第一架体固定连接。同时，还公开了使用本设备的方法。本设备具有较高的检测精度和自动化程度。
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公开(公告)号：CN117505001A
公开(公告)日：2024-02-06
申请号：CN202311556518.9
申请日：2023-11-21
申请人： 先导薄膜材料(安徽)有限公司
摘要： 本发明公开一种粉体浆料分级循环的砂磨机，包括原料桶、砂磨筒和固定底座，所述砂磨筒设置在固定底座的上部，所述原料桶设置在固定底座的一端，砂磨筒和原料桶之间设有连接管，所述砂磨筒包括三组拼接筒，三组拼接筒之间呈首尾拼接固定，所述拼接筒的内侧活动安装有用来混合锆球和物料的混料盘，所述混料盘的中部固定安装有转动杆，所述拼接筒的两端均设有配合转动杆使用的十字架，所述转动杆活动安装在十字架的中部，所述拼接筒的一端内侧活动安装有用来筛分物料的筛料盘；令物料在砂磨筒内由粗至细的完成多级研磨，将多级研磨结构融合进一个砂磨筒内，提升物料研磨效率，降低其循环次数，其次可以根据物料粗细程度进行任意筛料调节，提升其适用范围。
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