公开(公告)号：CN101971039A

公开(公告)日：2011-02-09

申请号：CN200880127398.8

申请日：2008-12-12

申请人： 先进能源工业公司

发明人： V·L.·布劳克 ,  J·罗贝格

IPC分类号： G01R21/10

CPC分类号： H05H1/46 ,  G01R21/01 ,  H01J37/32082 ,  H01J37/32174 ,  H01J37/32935 ,  H01J37/3299

摘要： 描述了一种用于监视RF功率的系统和方法。在一个实施例中，所述系统采样由RF发生器产生的RF功率，以获得包括指示落在频率范围内的多个特定频率的电特性的信息的RF信号。所述RF信号被数字化以获得数字RF信号的流，所述数字RF信号的流包括：指示在所述多个特定频率的电特性的信息；以及，指示针对所述多个特定频率的每一个将电特性从时域连续地变换到频域内的信息。

公开(公告)号：CN109156075A

公开(公告)日：2019-01-04

申请号：CN201780031100.2

申请日：2017-04-13

申请人： 先进能源工业公司

发明人： M·Y·崔 ,  D·肖 ,  M·米勒 ,  J·罗贝格 ,  S·乔丹

IPC分类号： H05H1/46 ,  H01J37/32

摘要： 提供射频(RF)发生器，其包括激励器、功率放大器、滤波器、传感器和频率调谐子系统。所述频率调谐子系统包括非暂时有形机器可读介质，其包含用于执行包括以下方法的指令：接收等离子体负载的阻抗轨迹；接收复合反射系数平面中的参考点，所述参考点在穿通过参考点和原点的参考矢量上；从传感器接收测量的等离子体负载阻抗；确定参考矢量和线之间的测量角度，所述线穿通过参考点和与测量的阻抗对应的复合反射系数平面中的点；以预定常数缩放测量角度，以产生频率步长；将频率步长加到初始频率，以产生调节过的频率；以及使激励器生成以调节过的频率振荡的信号。

公开(公告)号：CN102037789A

公开(公告)日：2011-04-27

申请号：CN200980118839.2

申请日：2009-03-12

申请人： 先进能源工业公司

发明人： G·J·万兹尔 ,  J·罗贝格

IPC分类号： H05H1/30 ,  H05H1/36

CPC分类号： H01J37/32082 ,  H03H7/40 ,  H03H11/1291 ,  H05H1/46 ,  H05H2001/4682

摘要： 描述了一种用于调谐耦合到时变负载的电发生器工作频率的方法和设备。一个示例性实施例迅速计算在电发生器的当前工作频率处的误差(反射系数大小)；以初始步长调节电发生器的频率；迅速计算第二误差；以及如果第二误差的大小小于第一误差的大小，那么增大步长，并以增大的步长调节频率。