公开(公告)号：CN105118046A

公开(公告)日：2015-12-02

申请号：CN201510415381.4

申请日：2011-08-01

申请人： 克拉-坦科股份有限公司

发明人： L·高 ,  K·吴 ,  A·帕克 ,  E·常 ,  K·扎法 ,  J(J)·黄 ,  P·顾 ,  C·马赫 ,  G·H·陈 ,  S·荣 ,  L-M·吴

IPC分类号： G06T7/00

CPC分类号： G06T7/001 ,  G06T2207/10061 ,  G06T2207/20021 ,  G06T2207/20056 ,  G06T2207/30148

摘要： 本发明涉及基于区域的虚拟傅里叶滤波器，包括：搜索图像数据以标识半导体晶片上的一个或多个图案化区域；生成一个或多个虚拟傅里叶滤波器(VFF)工作区；从VFF工作区采集初始图像数据集；利用初始图像数据集来将VFF训练块限定在VFF工作区的所标识图案化区域内，其中每一VFF训练块被限定为涵盖所标识图案化区域的显示所选重复图案的部分；利用来自VFF训练块的初始图像数据集来计算每一VFF训练块的初始频谱；以及通过标识在频域中初始频谱的具有最大值的频率来生成每一训练块的VFF，其中VFF被配置成在标识为显示频谱最大值的频率处使初始频谱的幅值为零。

公开(公告)号：CN103329167A

公开(公告)日：2013-09-25

申请号：CN201180045204.1

申请日：2011-08-01

申请人： 克拉-坦科股份有限公司

发明人： L·高 ,  K·吴 ,  A·帕克 ,  E·常 ,  K·扎法 ,  J(J)·黄 ,  P·顾 ,  C·马赫 ,  G·H·陈 ,  S·荣 ,  L-M·吴

IPC分类号： G06T7/60

CPC分类号： G06T7/001 ,  G06T2207/10061 ,  G06T2207/20021 ,  G06T2207/20056 ,  G06T2207/30148

摘要： 本发明包括：搜索图像数据以标识半导体晶片上的一个或多个图案化区域；生成一个或多个虚拟傅里叶滤波器（VFF）工作区；从VFF工作区采集初始图像数据集；利用初始图像数据集来将VFF训练块限定在VFF工作区的所标识图案化区域内，其中每一VFF训练块被限定为涵盖所标识图案化区域的显示所选重复图案的部分；利用来自VFF训练块的初始图像数据集来计算每一VFF训练块的初始频谱；以及通过标识在频域中初始频谱的具有最大值的频率来生成每一训练块的VFF，其中VFF被配置成在标识为显示频谱最大值的频率处使初始频谱的幅值为零。

公开(公告)号：CN102985887A

公开(公告)日：2013-03-20

申请号：CN201180032278.1

申请日：2011-06-09

申请人： 克拉-坦科股份有限公司

发明人： G·萨泰森达拉姆 ,  M·马哈德万 ,  A·古普塔 ,  C-H·A·陈 ,  A·库卡尼 ,  J·柯克伍德 ,  K·吴 ,  S·荣

IPC分类号： G05B19/418

CPC分类号： G05B19/41875 ,  G05B2219/32182 ,  G05B2219/45031 ,  Y02P90/22

摘要： 提供了用于确定晶片检查和/或度量的参数的各个实施例。

公开(公告)号：CN103329167B

公开(公告)日：2016-08-17

申请号：CN201180045204.1

申请日：2011-08-01

申请人： 克拉-坦科股份有限公司

发明人： L·高 ,  K·吴 ,  A·帕克 ,  E·常 ,  K·扎法 ,  J(J)·黄 ,  P·顾 ,  C·马赫 ,  G·H·陈 ,  S·荣 ,  L-M·吴

IPC分类号： G06T7/60

CPC分类号： G06T7/001 ,  G06T2207/10061 ,  G06T2207/20021 ,  G06T2207/20056 ,  G06T2207/30148

摘要： 本发明包括：搜索图像数据以标识半导体晶片上的一个或多个图案化区域；生成一个或多个虚拟傅里叶滤波器（VFF）工作区；从VFF工作区采集初始图像数据集；利用初始图像数据集来将VFF训练块限定在VFF工作区的所标识图案化区域内，其中每一VFF训练块被限定为涵盖所标识图案化区域的显示所选重复图案的部分；利用来自VFF训练块的初始图像数据集来计算每一VFF训练块的初始频谱；以及通过标识在频域中初始频谱的具有最大值的频率来生成每一训练块的VFF，其中VFF被配置成在标识为显示频谱最大值的频率处使初始频谱的幅值为零。

公开(公告)号：CN105118046B

公开(公告)日：2018-05-18

申请号：CN201510415381.4

申请日：2011-08-01

申请人： 克拉-坦科股份有限公司

发明人： L·高 ,  K·吴 ,  A·帕克 ,  E·常 ,  K·扎法 ,  J(J)·黄 ,  P·顾 ,  C·马赫 ,  G·H·陈 ,  S·荣 ,  L-M·吴

IPC分类号： G06T7/00

CPC分类号： G06T7/001 ,  G06T2207/10061 ,  G06T2207/20021 ,  G06T2207/20056 ,  G06T2207/30148

摘要： 本发明涉及基于区域的虚拟傅里叶滤波器，包括：搜索图像数据以标识半导体晶片上的一个或多个图案化区域；生成一个或多个虚拟傅里叶滤波器(VFF)工作区；从VFF工作区采集初始图像数据集；利用初始图像数据集来将VFF训练块限定在VFF工作区的所标识图案化区域内，其中每一VFF训练块被限定为涵盖所标识图案化区域的显示所选重复图案的部分；利用来自VFF训练块的初始图像数据集来计算每一VFF训练块的初始频谱；以及通过标识在频域中初始频谱的具有最大值的频率来生成每一训练块的VFF，其中VFF被配置成在标识为显示频谱最大值的频率处使初始频谱的幅值为零。

公开(公告)号：CN102985887B

公开(公告)日：2014-12-03

申请号：CN201180032278.1

申请日：2011-06-09

申请人： 克拉-坦科股份有限公司

发明人： G·萨泰森达拉姆 ,  M·马哈德万 ,  A·古普塔 ,  C-H·A·陈 ,  A·库卡尼 ,  J·柯克伍德 ,  K·吴 ,  S·荣

IPC分类号： G05B19/418

CPC分类号： G05B19/41875 ,  G05B2219/32182 ,  G05B2219/45031 ,  Y02P90/22

摘要： 本发明提供了用于确定晶片检查和/或度量的参数的各个实施例。