公开(公告)号：CN1319558A

公开(公告)日：2001-10-31

申请号：CN01112014.2

申请日：2001-03-27

Applicant: 克罗诺斯集成微系统公司

Inventor： 拉马斯瓦米·马哈德范 ,  爱德华·阿瑟·希尔 ,  罗伯特·L·伍德 ,  艾伦·布鲁斯·考恩

IPC: B81B7/02 ,  F01L1/00

CPC classification number: B81B3/0024 ,  B81B2201/031 ,  B81B2203/0109 ,  B81B2203/051 ,  F03G7/06 ,  H01H1/0036 ,  H01H61/02 ,  H01H2001/0068 ,  H01H2061/006

Abstract: 改进的结构,包括位于微电子基片上的相间隔的支承件以及一在该支承件间延伸并在将热量加于其上时膨胀的梁,从而使该梁在支承件之间位移。位于该梁上的加热器将热量加于该梁并在其位移时随其位移。故可将热量直接加于拱形梁上,从而减少其与加热器间的热损失。此外,不需加热加热器与拱形梁之间的间隙,从而有改进的瞬时热响应。而且,在拱形梁位移时使加热器位移还能通过减少其间的间隔而进一步减少热损失和瞬时热响应。

公开(公告)号：CN1319557A

公开(公告)日：2001-10-31

申请号：CN01112015.0

申请日：2001-03-27

Applicant: 克罗诺斯集成微系统公司

Inventor： 维加亚库马·鲁卓帕·德胡勒 ,  爱德华·阿瑟·希尔

IPC: B81B3/00 ,  G02B26/00 ,  G03B9/08

CPC classification number: G02B6/3564 ,  B81B3/0054 ,  B81B2201/045 ,  B81B2203/0118 ,  G02B6/353 ,  G02B6/3552 ,  G02B6/357

Abstract: 一微型电子机械装置,包括有第一和第二光纤的基片。一光学快门以机械方式与由支承结构支承的多个第一拱形横梁相连。在该快门的第一侧提供多个第二拱形横梁。一第一制动部件与之相连,且在其松弛时接触并限制快门沿±y方向移动,但在其沿－x方向移动时释放该快门。最好在该快门的第二侧提供多个第三拱形横梁,与之相连的第二制动部件在其松弛时也接触并限制快门沿±y方向移动,但在其沿+x方向移动时释放该快门。