公开(公告)号：CN111971411A

公开(公告)日：2020-11-20

申请号：CN201980023277.7

申请日：2019-02-26

申请人： 公益财团法人福冈县产业·科学技术振兴财团

发明人： 小林慎一郎 ,  藤本弘 ,  宫崎浩

IPC分类号： C23C14/24 ,  C23C14/12 ,  H05B6/04

摘要： 本发明的目的在于提供以感应加热方式进行有机材料制膜时噪声得以控制的实用的蒸镀装置等。一种将有机材料制膜于基板的蒸镀装置，具有：至少一部分是由导体构成的用于收容所述有机材料的容器，配置在所述容器周围的线圈，与所述线圈连接的功率半导体，与所述功率半导体连接的直流电源，所述功率半导体做为构成逆变器部的一部分的晶体管发挥功能，所述逆变器部是将直流变换为交流的。通过使用功率半导体和直流电源，不需要使用大型的交流电源。因此，容易使蒸镀装置做到小型化。

公开(公告)号：CN114945702A

公开(公告)日：2022-08-26

申请号：CN202080092437.6

申请日：2020-11-27

申请人： 公益财团法人福冈县产业·科学技术振兴财团

发明人： 小林慎一郎 ,  武田谦吾 ,  宫崎浩

IPC分类号： C23C14/24 ,  B01D7/02 ,  H01L51/50 ,  H05B6/04 ,  H05B33/10

摘要： 本发明的目的在于提供一种能够在采用感应加热方法的同时抑制大电流产生的电路负荷的实用的蒸镀装置等。一种将有机材料在基板上制膜的蒸镀装置，具有：至少一部分是由导体构成的用于收容所述有机材料的容器，配置在所述容器周围的加热线圈，直流电源，与所述直流电源连接的逆变器，与所述逆变器连接的初级线圈，与所述加热线圈连接的次级线圈；所述初级线圈和所述次级线圈形成匹配变压器。