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发明公开
蒸镀装置及有机电子器件的生产方法审中-实审

公开(公告)号：CN111971411A

公开(公告)日：2020-11-20

申请号：CN201980023277.7

申请日：2019-02-26

申请人： 公益财团法人福冈县产业·科学技术振兴财团

发明人： 小林慎一郎 , 藤本弘 , 宫崎浩

IPC分类号： C23C14/24 , C23C14/12 , H05B6/04

摘要： 本发明的目的在于提供以感应加热方式进行有机材料制膜时噪声得以控制的实用的蒸镀装置等。一种将有机材料制膜于基板的蒸镀装置，具有：至少一部分是由导体构成的用于收容所述有机材料的容器，配置在所述容器周围的线圈，与所述线圈连接的功率半导体，与所述功率半导体连接的直流电源，所述功率半导体做为构成逆变器部的一部分的晶体管发挥功能，所述逆变器部是将直流变换为交流的。通过使用功率半导体和直流电源，不需要使用大型的交流电源。因此，容易使蒸镀装置做到小型化。