公开(公告)号：CN113939899A

公开(公告)日：2022-01-14

申请号：CN202080043042.7

申请日：2020-06-12

Applicant: 关东化学株式会社

Inventor： 高桥秀树 ,  荻原艾琳娜 ,  廖本男 ,  吴柏衡 ,  李懿

IPC: H01L21/306

Abstract: 本发明以提供抑制氮化钛用蚀刻液组合物中所含的过氧化氢的分解的分解抑制剂为课题。本发明涉及一种用于抑制氮化钛用蚀刻液组合物中所含的过氧化氢的分解的分解抑制剂，其中，包含选自唑类化合物、氨基羧酸类化合物和膦酸类化合物的至少1种化合物作为有效成分。

公开(公告)号：CN113939899B

公开(公告)日：2025-03-28

申请号：CN202080043042.7

申请日：2020-06-12

Applicant: 关东化学株式会社

Inventor： 高桥秀树 ,  荻原艾琳娜 ,  廖本男 ,  吴柏衡 ,  李懿

IPC: H01L21/306

Abstract: 本发明以提供抑制氮化钛用蚀刻液组合物中所含的过氧化氢的分解的分解抑制剂为课题。本发明涉及一种用于抑制氮化钛用蚀刻液组合物中所含的过氧化氢的分解的分解抑制剂，其中，包含选自唑类化合物、氨基羧酸类化合物和膦酸类化合物的至少1种化合物作为有效成分。