公开(公告)号：CN100570370C

公开(公告)日：2009-12-16

申请号：CN200510107131.0

申请日：2005-09-28

申请人： 冲电气工业株式会社

发明人： 森浩也

IPC分类号： G01P15/12 ,  G01P15/18 ,  H01L29/84

CPC分类号： G01P15/18 ,  G01P15/123 ,  G01P2015/084

摘要： 本发明提供一种加速度传感器。该加速度传感器可以减小XYZ三轴的输出差，从而实现省电化。压电阻型三轴加速度传感器具有：外框部(11)，配置于该外框部(11)内的质量部(13)，柔性地支承该质量部(13)的梁部件(14-1a、14-1b、14-2a、14-2b)，形成于该梁部件(14-1a、14-1b、14-2a、14-2b)上的X、Y、Z轴用压电阻体(15-1a、15-1b～15-6a、15-6b)。使Z轴用压电阻体(15-5a、15-5b、15-6a、15-6b)的长度L2长于X轴用压电阻体(15-1a、15-1b、15-2a、15-2b)和Y轴用压电阻体(15-3a、15-3b、15-4a、15-4b)的长度L1，从而使灵敏度降低。

公开(公告)号：CN1793937A

公开(公告)日：2006-06-28

申请号：CN200510107131.0

申请日：2005-09-28

申请人： 冲电气工业株式会社

发明人： 森浩也

IPC分类号： G01P15/12 ,  G01P15/18 ,  H01L29/84

CPC分类号： G01P15/18 ,  G01P15/123 ,  G01P2015/084

摘要： 本发明提供一种加速度传感器。该加速度传感器可以减小XYZ三轴的输出差，从而实现省电化。压电阻型三轴加速度传感器具有：外框部(11)，配置于该外框部(11)内的质量部(13)，柔性地支承该质量部(13)的梁部件(14－1a、14－1b、14－2a、14－2b)，形成于该梁部件(14－1a、14－1b、14－2a、14－2b)上的X、Y、Z轴用压电阻体(15－1a、15－1b～15－6a、15－6b)。使Z轴用压电阻体(15－5a、15－5b、15－6a、15－6b)的长度L2长于X轴用压电阻体(15－1a、15－1b、15－2a、15－2b)和Y轴用压电阻体(15－3a、15－3b、15－4a、15－4b)的长度L1，从而使灵敏度降低。