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    双轴和三轴惯性传感器及惯性感测方法
    3.
    发明公开
    双轴和三轴惯性传感器及惯性感测方法 有权

    公开(公告)号：CN104781677A

    公开(公告)日：2015-07-15

    申请号：CN201380057287.5

    申请日：2013-09-04

    申请人： 剑桥企业有限公司

    发明人： A·A·塞西亚 ,  P·希鲁文卡塔纳森 ,  X·邹

    IPC分类号： G01P15/097 ,  G01P15/18 ,  G01K7/32 ,  G01P1/00

    CPC分类号： G01P1/006 ,  G01K7/32 ,  G01K11/26 ,  G01P15/097 ,  G01P15/18 ,  G01P2015/084

    摘要： 一种惯性传感器，该惯性传感器包括：框架；悬挂于框架的检验质量块；第一谐振元件对，该第一谐振元件对电耦合至检验质量块或电耦合至中间组件，该中间组件机械耦合至检验质量块，每个第一谐振元件相对于另一个耦合至检验质量块的对侧，第一谐振元件实质上彼此相同且当传感器不加速时，具有与检验质量块实质上相同的静电耦合；第一谐振元件和检验质量块实质上位于一个平面内，且其中检验质量块正交于平面的相对于第一谐振元件的移动改变检验质量块和第一谐振元件之间的静电耦合；驱动装置，耦合至第一谐振元件，使第一谐振元件中的每一者振动；以及传感器组件，检测第一谐振元件中每一者的谐振频率的偏移；以及处理装置，对第一谐振元件中每一者的偏移求和以提供与第一轴平行的检验质量块的加速度的测量，第一轴与平面正交。

    加速度计测装置
    5.
    发明授权
    加速度计测装置 有权

    公开(公告)号：CN101031803B

    公开(公告)日：2012-09-05

    申请号：CN200580027238.2

    申请日：2005-08-12

    申请人： 旭化成电子材料元件株式会社

    发明人： 山田力大 ,  疋田浩一 ,  佐佐木裕之 ,  山下昌哉

    IPC分类号： G01P15/00 ,  G01P21/00

    CPC分类号： G01P15/18 ,  G01P15/123 ,  G01P21/00 ,  G01P2015/084

    摘要： 本发明涉及加速度计测装置，其能够取得三轴加速度传感器的输出校正所需的偏移或灵敏度和偏移的双方。加速度计测装置具备：三轴加速度传感器(1)，其检测三轴方向的加速度；数据取得部(5A)，其取得三轴输出数据；数据选择部(13)，其判断反复取得的三轴输出数据是否合适，并选择；数据积蓄部(14)，其积蓄所选择的三轴输出数据；基准点推测部(15)，其根据所积蓄的预定数量的三轴输出数据在将各轴成分作为坐标值时的三维正交坐标空间中的分布，推测在三维正交坐标空间上确定的基准点的坐标值；以及偏移校正计算部(17)，其根据基准点的坐标值，校正三轴加速度传感器(1)的三轴输出数据的偏移。

    加速度传感器
    8.
    发明授权
    加速度传感器 失效

    公开(公告)号：CN100483135C

    公开(公告)日：2009-04-29

    申请号：CN200510113545.4

    申请日：2005-10-17

    申请人： TDK株式会社

    发明人： 庄司茂

    IPC分类号： G01P15/08

    CPC分类号： G01P15/0891 ,  G01P1/023 ,  G01P15/105 ,  G01P15/18 ,  G01P2015/084 ,  G11B5/54

    摘要： 一种加速度传感器包括：壳体构件；连接着所述壳体构件的弹簧构件，所述弹簧构件在所要探测的加速度的至少一个方向上具有自由度；一个重物及磁场生成构件，其固定在所述弹簧构件上；以及至少一个磁场探测传感器，其连接着所述壳体构件，以便面对所述重物及磁场生成构件。所述至少一个磁场探测传感器设置了至少一个多层磁阻效应元件，该元件包括一个磁化固定层和一个磁化自由层。当没有加速度施加时，从重物及磁场生成构件对至少一个多层磁阻效应元件施加的磁场的方向垂直于至少一个多层磁阻效应元件的叠层平面。

    加速度传感器
    9.
    发明授权
    加速度传感器 失效

    公开(公告)号：CN100347863C

    公开(公告)日：2007-11-07

    申请号：CN200310122386.5

    申请日：2003-12-19

    申请人： 日立金属株式会社

    发明人： 大丰大吾 ,  斋藤正胜

    IPC分类号： H01L29/84 ,  G01P5/12

    CPC分类号： G01P15/18 ,  B81B3/0072 ,  B81B2201/0235 ,  B81B2203/0109 ,  B81B2203/051 ,  G01P15/0802 ,  G01P15/123 ,  G01P2015/084

    摘要： 本发明公开了一种即使受到一个在通常处理时可能产生的冲击，弹性支承臂也不断裂的结构的加速度传感器。这种加速度传感器具有一个块状部分、一个固定在块状部分上的块状部分顶片、一个包围块状部分的厚的矩形支承框架、一个固定在框架上的框架顶片、和四个将块状部分悬挂在框架中心的并桥接块状部分顶片和框架顶片的弹性支承臂。在块状部分侧表面和框架内表面上在支承臂的正下方形成横向槽。由于这些槽，块状部分顶片和框架顶片具有它们的粘结在块状部分/框架上的部分和它们的向支承臂凸出的部分。在粘结部分和凸出部分之间的边界处的横截面大于把凸出部分连接到支承臂上的横截面，以及，块状部分顶片、框架顶片和弹性支承臂具有相同的厚度。因为由从外面施加的冲击在块状部分/框架上引起的应变不是直接传递到支承臂上，并且在具有大于支承臂的横截面积的凸出部分被释放，因此防止了弹性支承臂的断裂。