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公开(公告)号:CN101176167A
公开(公告)日:2008-05-07
申请号:CN200580032008.5
申请日:2005-09-23
申请人: 利兰·斯坦福青年大学托管委员会
CPC分类号: G01Q60/02 , G01Q60/38 , G01Q60/60 , Y10S977/86 , Y10S977/869 , Y10S977/875
摘要: 提供了用于进行电学、电化学或形貌分析的传感器和系统,以及制造这些传感器的方法。所述传感器包括悬臂和一个或多个探针,每个探针的尖端具有一个电极。所述探针的尖端是尖锐的,曲率半径约小于50纳米。另外,所述探针具有约大于19∶1的高长宽比。所述传感器适用于原子力显微镜和扫描电化学显微镜。