公开(公告)号：CN105122106B

公开(公告)日：2019-02-01

申请号：CN201480019856.1

申请日：2014-04-04

Applicant: 加州理工学院

Inventor： 赫·伟·李 ,  斯坦利·布尔戈斯 ,  乔治亚·帕帕扎基斯 ,  H·A·阿特沃特

IPC: G02B6/122 ,  G02B6/26

Abstract: 等离子体激元器件具有透明导电氧化物(TCO)波导和施加在TCO和金属层之间的用于调制输入光信号的可调整电压。等离子体激元器件包括：衬底；在衬底上的并具有开槽通道的金属层；在金属层上和开槽通道中的介电层；以及在介电层上和开槽通道中的透明导电氧化物(TCO)。

公开(公告)号：CN105122106A

公开(公告)日：2015-12-02

申请号：CN201480019856.1

申请日：2014-04-04

Applicant: 加州理工学院

Inventor： 赫·伟·李 ,  斯坦利·布尔戈斯 ,  乔治亚·帕帕扎基斯 ,  H·A·阿特沃特

IPC: G02B6/122 ,  G02B6/26

CPC classification number: G02B5/008 ,  B82Y20/00 ,  G02B6/1226 ,  G02F1/011 ,  G02F1/025 ,  G02F1/0356 ,  G02F2001/0151 ,  G02F2201/12 ,  G02F2203/10 ,  G02F2203/15 ,  Y10S977/932

Abstract: 等离子体激元器件具有透明导电氧化物(TCO)波导和施加在TCO和金属层之间的用于调制输入光信号的可调整电压。等离子体激元器件包括：衬底；在衬底上的并具有开槽通道的金属层；在金属层上和开槽通道中的介电层；以及在介电层上和开槽通道中的透明导电氧化物(TCO)。