一种保护坩埚侧壁涂层的装料方法

    公开(公告)号:CN110578167A

    公开(公告)日:2019-12-17

    申请号:CN201910976835.3

    申请日:2019-10-15

    IPC分类号: C30B28/06 C30B29/06

    摘要: 本发明公开了一种保护坩埚侧壁涂层的装料方法,该装料方法具体为:首先在坩埚底部均匀地铺满小块硅料;然后在所述小块硅料之上采用均匀排列的方式铺设方形回收料,之后再在所述坩埚的四角位置放置晶砖回收料或堆叠的方形回收料;再将边皮回收料斜靠在所述坩埚的侧壁上,保证坩埚四面的侧壁不被露出,所述边皮回收料与坩埚侧壁之间呈线性接触,两者之间形成夹角;最后装入硅原料以及掺杂剂,完成装料。本发明的装料方法能够减少硅料由于膨胀挤压刮坏涂层的可能,同时能够降低多晶硅铸锭过程中由于硅料受热膨胀挤压破坏坩埚而发生溢流的可能性。