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公开(公告)号：CN118030573B
公开(公告)日：2024-08-20
申请号：CN202311793596.0
申请日：2023-12-25
申请人： 北京中科科仪股份有限公司
摘要： 本发明涉及分子泵技术领域，公开了一种分子泵转子温度测量方法、装置、计算机设备及存储介质，转子以及磁轴承定子之间有持续激振测试信号作用；其中，该方法包括：获取磁轴承定子驱动器发送的第一测试信号；将第一测试信号发送至磁轴承定子以及转子，以使转子基于第一测试信号生成反馈结果；基于反馈结果，测量转子的温度。本发明通过向磁轴承定子以及转子发送第一测试信号，第一测试信号能够使得转子以及磁轴承定子之间的磁场发生变化，从而使得转子通过第一测试信号生成反馈结果，并通过反馈结果确定转子的温度，相较于人为检测分子泵转子温度的方式，本发明通过转子以及磁轴承定子的配合作用下，能够客观准确地内嵌式非接触确定转子的温度。
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公开(公告)号：CN114352553A
公开(公告)日：2022-04-15
申请号：CN202111681457.X
申请日：2021-12-31
申请人： 北京中科科仪股份有限公司
摘要： 本发明涉及分子泵技术领域，具体涉及一种旋涡机构及复合分子泵，旋涡机构包括旋涡转子和旋涡定子，旋涡转子适于与驱动轴连接，旋涡定子适于与壳体本体连接，旋涡定子和旋涡转子围合为适于介质流通的旋涡流道，在旋涡转子和旋涡定子的二者之一上设置有若干叠层设置的旋涡叶片，在旋涡转子和旋涡定子二者中的另一个上相对旋涡叶片设置有导流槽，导流槽的延伸方向与旋涡叶片所在平面呈夹角设置。由于导流槽的延伸方向与旋涡叶片所在平面呈夹角设置，可以实现在夹角部位对介质进行急速压缩分流，增气流压强，提高压缩比，同时使气体流动过程中不会发生气体回流的情况，提高抽真空效率和真空度。
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公开(公告)号：CN118030573A
公开(公告)日：2024-05-14
申请号：CN202311793596.0
申请日：2023-12-25
申请人： 北京中科科仪股份有限公司
摘要： 本发明涉及分子泵技术领域，公开了一种分子泵转子温度测量方法、装置、计算机设备及存储介质，转子以及磁轴承定子之间有持续激振测试信号作用；其中，该方法包括：获取磁轴承定子驱动器发送的第一测试信号；将第一测试信号发送至磁轴承定子以及转子，以使转子基于第一测试信号生成反馈结果；基于反馈结果，测量转子的温度。本发明通过向磁轴承定子以及转子发送第一测试信号，第一测试信号能够使得转子以及磁轴承定子之间的磁场发生变化，从而使得转子通过第一测试信号生成反馈结果，并通过反馈结果确定转子的温度，相较于人为检测分子泵转子温度的方式，本发明通过转子以及磁轴承定子的配合作用下，能够客观准确地内嵌式非接触确定转子的温度。
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公开(公告)号：CN117782831A
公开(公告)日：2024-03-29
申请号：CN202311498100.7
申请日：2023-11-10
申请人： 北京中科科仪股份有限公司
摘要： 本发明涉及材料性能测试技术领域，具体涉及一种分子泵涡轮材料蠕变测试装置及蠕变测试方法，分子泵涡轮材料蠕变测试装置包括：测试架安装分子泵，在分子泵内设有涡轮；分子泵设有的气体入口适于通入气体；测试盖板固定设置于测试架上；红外测试单元安装至测试盖板上，红外测试单元获取涡轮表面的温度；本申请通过开发设计专用测试装置，针对分子泵产品中的关键零件：涡轮进行材料蠕变测试，使用实际成型的涡轮在分子泵中进行检测，能够真实反映涡轮材料在实际使用中不同状态下涡轮材料的蠕变特性，进而获得分子泵涡轮材料性能的试验数据；真实反映涡轮材料的蠕变特性。
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公开(公告)号：CN114352553B
公开(公告)日：2024-01-09
申请号：CN202111681457.X
申请日：2021-12-31
申请人： 北京中科科仪股份有限公司
摘要： 本发明涉及分子泵技术领域，具体涉及一种旋涡机构及复合分子泵，旋涡机构包括旋涡转子和旋涡定子，旋涡转子适于与驱动轴连接，旋涡定子适于与壳体本体连接，旋涡定子和旋涡转子围合为适于介质流通的旋涡流道，在旋涡转子和旋涡定子的二者之一上设置有若干叠层设置的旋涡叶片，在旋涡转子和旋涡定子二者中的另一个上相对旋涡叶片设置有导流槽，导流槽的延伸方向与旋涡叶片所在平面呈夹角设置。由于导流槽的延伸方向与旋涡叶片所在平面呈夹角设置，可以实现在夹角部位对介质进行急速压缩分流，增气流压强，提高压缩比，同时使气体流动过程中不会发生气体回流的情况，提高抽真空效率和真空度。
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公开(公告)号：CN117927492A
公开(公告)日：2024-04-26
申请号：CN202311754405.X
申请日：2023-12-19
申请人： 北京中科科仪股份有限公司
摘要： 本发明公开了一种转动部件的测量装置及方法，所述测量装置包括：定子，内部为空腔状；转子，设置在所述定子内部并与所述定子具有间距，且所述转子与所述定子之间互不导通；电源，将电压施加于转子和定子的互相不导通的不同的成对位置上，以使所述转子和所述定子之间构成两个或多个并联的电容器；电容值测量系统，设置在所述转子或所述定子上，用于测量转子或定子的电容值大小，并利用所测量的电容值的微小变化，来计算和获取转子和定子之间距离的微小变化。本发明利用非接触的并联电容器结构及其测量电路，实现精确测量转子微小的径向位移变化和几何变化，以及得到转子相对定子温度差的变化，对转动部件的运行的可靠性及实时状态进行监测。
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公开(公告)号：CN114320989B
公开(公告)日：2022-12-02
申请号：CN202111680750.4
申请日：2021-12-31
申请人： 北京中科科仪股份有限公司
IPC分类号： F04D27/00
摘要： 本申请提供了一种分子泵测温装置、测温方法及运转部件的测温装置，至少用于测量分子泵的轴系涡轮转子的温度，分子泵包括：泵体；主轴；涡轮转子，与主轴连接并形成轴系涡轮转子；静涡轮级，与涡轮转子交替配合布置；驱动装置，能够驱动主轴转动，使得涡轮转子能够相对静涡轮级转动，测温装置包括：至少一个的非接触式传感器，设置在泵体内，用于确定涡轮转子和/或主轴的热辐射参数，热辐射参数至少包括热辐射强度参数和/或频谱参数；处理单元，与非接触式传感器电连接，用于根据涡轮转子和/或主轴的热辐射参数，确定轴系涡轮转子的温度。该测温装置简捷的实现了对高速运转的涡轮转子进行实时温度监测的目的，提高设备的运行安全性。
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公开(公告)号：CN113776694A
公开(公告)日：2021-12-10
申请号：CN202111057669.0
申请日：2021-09-09
申请人： 北京中科科仪股份有限公司
摘要： 本申请提供了一种温度测量方法、装置及系统、计算机可读存储介质，涉及测量技术领域。该温度测量方法包括：基于待测温器件对应的接触式测温设备，确定待测温器件对应的接触温度数据；基于待测温器件对应的非接触式测温设备，确定待测温器件对应的非接触温度数据；基于接触温度数据和非接触温度数据，确定接触式测温设备与非接触式测温设备之间的温度测量关系；获取非接触式测温设备测得的待校准非接触温度值；根据温度测量关系和待校准非接触温度值，确定待校准非接触温度值对应的校准温度值。该温度测量方法实用性、可操作性强。
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公开(公告)号：CN103398013B
公开(公告)日：2016-08-24
申请号：CN201310349243.1
申请日：2013-08-12
申请人： 北京中科科仪股份有限公司
摘要： 本发明公开了一种涡轮分子泵，其包括泵体、主轴、涡轮转子、电机以及静涡轮级，其中，电机包括电机定子和电机转子，电机转子和电机定子为中部具有通孔的盘形结构，电机转子和电机定子通过各自通孔先后套设在主轴上，电机转子与电机定子盘面相对，且电机定子固定不动，电机转子固定设置在主轴与涡轮转子的连接处，以使电机定子与电机转子形成的旋转动力源位于或者接近主轴与涡轮转子形成的轴系转子的质心处，从而使得本发明的涡轮分子泵运转时动不平衡降低，振动较小，提高了涡轮分子泵的运行可靠性。
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公开(公告)号：CN117782831B
公开(公告)日：2024-10-18
申请号：CN202311498100.7
申请日：2023-11-10
申请人： 北京中科科仪股份有限公司
摘要： 本发明涉及材料性能测试技术领域，具体涉及一种分子泵涡轮材料蠕变测试装置及蠕变测试方法，分子泵涡轮材料蠕变测试装置包括：测试架安装分子泵，在分子泵内设有涡轮；分子泵设有的气体入口适于通入气体；测试盖板固定设置于测试架上；红外测试单元安装至测试盖板上，红外测试单元获取涡轮表面的温度；本申请通过开发设计专用测试装置，针对分子泵产品中的关键零件：涡轮进行材料蠕变测试，使用实际成型的涡轮在分子泵中进行检测，能够真实反映涡轮材料在实际使用中不同状态下涡轮材料的蠕变特性，进而获得分子泵涡轮材料性能的试验数据；真实反映涡轮材料的蠕变特性。
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