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公开(公告)号：CN103398013B
公开(公告)日：2016-08-24
申请号：CN201310349243.1
申请日：2013-08-12
申请人： 北京中科科仪股份有限公司
摘要： 本发明公开了一种涡轮分子泵，其包括泵体、主轴、涡轮转子、电机以及静涡轮级，其中，电机包括电机定子和电机转子，电机转子和电机定子为中部具有通孔的盘形结构，电机转子和电机定子通过各自通孔先后套设在主轴上，电机转子与电机定子盘面相对，且电机定子固定不动，电机转子固定设置在主轴与涡轮转子的连接处，以使电机定子与电机转子形成的旋转动力源位于或者接近主轴与涡轮转子形成的轴系转子的质心处，从而使得本发明的涡轮分子泵运转时动不平衡降低，振动较小，提高了涡轮分子泵的运行可靠性。
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公开(公告)号：CN103426709B
公开(公告)日：2016-05-25
申请号：CN201310395592.7
申请日：2013-09-03
申请人： 北京中科科仪股份有限公司
IPC分类号： H01J37/26 , H01J37/28 , H01J37/244
摘要： 一种角度扫描光发射电子显微成像系统及其方法，包括光束扫描系统、电子显微系统和控制系统；所述光束扫描系统包括激发光源、整形镜、聚焦镜、振镜和成像镜；所述整形镜位于所述第一真空腔体内部，用于对所述激发光源发射的激发光进行整形，激发光经过整形汇聚后在所述整形镜的焦点a处形成聚焦光斑；所述聚焦镜、所述振镜位于所述第一真空腔体内部，用于将聚焦光斑成像并投射至所述振镜的反射镜旋转中心处；所述成像镜位于所述第一真空腔体内部，用于将经过所述振镜的反射光成像到被测样品的表面。本发明提供的角度扫描光发射电子显微成像系统及其方法能实现快速、精确的角度扫描，重复定位精度高，观测效果好。
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公开(公告)号：CN102788037B
公开(公告)日：2015-11-25
申请号：CN201210285850.1
申请日：2012-08-13
申请人： 北京中科科仪股份有限公司 , 清华大学
IPC分类号： F04D27/00
摘要： 本发明提出一种磁悬浮分子泵的型号识别方法及系统，在每种型号的磁悬浮分子泵的泵体内设置具有不同阻抗的测试电路，通过实验获得适用于不同型号磁悬浮分子泵的控制策略，然后建立不同型号分子泵测试电路的阻抗与该型号分子泵控制策略的一一对应关系，存储在磁悬浮分子泵控制器内。在所述磁悬浮分子泵控制器内设置有阻抗值固定的标准电路。当磁悬浮分子泵与磁悬浮分子泵控制器连接上电后，所述磁悬浮分子泵控制器内标准电路与泵体内测试电路形成检测电路，可以得到所述泵体内测试电路的阻抗，然后调用与所述测试电路阻抗对应的分子泵控制策略，即可控制磁悬浮分子泵实现稳定运行。这样就解决了磁悬浮分子泵与磁悬浮分子泵控制器的互换性问题。
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公开(公告)号：CN102817861B
公开(公告)日：2015-02-11
申请号：CN201210304041.0
申请日：2012-08-23
申请人： 北京中科科仪股份有限公司 , 清华大学
IPC分类号： F04D27/00
摘要： 本发明提出一种磁悬浮分子泵的变刚度控制方法，首先，分别在低速段和高速段进行调试，获得低速段适用的高刚度、高阻尼的控制参数和高速段适用的低刚度、低阻尼的控制参数，然后设置切换转速。当分子泵运行时，先调用高刚度、高阻尼的控制参数来克服低速段电机磁钢磁偏拉力对于转子悬浮稳定性的影响，当转子达到高速段时采用低刚度、低阻尼的策略克服其他转子悬浮稳定性影响。本发明所述的一种磁悬浮分子泵的变刚度控制方法，解决了现有技术中分子泵运行时存在电机磁钢磁偏拉力的技术问题，可以很好抑制磁悬浮分子泵升速过程中的非线性因素，保证分子泵稳定运行。
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公开(公告)号：CN102606504B
公开(公告)日：2014-08-13
申请号：CN201210088924.2
申请日：2012-03-29
申请人： 北京中科科仪股份有限公司 , 清华大学
IPC分类号： F04D27/00
CPC分类号： F04D27/001 , F04D19/04
摘要： 本发明提供一种温度和转速检测机构，该检测机构可以同时检测高速旋转体的温度和转速。本发明中的温度和转速检测机构包括作为旋转体一部分的边缘开槽的检测部及位移传感器。当检测部旋转时，位移传感器会输出连续的脉冲信号，通过计算检测槽对应的脉冲信号的频率即可完成旋转体转速测量。当温度变化时，检测部会膨胀或者收缩，则位移传感器测得的脉冲信号的幅值会发生变化，通过测量脉冲信号幅值的变化即可计算出旋转体温度变化量，结合旋转体的初始温度即可得到旋转体的温度。采用本发明所述的温度和转速检测机构只需要一个位移传感器便可以同时测量旋转体温度和转速，结构简单、成本低。
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公开(公告)号：CN102425561B
公开(公告)日：2014-04-30
申请号：CN201110399466.X
申请日：2011-12-05
申请人： 北京中科科仪股份有限公司 , 清华大学
CPC分类号： H02K15/165 , F04D19/042 , F04D29/058 , F04D29/662 , F16C32/0442 , F16C32/0444 , F16C2231/00 , F16C2360/45 , G01M1/20 , H02K7/09 , Y10T29/49004
摘要： 一种磁悬浮分子泵动平衡方法，在启动磁悬浮分子泵电机后，开启力自由不平衡振动控制模块，如果在力自由不平衡振动控制模块的控制下，转子上的不平衡质量使转子在升速过程中的最大径向振幅不超过保护间隙的1/2，那么力自由不平衡振动控制模块能抑制转子的同频振动，使转子转速能够很快超过其刚性临界转速，从而在较高速度下对磁悬浮分子泵的转子使用影响系数法进行动平衡操作。本发明提出的动平衡方法，可直接在高速下对磁悬浮分子泵转子进行动平衡操作，步骤简单、效率高。
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公开(公告)号：CN102410238B
公开(公告)日：2014-04-30
申请号：CN201110341105.X
申请日：2011-11-02
申请人： 北京中科科仪股份有限公司 , 清华大学
摘要： 一种磁悬浮分子泵升速过程中的平稳控制方法，为使不平衡振动控制算法平稳启动，预先获取切换转速ω0对应的转子同频振动信号幅值A0和相位当所述转子转速接近切换转速ω0时，渐进开启不平衡控制算法。当所述转子转速到达ω0后，以所述幅值A0和相位作为不平衡控制算法的幅值初值和相位初值，计算所述转子同频振动补偿信号，并将所述转子同频振动补偿信号同步添加到所述转子位移信号中，保证所述转子顺利到达额定工作转速，磁悬浮分子泵正常工作。本方法解决了不平衡振动控制算法收敛速度差，不平衡控制算法开启时对系统产生冲击，影响系统稳定性的技术问题，是一种适用于磁悬浮分子泵升速过程的平稳控制方法。
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公开(公告)号：CN102425554B
公开(公告)日：2014-04-09
申请号：CN201110354476.1
申请日：2011-11-10
申请人： 北京中科科仪股份有限公司 , 清华大学
摘要： 一种磁悬浮分子泵增益调度控制方法，当所述转子转速在低速运转时，分散PID控制器调用高刚度、高阻尼的控制参数对所述磁悬浮分子泵进行控制，随着转子升速到中低速时，渐进开启位移交叉反馈控制器，有效抑制转子转动过程中的转子进动以及系统结构模态引起的振动；当所述转子转速达到中速时，将所述分散PID控制器的参数渐进切换到低刚度、低阻尼的控制参数；当所述转子转速达到中高速时，渐进启动速度交叉反馈控制器，抑制转子转动过程中的转子章动，保证转子平稳到达额定工作转速。本方法解决了分子泵工作过程中转子陀螺效应和系统结构模态引起转子振动的技术问题，在分子泵工作过程中能有效抑制转子振动，可以保证磁悬浮分子泵稳定运行。
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公开(公告)号：CN102435131B
公开(公告)日：2013-08-28
申请号：CN201110358720.1
申请日：2011-11-11
申请人： 北京中科科仪股份有限公司 , 清华大学
摘要： 本发明提供一种径向位移传感器及磁悬浮分子泵的转子径向位移检测系统，所述位移传感器包括检测单元和调整单元，所述调整单元用于根据不同磁悬浮分子泵的零件加工和装配精度差异，调整径向位移传感器输出信号的电压幅值。本发明提供的磁悬浮分子泵的转子径向位移检测系统包括上述径向位移传感器，将所述径向位移传感器设置于泵体内，将解调单元和处理单元设置在控制器内，可以实现磁悬浮分子泵与控制器间的互换性，同时能够提高所述径向位移传感器远距离传输时输出信号的信噪比，保证信号质量。
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公开(公告)号：CN102619772A
公开(公告)日：2012-08-01
申请号：CN201210088905.X
申请日：2012-03-29
申请人： 北京中科科仪股份有限公司 , 清华大学
IPC分类号： F04D27/00
摘要： 本发明公开的磁悬浮分子泵转子起浮位置选择方法及转子起浮控制方法，以径向保护轴承定子内圆中心为原点建立直角坐标系，控制转子自转，根据电机霍尔传感器输出的六种状态将径向保护轴承定子内圆平均划分为六个扇形区间；通过悬浮试验获得转子位于每个区间时，转子的起浮控制参数及起浮特性参数。从六个区间中挑选出一或两个起浮特性最好的区间作为转子起浮优选区间，将优选区间对应的径向位移传感器的X向输出信号电压幅值范围、Y向输出信号电压幅值范围和起浮控制参数记录在控制器内的存储介质中。当磁悬浮分子泵开始工作时，磁悬浮分子泵控制器控制转子位于优选区间，然后调用存储的起浮控制参数控制转子起浮，即可实现转子快速、稳定起浮。
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