高温度稳定性的声表波滤波器及其制备方法与应用

    公开(公告)号:CN110601672A

    公开(公告)日:2019-12-20

    申请号:CN201910716397.7

    申请日:2019-08-05

    IPC分类号: H03H3/02 H03H9/02 H03H9/64

    摘要: 本发明公开了一种高温度稳定性的声表波滤波器及其制备方法和应用。所述声表波滤波包括压电基底,至少具有一平面;叉指换能器电极,所述叉指换能器电极是固定设置在所述压电基底的所述平面上;绝缘保护层,所述绝缘保护层具有相对的两个表面,其中一表面层叠结合在所述压电基底的所述平面上,并覆盖所述叉指换能器电极;另一表面上形成有若干间隔分布的凸起。所述声表波滤波器具有低的频率温度系数和低的瑞利波寄生响应现象,而且具有工作性能稳定性和使用寿命长等优点。另外,所述制备方法工艺条件可控,能够有效保证制备的高温度稳定性的声表波滤波器性能稳定,良品率高,成本低。

    一种声表面波滤波器结构及制备方法

    公开(公告)号:CN116865704A

    公开(公告)日:2023-10-10

    申请号:CN202310864870.2

    申请日:2023-07-13

    IPC分类号: H03H9/02 H03H3/08

    摘要: 本申请公开了一种声表面波滤波器结构及制备方法,涉及声表面波滤波器技术领域,包括衬底层、第一高阻层、第二高阻层、低阻层、压电层以及叉指换能器,衬底层、第一高阻层、第二高阻层、低阻层、压电层以及叉指换能器从下到上依次设置,衬底层采用高纯度单晶硅,第一高阻层采用氮化铝,第二高阻层采用碳化硅,低阻层采用二氧化硅,压电层采用钽酸锂,叉指换能器采用铜或铝铜合金。本申请提供的声表面波滤波器结构具有传输损耗低、高机电耦合系数、高温度稳定性以及耐高功率的优点,能够满足5G和6G通信技术的发展。

    一种FBAR谐振器
    3.
    实用新型

    公开(公告)号:CN217643305U

    公开(公告)日:2022-10-21

    申请号:CN202221576119.X

    申请日:2022-06-22

    IPC分类号: H03H9/17 H03H9/02

    摘要: 本申请公开了一种FBAR谐振器,包括自下而上依次设置的衬底、支撑层、第一底电极、温飘层、第二底电极、压电膜层、凹槽声子束缚结构、顶电极和凸起声子束缚结构;所述凹槽声子束缚结构包括多排凹槽声子阵列,每排凹槽声子阵列均包括多个等间隔设置的金属立方体块;所述凸起声子束缚结构包括多排凸起声子阵列,每排凸起声子阵列均包括多个等间隔设置的金属立方体块,每排凸起声子阵列均与一排凹槽声子阵列对应。本申请提供了一种FBAR谐振器的新的硬件架构,在传统的FBAR谐振器的表面周期性地放置凸起和凹槽,根据声子束缚理论,能够有效抑制兰姆波等寄生模式对极高频率FBAR电学特性的干扰,从而提高了FBAR谐振器的Q值,进而提升了FBAR谐振器的性能和品质。

    一种高温度稳定性的声表波滤波器

    公开(公告)号:CN210986061U

    公开(公告)日:2020-07-10

    申请号:CN201921256970.2

    申请日:2019-08-05

    IPC分类号: H03H9/64 H03H9/02

    摘要: 本实用新型公开了一种高温度稳定性的声表波滤波器。所述声表波滤波包括压电基底,至少具有一平面;叉指换能器电极,所述叉指换能器电极是固定设置在所述压电基底的所述平面上;绝缘保护层,所述绝缘保护层具有相对的两个表面,其中一表面层叠结合在所述压电基底的所述平面上,并覆盖所述叉指换能器电极;另一表面上形成有若干间隔分布的凸起。所述声表波滤波器具有低的频率温度系数和低的瑞利波寄生响应现象,而且具有工作性能稳定性和使用寿命长等优点。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利

    一种声表面波滤波器结构

    公开(公告)号:CN220342293U

    公开(公告)日:2024-01-12

    申请号:CN202321848646.6

    申请日:2023-07-13

    IPC分类号: H03H9/02 H03H3/08

    摘要: 本申请公开了一种声表面波滤波器结构,涉及声表面波滤波器技术领域,包括衬底层、第一高阻层、第二高阻层、低阻层、压电层以及叉指换能器,衬底层、第一高阻层、第二高阻层、低阻层、压电层以及叉指换能器从下到上依次设置,衬底层采用高纯度单晶硅,第一高阻层采用氮化铝,第二高阻层采用碳化硅,低阻层采用二氧化硅,压电层采用钽酸锂,叉指换能器采用铜或铝铜合金。本申请提供的声表面波滤波器结构具有传输损耗低、高机电耦合系数、高温度稳定性以及耐高功率的优点,能够满足5G和6G通信技术的发展。

    一种密封检漏工具
    6.
    实用新型

    公开(公告)号:CN218411569U

    公开(公告)日:2023-01-31

    申请号:CN202221970414.3

    申请日:2022-07-28

    发明人: 王玉龙 卢翠 李强

    IPC分类号: G01M3/06

    摘要: 本实用新型公开了一种密封检漏工具,涉及氟油检漏装置技术领域。该密封检漏工具包括一体设置的提手部与放置部,放置部用来放置产品,所述放置部包括与提手部一体设置的环状固定件,所述环状固定件内设置有筛网,所述筛网与环状固定件固定连接;所述环状固定件弯曲成U型结构,且所述提手部固定于其中一侧竖直部上。本实用新型通过设置一体的提手部与放置部,手持提手部可以来控制放置部,放置部用来放置待检测的器件,当把器件置于放置部上并放入氟油中时,筛网可以保证氟油与器件充分接触,从而检测器件是否漏气,同时,环状的固定件弯曲成U型结构,可以在筛网上放置多个器件,保证在检测过程中器件不会掉落,进而提高检测效率。