公开(公告)号：CN118533860A

公开(公告)日：2024-08-23

申请号：CN202410620049.0

申请日：2024-05-17

申请人： 北京京东方传感技术有限公司 ,  京东方科技集团股份有限公司

发明人： 徐帅 ,  胡扬端瑞 ,  侯学成 ,  孙亮 ,  宁云龙 ,  覃一锋 ,  杨俊峰 ,  王冬冬

IPC分类号： G01N21/95 ,  G01N21/01

摘要： 本申请提供一种晶圆裂纹检测装置和检测方法，所述装置包括：遮光罩；检测组件，位于所述遮光罩内，所述检测组件包括相对设置的光敏传感器和光源，所述光敏传感器和光源之间有间隔，所述间隔用于容待检测晶圆伸入；其中，所述待检测晶圆包括待检测区域，所述光敏传感器的中轴线与所述光源的中轴线交汇于所述待检测区域内。若待检测区域内存在裂纹，那么光源发出的光线会经裂纹界面反射后进入光敏传感器中，使得光敏传感器的输出信息与常规信息不同，如此基于获取到的光敏传感器的输出信息就可以准确检测晶圆是否存在裂纹，检测效率、检测精度和准确性均较高，并且，光敏传感器和光源均不会直接接触晶圆，确保晶圆的清洁度。

公开(公告)号：CN107188403A

公开(公告)日：2017-09-22

申请号：CN201710590054.1

申请日：2017-07-19

申请人： 京东方科技集团股份有限公司 ,  北京京东方光电科技有限公司

发明人： 李旭 ,  孙凯文 ,  董立伟 ,  王大山 ,  王冬冬 ,  刘阳 ,  王耀 ,  李建河 ,  刘东磊 ,  武晓丙

IPC分类号： C03B33/02

CPC分类号： C03B33/02

摘要： 本发明公开了一种进给装置、切割装置和切割方法，包括凸轮、驱动机构、第一传动组件、第二传动组件、与所述第一传动组件连接的第一刀轮和与所述第二传动组件连接的第二刀轮，所述第一传动组件、第二传动组件分别与所述凸轮的工作面的两端贴合，所述驱动机构用于驱动所述凸轮转动，所述第一传动组件、第二传动组件分别用于将凸轮的转动运动转换为第一刀轮、第二刀轮的直线运动，所述第一刀轮和第二刀轮的直线运动的方向相反。本发明将凸轮的转动运动转换为第一刀轮、第二刀轮的相反的直线运动，从而实现一个进给装置分别驱动两个刀轮在Z方向上的进给。

公开(公告)号：CN206883325U

公开(公告)日：2018-01-16

申请号：CN201720889508.0

申请日：2017-07-20

申请人： 北京京东方光电科技有限公司 ,  京东方科技集团股份有限公司

发明人： 王冬冬 ,  孙凯文 ,  孙贵全 ,  乔志平 ,  刘东磊 ,  张铭汛 ,  董立伟 ,  李旭

IPC分类号： B23Q15/00 ,  B23D79/00

摘要： 本实用新型公开了一种微调机构和切割装置，所述微调机构包括：基座，所述基座具有导向部；连接架，所述连接架设于所述基座且沿所述导向部的长度方向线性移动；定位架，所述定位架与所述基座连接且在所述导向部的长度方向上、位于所述导向部的一侧；微调差动螺柱，所述微调差动螺柱分别与所述连接架和所述定位架螺纹连接，以在转动所述微调差动螺柱时驱动所述连接架移动，其中，所述微调差动螺柱与所述连接架配合的螺纹的导程不等于所述微调差动螺柱与所述定位架配合的螺纹的导程。根据本实用新型实施例的微调机构，利用螺纹差动原理提升微调机构的调节精度，满足调节精度要求，且微调机构操作简单，使用便利。