公开(公告)号：CN1900688A

公开(公告)日：2007-01-24

申请号：CN200610088968.X

申请日：2006-07-27

申请人： 北京大学

发明人： 刘争晖 ,  张朝晖

IPC分类号： G01N13/10 ,  G12B21/20

CPC分类号： G01Q10/065 ,  G01Q30/04

摘要： 本发明提供一种扫描探针显微镜的全数字化控制方法及系统，由单个中央处理器多任务并行地进行反馈控制、扫描控制、接受输入和数据处理。该控制方法为：将扫描探针显微镜的针尖和样品相互作用大小转换成为电压值连接到A/D卡，A/D卡周期性定时地进行A/D转换并在每次转换完成后通过中断信号通知中央处理器，中央处理器暂停当前的接受输入和数据处理的任务，转而进行反馈控制和扫描控制：对A/D卡转换得到的数字量进行负反馈计算得到探针和样片之间的距离，然后根据设定的扫描轨迹计算出针尖所要移动到的位置，最后这些控制量通过D/A卡转换成电压，使探针发生移动。本发明控制系统结构简单，全数字化的负反馈计算精度高。