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实用新型
一种清洗花篮有权

公开(公告)号：CN221304611U

公开(公告)日：2024-07-09

申请号：CN202323109797.2

申请日：2023-11-17

申请人： 北京天科合达半导体股份有限公司

发明人： 赵岩 , 王桂玲 , 王波 , 李珮珮 , 彭同华 , 杨建

IPC分类号： H01L21/673

摘要： 本实用新型公开了一种清洗花篮，包括呈相对布置的第一承置部及第二承置部，第一承置部包括自上而下依次布置的第一竖直部、第一倾斜部和第一立板，第一倾斜部上设置有一个第一避让开口；第二承置部包括自上而下依次布置的第二竖直部、第二倾斜部和第二立板，第二倾斜部上设置有一个第二避让开口；其中，第一倾斜部与第二倾斜部相对布置，且二者呈自上而下对向倾斜。该清洗花篮，在实际应用过程中，晶片对应第一避让开口和第二避让开口的位置与清洗花篮之间没有接触，大大减小了晶片与清洗花篮的接触面积，使得清洗花篮的清洗空间的流动性更好，通风性更好，继而大大提升了晶片的清洗效果和清洗质量。