公开(公告)号：CN113945599A

公开(公告)日：2022-01-18

申请号：CN202111214492.0

申请日：2021-10-19

申请人： 北京工业大学

发明人： 刘陵恩 ,  张跃飞 ,  唐亮 ,  张宜旭 ,  郑坤 ,  王永峰 ,  佟翔宇 ,  程晓鹏

IPC分类号： G01N23/2251

摘要： 一种去除扫描电镜中非导电样品荷电效应的方法涉及扫描电镜领域。为了在不镀膜的条件下看到绝缘样品的真实形貌而又不会产生荷电效应，本专利提出一种消除扫描电镜下观察非导电样品的方法并提出扫描电镜下观察非导电样品的装置。利用该方法可以有效的消除部分样品表面的荷电效应，达到清晰成像的目的。本发明不但省去了复杂的镀膜工艺而且可以在扫描电镜下清楚地反映出绝缘样品形貌。

公开(公告)号：CN113342094A

公开(公告)日：2021-09-03

申请号：CN202110722912.X

申请日：2021-06-28

申请人： 北京工业大学

发明人： 王永峰 ,  张跃飞 ,  唐亮 ,  张宜旭 ,  陈居田 ,  佟翔宇 ,  刘轩石

IPC分类号： G05D23/30 ,  H01J37/22

摘要： 本发明涉及一种扫描电镜高温成像的加热器多点电位平衡系统及方法，系统包括：热电子采集装置、嵌入式系统、电位平衡模块和加热器模块；嵌入式系统和电位平衡模块均设置在扫描电镜真空腔室外；热电子采集装置、加热器模块均设置在扫描电镜真空腔室内；热电子采集装置分别与嵌入式系统和加热器模块连接；电位平衡模块与嵌入式系统连接；电位平衡模块还与加热器模块连接；嵌入式系统用于根据热电子电压输出不同部位的热电子屏蔽电压指令至电位平衡模块；电位平衡模块用于输出热电子屏蔽电压至加热器模块。本发明能够提高扫描电镜在高温环境中的成像质量。

公开(公告)号：CN116242274A

公开(公告)日：2023-06-09

申请号：CN202310285024.5

申请日：2023-03-22

申请人： 北京工业大学

发明人： 赵敏 ,  吕俊霞 ,  张跃飞 ,  佟翔宇 ,  李睿

IPC分类号： G01B11/24

摘要： 本发明公开一种大范围高精度的实时表面形貌测量方法及系统，属于表面形貌测量领域。在宏观表面扫描范围内控制样品按照宏观表面扫描步长进行水平面移动，待移动至微观局部扫描范围时，在微观局部扫描范围内控制样品按照微观局部扫描步长进行水平面移动，并在水平面移动过程中随时调整样品的垂向位移，使得反射光斑一直位于位置探测器的中心，根据记录的垂向位移调整值以及对应的扫描位置，输出当前扫描样品的表面形貌成像，并最终形成宏观表面的表面形貌成像和微观局部的表面形貌成像，实现了跨尺度范围的表面形貌成像与微观局部高精度成像。

公开(公告)号：CN113342094B

公开(公告)日：2021-11-19

申请号：CN202110722912.X

申请日：2021-06-28

申请人： 北京工业大学

发明人： 王永峰 ,  张跃飞 ,  唐亮 ,  张宜旭 ,  陈居田 ,  佟翔宇 ,  刘轩石

IPC分类号： G05D23/30 ,  H01J37/22

摘要： 本发明涉及一种扫描电镜高温成像的加热器多点电位平衡系统及方法，系统包括：热电子采集装置、嵌入式系统、电位平衡模块和加热器模块；嵌入式系统和电位平衡模块均设置在扫描电镜真空腔室外；热电子采集装置、加热器模块均设置在扫描电镜真空腔室内；热电子采集装置分别与嵌入式系统和加热器模块连接；电位平衡模块与嵌入式系统连接；电位平衡模块还与加热器模块连接；嵌入式系统用于根据热电子电压输出不同部位的热电子屏蔽电压指令至电位平衡模块；电位平衡模块用于输出热电子屏蔽电压至加热器模块。本发明能够提高扫描电镜在高温环境中的成像质量。

公开(公告)号：CN113945599B

公开(公告)日：2024-03-29

申请号：CN202111214492.0

申请日：2021-10-19

申请人： 北京工业大学

发明人： 刘陵恩 ,  张跃飞 ,  唐亮 ,  张宜旭 ,  郑坤 ,  王永峰 ,  佟翔宇 ,  程晓鹏

IPC分类号： G01N23/2251

摘要： 一种去除扫描电镜中非导电样品荷电效应的方法涉及扫描电镜领域。为了在不镀膜的条件下看到绝缘样品的真实形貌而又不会产生荷电效应，本专利提出一种消除扫描电镜下观察非导电样品的方法并提出扫描电镜下观察非导电样品的装置。利用该方法可以有效的消除部分样品表面的荷电效应，达到清晰成像的目的。本发明不但省去了复杂的镀膜工艺而且可以在扫描电镜下清楚地反映出绝缘样品形貌。

公开(公告)号：CN216051460U

公开(公告)日：2022-03-15

申请号：CN202122454853.0

申请日：2021-10-12

申请人： 北京工业大学

发明人： 佟翔宇 ,  张跃飞 ,  唐亮 ,  王晋 ,  张宜旭 ,  程晓鹏 ,  王永峰 ,  刘陵恩

IPC分类号： G01N23/2251 ,  H05B3/02 ,  H05K9/00

摘要： 本实用新型公开了一种基于扫描电镜可抵消磁场干扰的原位加热器，包括：底板一与样品台固定，屏蔽管包括一端均与底板三固定的屏蔽管一、屏蔽管二以及屏蔽管三；坩埚一端开设有样品放置槽，另一端固定有支撑架，坩埚布置在屏蔽管三内部，支撑架远离坩埚的一端与底板二固定，坩埚外壁呈螺旋状盘设有加热钨丝，加热钨丝外侧呈螺旋状盘设有屏蔽线，加热钨丝与屏蔽线的旋向相反且二者通电时产生的电磁场相反，加热钨丝和屏蔽线均与控制器电性连接。本实用新型通过设置依次同轴布置的屏蔽管一、屏蔽管二以及屏蔽管三，坩埚布置在屏蔽管三内，该设置克服了在扫描电镜内加热的过程中难以成像的问题，在对样品进行高温性能测试时能够取得良好成像。