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公开(公告)号：CN113945599A
公开(公告)日：2022-01-18
申请号：CN202111214492.0
申请日：2021-10-19
申请人： 北京工业大学
IPC分类号： G01N23/2251
摘要： 一种去除扫描电镜中非导电样品荷电效应的方法涉及扫描电镜领域。为了在不镀膜的条件下看到绝缘样品的真实形貌而又不会产生荷电效应，本专利提出一种消除扫描电镜下观察非导电样品的方法并提出扫描电镜下观察非导电样品的装置。利用该方法可以有效的消除部分样品表面的荷电效应，达到清晰成像的目的。本发明不但省去了复杂的镀膜工艺而且可以在扫描电镜下清楚地反映出绝缘样品形貌。
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公开(公告)号：CN113342094A
公开(公告)日：2021-09-03
申请号：CN202110722912.X
申请日：2021-06-28
申请人： 北京工业大学
摘要： 本发明涉及一种扫描电镜高温成像的加热器多点电位平衡系统及方法，系统包括：热电子采集装置、嵌入式系统、电位平衡模块和加热器模块；嵌入式系统和电位平衡模块均设置在扫描电镜真空腔室外；热电子采集装置、加热器模块均设置在扫描电镜真空腔室内；热电子采集装置分别与嵌入式系统和加热器模块连接；电位平衡模块与嵌入式系统连接；电位平衡模块还与加热器模块连接；嵌入式系统用于根据热电子电压输出不同部位的热电子屏蔽电压指令至电位平衡模块；电位平衡模块用于输出热电子屏蔽电压至加热器模块。本发明能够提高扫描电镜在高温环境中的成像质量。
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公开(公告)号：CN109837528A
公开(公告)日：2019-06-04
申请号：CN201910316523.X
申请日：2019-04-19
申请人： 北京工业大学
IPC分类号： C23C16/455 , C23C16/06 , C23C16/52
摘要： 本发明公开一种手套箱结合原子层沉积的镀膜设备，设备包括清洗系统、前驱体系统、加热系统、控制系统、手套箱系统以及工作反应区系统；清洗系统用于填充惰性气体；前躯体系统用于提供沉积层所需的气相前驱体；加热系统通过线路由控制系统控制，用于为前驱体系统、管路以及工作反应区系统加热；控制系统控制清洗系统、前驱体系统的开闭和加热系统的工作温度；手套箱系统用于给活泼金属材料提供惰性保护气体环境；工作反应区系统用于放置样品及作为样品与前驱体发生反应的工作区域；本发明提供的手套箱结合原子层沉积镀膜设备，可以实现材料在惰性气体氛围下实现沉积过程，并同时能够保证沉积层的均匀性以及厚度的有效控制等方面。
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公开(公告)号：CN108878168A
公开(公告)日：2018-11-23
申请号：CN201810709154.6
申请日：2018-07-02
申请人： 北京工业大学
摘要： 本发明公开了一种表面改性的电极材料和对电极材料表面改性的处理方法，该电极材料包括镍钴氧化物纳米线和二氧化钛薄膜；镍钴氧化物纳米线包括泡沫镍基底，在泡沫镍基底上阵列分布的镍钴氧纳米线；该镍钴氧化物纳米线是由镍钴氧化物纳米线前驱体热处理得到的；二氧化钛薄膜通过原子层沉积技术循环多次沉积到所述镍钴氧化物纳米线前驱体的外表面。最终通过热处理技术得到镍钴氧化物纳米线和二氧化钛薄膜电极材料.本发明提高镍钴氧化物的电化学性能，保持其稳定性。
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公开(公告)号：CN108666526A
公开(公告)日：2018-10-16
申请号：CN201810882946.3
申请日：2018-08-06
申请人： 北京工业大学
IPC分类号： H01M4/131 , H01M4/1391 , H01M4/62 , H01M4/04 , C23C16/30 , C23C16/455 , C23C16/513
摘要： 本发明公开一种锂离子电池正极及制备锂离子电池正极的装置、方法，所述锂离子电池正极包括：集流体、电极层和Li3PO4包覆层；所述电极层设置在所述集流体上，形成电极片，所述Li3PO4包覆层设置在所述电极片上；所述Li3PO4包覆层的厚度为1-15nm。本发明在电极片的外表面设置一层均匀致密的Li3PO4包覆层，形成锂离子电池正极，不仅具有理想的导电性以及导锂性，还能提高循环寿命、容量以及稳定性。
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公开(公告)号：CN108181183A
公开(公告)日：2018-06-19
申请号：CN201810049816.1
申请日：2018-01-18
申请人： 北京工业大学
摘要： 本发明公开了一种结构可靠、加载稳定、精度高的小型高温压痕力学性能测试设备，Z向移动板由Z向驱动装置驱动沿底板上的Z向移动导轨往复滑动；Z向移动板上由下至上依次设有Z向压电陶瓷模块和压头安装板；高温压头在压头安装板的一端；安装底座连接于底板的一端，X向移动板由X向驱动装置驱动沿安装底座上的X向移动导轨往复滑动，X向移动板上设有Y向移动导轨，Y向移动板由Y向驱动装置驱动沿Y向移动导轨往复滑动；Y向移动板上由下至上依次设有二维压电陶瓷模块、压电陶瓷模块上板、力传感器、隔热底座和样品台，样品台上设有加热器；控制器分别与X向驱动装置、Y向驱动装置、Z向驱动装置、力传感器和加热器通信连接。
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公开(公告)号：CN103774230B
公开(公告)日：2016-07-06
申请号：CN201410036791.3
申请日：2014-01-25
申请人： 北京工业大学
IPC分类号： C30B29/38 , C30B25/00 , C23C16/34 , C23C16/513 , B82Y40/00
摘要： 一种无氨化制备氮化镓纳米线的方法，属于无机化合物半导体材料制备与生长领域。Ga2O3粉末与炭粉混合，研磨2min以上得到前驱物粉体；在经清洗和氢氟酸处理后烘干的衬底上镀厚度5nm-30nm的金属催化剂薄膜；将前驱物粉体和衬底放入等离子增强化学气相沉积系统中进行制备：采用N2和H2反应气压10-100Pa；衬底温度800℃-1100℃；射频电源功率40-90W，调节电源功率至得到稳定的亮黄紫色辉光的等离子气体。本发明摒弃对环境和设备存在污染和腐蚀的NH3，采用简单的实验设备和价格低廉且易获得的原料制备出表面光滑的单晶六方纤锌矿结构氮化镓纳米线，具有典型的纳米线光致发光特性和优异的场发射性能。
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公开(公告)号：CN105388327A
公开(公告)日：2016-03-09
申请号：CN201510769697.3
申请日：2015-11-11
摘要： 一种在扫描电镜中进行原位微观力学、微结构、成分一体化研究的装置属于材料微结构与性能原位表征领域。本装置采用双梯形丝杠传动系统，装置刚度大，测试精度高；在扫描电镜中运行平稳，机械噪声小，对扫描电镜成像干扰低；梯形丝杠具有自锁性能，可以在任意时刻暂停测试和启动测试，测试数据连续性好；样品夹具具有旋转功能，可以在材料拉伸/压缩力学性能测量的同时，在同一微区域满足扫描电子束成像、EDS和EBSD一体化测试；测试装置设计的夹具支撑架，样品夹具和样品具有完全对称结构，保证样品的受到完全对称的拉伸/压缩应力作用，样品的几何中心，即变形中心始终位于电子束正下方，便于原位追踪动态研究和高质量微观扫描图像获得。
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公开(公告)号：CN104979189A
公开(公告)日：2015-10-14
申请号：CN201510366328.X
申请日：2015-06-29
申请人： 北京工业大学
IPC分类号： H01L21/3065
CPC分类号： H01L21/3065
摘要： 一种基于基底晶向调控制备规则图形的等离子体刻蚀方法属于微电子器件、薄膜、材料加工领域。其特征在于：刻蚀装置包括真空腔体、升温装置与等离子发生系统。通过温度场与等离子能量梯度调控实现基底刻蚀作用；真空度低于10Pa后，通入氮气在N2，气氛中升温到900‐1100℃，通入氢气，打开射频电源，将射频功率调到40‐150W，电离N2和H2，对基底进行刻蚀，此时气压为30‐100Pa，持续0.5‐2个小时；刻蚀结束后，关闭射频与停止通入氢气，冷却到室温。本发明无需使用任何模板，直接在衬底上刻蚀出具有规则取向的图案，并且图案的形貌和方向可以通过衬底的晶面取向调控。本发明在微电子器件制造、微纳米材料制备等方面具有重要意义。
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