一种热式微流量测量传感器流道及密封结构

    公开(公告)号:CN109579928B

    公开(公告)日:2020-10-23

    申请号:CN201811409416.3

    申请日:2018-11-23

    IPC分类号: G01F1/684 G01F15/00 F16J15/02

    摘要: 本发明公开了一种热式微流量测量传感器流道及密封结构,包括底板、元件基座、连接板和检测元件;底板和连接板均为矩形板,底板上分别设有用于气体流通的凹槽和用于安装元件基座的圆孔,圆孔轴线穿过凹槽,元件基座为圆台,元件基座同轴焊接在圆孔中,元件基座上安装有用于检测气体流动状态的检测元件,连接板与底板固定连接,连接板上分别设有用于配合凹槽的凸缘和用于气体流通的通孔,通孔轴线穿过凸缘。本发明通过底板凹槽与连接板凸缘的配合,避免了气体紊流,弥补了MEMS热式流量传感器检测稳定性较差的缺陷;通过设置填充件并将底板与连接板焊接,确保了检测元件和气体流道的可靠密封,解决了MEMS热式流量传感器结构及其流道密封性较低的问题。

    一种热式微流量测量传感器流道及密封结构

    公开(公告)号:CN109579928A

    公开(公告)日:2019-04-05

    申请号:CN201811409416.3

    申请日:2018-11-23

    IPC分类号: G01F1/684 G01F15/00 F16J15/02

    摘要: 本发明公开了一种热式微流量测量传感器流道及密封结构,包括底板、元件基座、连接板和检测元件;底板和连接板均为矩形板,底板上分别设有用于气体流通的凹槽和用于安装元件基座的圆孔,圆孔轴线穿过凹槽,元件基座为圆台,元件基座同轴焊接在圆孔中,元件基座上安装有用于检测气体流动状态的检测元件,连接板与底板固定连接,连接板上分别设有用于配合凹槽的凸缘和用于气体流通的通孔,通孔轴线穿过凸缘。本发明通过底板凹槽与连接板凸缘的配合,避免了气体紊流,弥补了MEMS热式流量传感器检测稳定性较差的缺陷;通过设置填充件并将底板与连接板焊接,确保了检测元件和气体流道的可靠密封,解决了MEMS热式流量传感器结构及其流道密封性较低的问题。