公开(公告)号：CN110079838B

公开(公告)日：2021-03-26

申请号：CN201910329836.9

申请日：2019-04-23

申请人： 北京控制工程研究所

发明人： 杨健 ,  黎月明 ,  孙慧丽 ,  杨春雷 ,  徐天达 ,  申坤 ,  武宏宇 ,  邓楼楼 ,  左富昌 ,  张青 ,  许东 ,  殷保森 ,  王品 ,  杨春强

IPC分类号： C25D1/06 ,  C25D1/10 ,  C23C14/24 ,  C23C14/02 ,  C23C14/16

摘要： 本发明涉及一种基于电铸镍复制制造掠入射软X射线反射镜片的工艺，工艺流程为芯轴模具镀金→电铸镍镜壳→镜片端面修平→镜片脱模，可以获得厚度0.3～1.5mm(各处偏差最大0.1mm)、镜面粗糙度优于RMS0.5nm、低内应力变形小的单次反射或二次反射镜片。本发明在芯轴模具镀金前对其进行自然钝化，减小镀金层与芯轴模具的结合力，有利于脱模；电铸镍镜壳前在芯轴模具两端面贴覆绝缘塑料挡边，控制电铸的边缘效应；电铸时进行内应力监控并采取控制措施，保证电铸层较低的内应力状态；采用增大芯轴模具/镜片降温温差和简易脱模工装分别增加径向和轴向脱模应力，提高脱模成功率。

公开(公告)号：CN110079838A

公开(公告)日：2019-08-02

申请号：CN201910329836.9

申请日：2019-04-23

申请人： 北京控制工程研究所

发明人： 杨健 ,  黎月明 ,  孙慧丽 ,  杨春雷 ,  徐天达 ,  申坤 ,  武宏宇 ,  邓楼楼 ,  左富昌 ,  张青 ,  许东 ,  殷保森 ,  王品 ,  杨春强

IPC分类号： C25D1/06 ,  C25D1/10 ,  C23C14/24 ,  C23C14/02 ,  C23C14/16

摘要： 本发明涉及一种基于电铸镍复制制造掠入射软X射线反射镜片的工艺，工艺流程为芯轴模具镀金→电铸镍镜壳→镜片端面修平→镜片脱模，可以获得厚度0.3～1.5mm(各处偏差最大0.1mm)、镜面粗糙度优于RMS0.5nm、低内应力变形小的单次反射或二次反射镜片。本发明在芯轴模具镀金前对其进行自然钝化，减小镀金层与芯轴模具的结合力，有利于脱模；电铸镍镜壳前在芯轴模具两端面贴覆绝缘塑料挡边，控制电铸的边缘效应；电铸时进行内应力监控并采取控制措施，保证电铸层较低的内应力状态；采用增大芯轴模具/镜片降温温差和简易脱模工装分别增加径向和轴向脱模应力，提高脱模成功率。