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1.

发明授权
一种涡流传感器有权

公开(公告)号：CN114705115B

公开(公告)日：2024-08-02

申请号：CN202210447738.7

申请日：2022-04-26

申请人： 北京晶亦精微科技股份有限公司

发明人： 李坤 , 张康 , 李婷 , 张为强 , 尹影 , 田知玲 , 张杰

IPC分类号： G01B7/06

摘要： 本发明公开了一种涡流传感器，控制模块触发波形生成模块产生使线圈模块谐振的正弦波形，线圈模块谐振生成电流信号；信号传输模块基于电流信号得到采样电压信号，信号传输模块对采样电压信号进行处理后发送至控制模块；控制模块根据接收处理后的采样电压信号，计算晶圆表面导电膜厚度值；线圈模块内部包括多个不同测量截面的线圈，在被测晶圆抛光过程中，对于抛光过程的每个阶段，将对应的测量截面的线圈切换至检测回路中，从而实现针对不同的测量过程进行时间分割，每个过程精确匹配电涡流传感器的最佳线性、分辨率参数。