公开(公告)号：CN114406448B

公开(公告)日：2023-01-24

申请号：CN202210026039.5

申请日：2022-01-11

申请人： 北京理工大学

发明人： 姜澜 ,  张超 ,  李晓炜 ,  向志昆

IPC分类号： B23K26/00 ,  B23K26/064 ,  B23K26/066

摘要： 本发明公开的一种大尺寸光学元件裂纹损伤的飞秒激光修复方法，属于激光应用技术领域。本发明将高斯激光整形成具有时间延时的贝塞尔光束；通过掩膜板将石英的损伤区域置于其中，该区域即为待去除区域；通过贝塞尔光束在待去除区域中单点加工出具有深度的微孔阵列；将激光改性后的石英放于氢氟酸中，对改性立方体结构进行去除，此时裂纹区域也被去除，实现大尺寸光学元件裂纹损伤的飞秒激光修复。本发明利用双折射晶体将高斯激光产生双脉冲，增强激光在材料内的能量沉积效率。利用锥透镜以及4f系统生成高长径比的贝塞尔光束，增强激光的改性长度。利用飞行时间扫描辅助掩膜板加工在裂纹区域实现高效率、大面积、高一致性的微孔阵列加工。

公开(公告)号：CN114406448A

公开(公告)日：2022-04-29

申请号：CN202210026039.5

申请日：2022-01-11

申请人： 北京理工大学

发明人： 姜澜 ,  张超 ,  李晓炜 ,  向志昆

IPC分类号： B23K26/00 ,  B23K26/064 ,  B23K26/066

摘要： 本发明公开的一种大尺寸光学元件裂纹损伤的飞秒激光修复方法，属于激光应用技术领域。本发明将高斯激光整形成具有时间延时的贝塞尔光束；通过掩膜板将石英的损伤区域置于其中，该区域即为待去除区域；通过贝塞尔光束在待去除区域中单点加工出具有深度的微孔阵列；将激光改性后的石英放于氢氟酸中，对改性立方体结构进行去除，此时裂纹区域也被去除，实现大尺寸光学元件裂纹损伤的飞秒激光修复。本发明利用双折射晶体将高斯激光产生双脉冲，增强激光在材料内的能量沉积效率。利用锥透镜以及4f系统生成高长径比的贝塞尔光束，增强激光的改性长度。利用飞行时间扫描辅助掩膜板加工在裂纹区域实现高效率、大面积、高一致性的微孔阵列加工。