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公开(公告)号:CN114674808A
公开(公告)日:2022-06-28
申请号:CN202210272975.4
申请日:2022-03-18
Applicant: 北京理工大学
IPC: G01N21/71
Abstract: 本发明提出了一种外场增强飞秒激光诱导击穿光谱用于深度检测的方法,属于飞秒激光应用技术领域。具体涉及一种利用火花放电与微波增强飞秒激光激发等离子体发射强度,进而提高等离子体光谱的深度检测极限与元素分辨率的方法。通过将连接直流高压电源的针状电极与连接微波发生器的锥形天线固定在样品附近,在飞秒激光通过平凸透镜聚焦在样品的加工位置处,火花放电与脉冲微波使得样品局部形成了强烈的电磁脉冲,等离子体通过电磁波耦合从中吸收能量,造成等离子体密度、温度显著增加,从而提高了等离子体发光光谱的强度与信噪比,最终提高了LIBS方法用于深孔加工中元素检测的深度检测极限与元素分辨率。
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公开(公告)号:CN118180606A
公开(公告)日:2024-06-14
申请号:CN202310199214.5
申请日:2023-03-03
Applicant: 北京理工大学长三角研究院(嘉兴)
Abstract: 本发明公开的时空同步聚焦的飞秒激光焊接异质硬脆材料的方法及系统,属于飞秒激光焊接应用技术领域。本发明系统包括空间色散、聚焦焊接、顶部成像监控、侧面等离子体信号收集和计算机控制五个子系统。飞秒激光通过空间色散、聚焦后用于异质材料的焊接。激光聚焦在双层材料的光学接触面,在焊接过程中从顶端CCD成像观测焊接结果,从侧面高速摄像机观测焊缝处等离子体形貌。及时调整焦点和样品接触面的相对位置关系,即通过多角度观测飞秒激光焊接过程,避免自聚焦造成焦点分裂损伤材料内部;同时观察焊缝处有无微细颗粒喷出,减少由于材料光学接触不良导致的激光能量损失和焊缝强度降低。使得焊接结果可靠、重复性高、热影响区小,符合精密微电子器件的封装要求。
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公开(公告)号:CN114674808B
公开(公告)日:2024-07-30
申请号:CN202210272975.4
申请日:2022-03-18
Applicant: 北京理工大学
IPC: G01N21/71
Abstract: 本发明提出了一种外场增强飞秒激光诱导击穿光谱用于深度检测的方法,属于飞秒激光应用技术领域。具体涉及一种利用火花放电与微波增强飞秒激光激发等离子体发射强度,进而提高等离子体光谱的深度检测极限与元素分辨率的方法。通过将连接直流高压电源的针状电极与连接微波发生器的锥形天线固定在样品附近,在飞秒激光通过平凸透镜聚焦在样品的加工位置处,火花放电与脉冲微波使得样品局部形成了强烈的电磁脉冲,等离子体通过电磁波耦合从中吸收能量,造成等离子体密度、温度显著增加,从而提高了等离子体发光光谱的强度与信噪比,最终提高了LIBS方法用于深孔加工中元素检测的深度检测极限与元素分辨率。
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公开(公告)号:CN113085185A
公开(公告)日:2021-07-09
申请号:CN202110379075.5
申请日:2021-04-08
Applicant: 北京理工大学
IPC: B29C64/273 , B29C64/135 , B29C64/153 , B29C64/393 , B33Y10/00 , B33Y30/00 , B33Y50/02
Abstract: 本发明涉及一种基于时域整形飞秒激光诱导液体薄膜前向转移的方法,属于飞秒激光应用技术领域。本发明通过对原始飞秒激光进行时域整形,在时间上分成间隔为0.1‑100ps的双脉冲,实现对吸收层的烧蚀抑制,结果表明应用双脉冲作为激发光源可将适用的激光通量范围拓宽一倍。此外,通过高亮度LED灯与增强型电荷耦合器件ICCD组合成的阴影成像系统,可直接监测转移的射流与过程,从而有根据得调整加工条件,更快得实现稳定的转移。供体和受体分别采用两个高精度三维平移台进行运动控制,实现供体与受体之间的相对运动,克服传统激光诱导前向转移系统配置中,对受体上同一点只能实现单次沉积的弊端,实现更加灵活的转移加工。
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