横向相减差动共焦超大曲率半径测量方法

    公开(公告)号:CN109945804B

    公开(公告)日:2020-12-15

    申请号:CN201910319702.9

    申请日:2019-04-19

    IPC分类号: G01B11/255

    摘要: 本发明公开的横向相减差动共焦超大曲率半径测量方法,属于光学精密检测技术领域。本发明方法在共焦测量系统中,首先在CCD探测的艾丽斑图像上通过软件设置大、小虚拟针孔探测区域(图像区)并将其探测的两条共焦特性曲线通过相减处理来锐化共焦特性曲线,然后将锐化共焦特性曲线进行横向相减差动相减处理来得到轴向高灵敏的差动共焦特性曲线,最后再利用该横向相减差动共焦特性曲线零点与测量系统焦点精确对应这一特性对超大曲率半径测量中各特征点实现高精度定焦,进而实现超大曲率半径的高精度测量。该方法为超大曲率半径的高精度测量提供了一个全新的技术途径。

    共焦透镜中心厚度测量方法与装置

    公开(公告)号:CN101788271A

    公开(公告)日:2010-07-28

    申请号:CN201010128449.8

    申请日:2010-03-17

    IPC分类号: G01B11/06

    摘要: 本发明属于光学精密测量技术领域,涉及一种共焦透镜中心厚度测量方法与装置,该方法首先通过共焦定焦原理分别确定透镜前表面顶点和后表面顶点的位置,并获取共焦测头两次定位的位置坐标,然后利用光线追迹公式计算透镜中心厚度。同时在测量光路中引入环形光瞳,遮挡近轴光线,形成空心的测量光锥,削减了像差对测量结果的影响;该装置包括分光系统、物镜、共焦系统、测长系统和移动导轨;其中分光系统、物镜和被测透镜依次放在准直光源出射光线方向,共焦系统放置在分光系统反射方向,被测透镜表面与分光系统将光束反射至共焦系统,并配合共焦系统实现被测透镜前表面顶点和后表面顶点的精确定位,实现了透镜中心厚度的非接触高精度测量。

    共焦镜组轴向间隙测量方法与装置

    公开(公告)号:CN101782373A

    公开(公告)日:2010-07-21

    申请号:CN201010128405.5

    申请日:2010-03-17

    IPC分类号: G01B11/14

    摘要: 本发明属于光学精密测量技术领域,涉及一种共焦镜组轴向间隙测量的方法与装置,该方法首先通过共焦定焦原理对镜组内各透镜表面实现高精度定位,并获得各定位点处共焦测头的位置坐标,然后利用光线追迹递推公式依次计算镜组内各轴向间隙。同时在测量光路中引入环形光瞳,遮挡近轴光线,形成空心的测量光锥,削减了像差对测量结果的影响。本发明使用共焦光锥对镜组内的透镜表面实现非接触高精度定位,具有工作距离长,测量速度快,测量精度高,测量过程中无需拆卸被测镜组等特点。

    横向相减差动共焦超大曲率半径测量方法

    公开(公告)号:CN109945804A

    公开(公告)日:2019-06-28

    申请号:CN201910319702.9

    申请日:2019-04-19

    IPC分类号: G01B11/255

    摘要: 本发明公开的横向相减差动共焦超大曲率半径测量方法,属于光学精密检测技术领域。本发明方法在共焦测量系统中,首先在CCD探测的艾丽斑图像上通过软件设置大、小虚拟针孔探测区域(图像区)并将其探测的两条共焦特性曲线通过相减处理来锐化共焦特性曲线,然后将锐化共焦特性曲线进行横向相减差动相减处理来得到轴向高灵敏的差动共焦特性曲线,最后再利用该横向相减差动共焦特性曲线零点与测量系统焦点精确对应这一特性对超大曲率半径测量中各特征点实现高精度定焦,进而实现超大曲率半径的高精度测量。该方法为超大曲率半径的高精度测量提供了一个全新的技术途径。