一种等离子体体征参数检测电路及可插拔模块

    公开(公告)号:CN111432541A

    公开(公告)日:2020-07-17

    申请号:CN201911049172.7

    申请日:2019-10-31

    Abstract: 本申请实施例中提供了一种等离子体体征参数检测电路及可插拔模块,检测电路,包括:彼此串联的一偏压正电位、第一分压电阻和第二分压电阻;彼此串联的一偏压负电位、偏压电源、第三分压电阻和第四分压电阻;偏压负电位连接至偏压电源负极,偏压电源正极连接至第三分压电阻的一端;第二分压电阻和第四分压电阻共地;偏压正电位和偏压负电位在检测时与等离子体接触;量程切换模块,用于根据检测到的等离子体的离子饱和流将不同阻值的采样电阻连接至偏压正电位和偏压电源的正极之间。采用本申请中的方案,通过改变分压电阻比率,实现大于两个量级的等离子体信号的高精度采集和测量。

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