一种三轴集成光学陀螺用全薄膜铌酸锂芯片

    公开(公告)号:CN118655657A

    公开(公告)日:2024-09-17

    申请号:CN202411149047.4

    申请日:2024-08-21

    摘要: 本发明公开了一种三轴集成光学陀螺用全薄膜铌酸锂芯片,属于光电集成技术领域。包括一个输入端口和六个输出端口,其中输入端口与任一输出端口为一条支路,每条支路上均设置有光栅耦合器、片上起偏器和相位调制器,每条支路通过1×n分束器汇总与输出端口连接,输入端口以及六个输出端口均放置有模斑转换器。本发明输入的光可实现分束、起偏、调制、耦合等功能,可通过端接的方式耦合光源、探测器芯片,可用于构建三轴集成光学陀螺系统。模斑转换器与光纤之间的耦合效率可达90%,其光栅耦合器与光电探测器之间的耦合效率可达50%,芯片上三个相位调制器调制效率均可达到1.5V·cm,构成完整的陀螺系统后,三轴之间的精度差异为±5%。

    一种含有薄膜铌酸锂多功能芯片的全集成光学陀螺

    公开(公告)号:CN118654657A

    公开(公告)日:2024-09-17

    申请号:CN202411132249.8

    申请日:2024-08-19

    IPC分类号: G01C19/72

    摘要: 本发明公开了一种含有薄膜铌酸锂多功能芯片的全集成光学陀螺,属于全集成光学陀螺技术领域。包括薄膜铌酸锂多功能芯片,薄膜铌酸锂多功能芯片包括耦合器,起偏器,调制器和椭圆波导环,耦合器、起偏器、调制器和椭圆波导环通过薄膜铌酸锂波导进行连接,并集成在全片上。本发明中的薄膜铌酸锂多功能芯片能够进行光的分束、起偏、相位调制、环内干涉等功能,陀螺可实现中高精度导航、姿态测算等功能。所述的含有薄膜铌酸锂多功能芯片,起偏效果达到了40dB,调制效率达到0.9V·cm,波导环传输损耗小于0.25dB/m,探测器耦合效率80%以上。具备规模化、批量化生产的潜力,有助于降低集成光学陀螺系统的整体成本。