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公开(公告)号：CN118050849B
公开(公告)日：2024-06-18
申请号：CN202410453978.7
申请日：2024-04-16
申请人： 北京航空航天大学
摘要： 本发明公开了基于铌酸锂的光学陀螺用光引擎、加工方法及工作方法，属于光学器件集成领域，包括集成布置且依次经薄膜铌酸锂脊波导进行光级联的光源、起偏器、光分束器、调制器和探测器，薄膜铌酸锂脊波导包括铌酸锂波导层以及分别包覆于铌酸锂波导层上下两侧的SiO2上包层和SiO2下包层，铌酸锂波导层包括SOI晶圆基底层和铌酸锂薄膜。本发明采用上述基于铌酸锂的光学陀螺用光引擎、加工方法及工作方法，混合集成了光源，起偏器、分束器、调制器和探测器，在保证原有分立器件性能的同时，实现了器件组合整体结构的小型化。
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公开(公告)号：CN118050849A
公开(公告)日：2024-05-17
申请号：CN202410453978.7
申请日：2024-04-16
申请人： 北京航空航天大学
摘要： 本发明公开了基于铌酸锂的光学陀螺用光引擎、加工方法及工作方法，属于光学器件集成领域，包括集成布置且依次经薄膜铌酸锂脊波导进行光级联的光源、起偏器、光分束器、调制器和探测器，薄膜铌酸锂脊波导包括铌酸锂波导层以及分别包覆于铌酸锂波导层上下两侧的SiO2上包层和SiO2下包层，铌酸锂波导层包括SOI晶圆基底层和铌酸锂薄膜。本发明采用上述基于铌酸锂的光学陀螺用光引擎、加工方法及工作方法，混合集成了光源，起偏器、分束器、调制器和探测器，在保证原有分立器件性能的同时，实现了器件组合整体结构的小型化。
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公开(公告)号：CN117891090A
公开(公告)日：2024-04-16
申请号：CN202410284143.3
申请日：2024-03-13
申请人： 北京航空航天大学
摘要： 本发明公开了一种调制接收用铌酸锂薄膜集成芯片及其工作方法，属于光学技术领域，芯片包括本体，本体从下到上依次设置的基底层、二氧化硅下包层、铌酸锂薄膜层以及二氧化硅上包层，包括沿光路依次布置在本体内的光分束器、光调制器以及光探测器，光分束器、光调制器以及光探测器通过铌酸锂脊波导结构进行光互联。采用上述结构的一种调制接收用铌酸锂薄膜集成芯片及其工作方法，实现了芯片一致性和整体结构的小型化，并保证了各器件的具有与分立器件相当的较高性能。
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公开(公告)号：CN118654657A
公开(公告)日：2024-09-17
申请号：CN202411132249.8
申请日：2024-08-19
申请人： 北京航空航天大学
IPC分类号： G01C19/72
摘要： 本发明公开了一种含有薄膜铌酸锂多功能芯片的全集成光学陀螺，属于全集成光学陀螺技术领域。包括薄膜铌酸锂多功能芯片，薄膜铌酸锂多功能芯片包括耦合器，起偏器，调制器和椭圆波导环，耦合器、起偏器、调制器和椭圆波导环通过薄膜铌酸锂波导进行连接，并集成在全片上。本发明中的薄膜铌酸锂多功能芯片能够进行光的分束、起偏、相位调制、环内干涉等功能，陀螺可实现中高精度导航、姿态测算等功能。所述的含有薄膜铌酸锂多功能芯片，起偏效果达到了40dB，调制效率达到0.9V·cm，波导环传输损耗小于0.25dB/m，探测器耦合效率80%以上。具备规模化、批量化生产的潜力，有助于降低集成光学陀螺系统的整体成本。
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公开(公告)号：CN118089691A
公开(公告)日：2024-05-28
申请号：CN202410260215.0
申请日：2024-03-07
申请人： 北京航空航天大学
摘要： 本发明公开了一种复合材料集成光学陀螺用芯片、制备方法及工作方法，属于光电集成技术领域，芯片包括按照输入光的传输顺序设置有分束器、起偏器、调制器以及波导环。分束器、起偏器以及调制器均为薄膜铌酸锂器件，分束器、起偏器以及调制器通过薄膜铌酸锂波导进行光互联。波导环为氮化硅材料器件，波导环与调制器通过层间耦合结构进行光互联。采用上述一种复合材料集成光学陀螺用芯片、制备方法及工作方法，可实现对光的分束、起偏、相位调制以及环内干涉功能，并可以用于构成闭环光学陀螺测试系统，其中起偏效果达到40dB，调制效率达到1V·cm，波导环传输损耗小于2.5dB/m。
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公开(公告)号：CN117590628A
公开(公告)日：2024-02-23
申请号：CN202410073710.0
申请日：2024-01-18
申请人： 北京航空航天大学
摘要： 本发明公开了一种基于薄膜铌酸锂波导的光学器件、制备方法及工作方法，属于光学领域，包括集成设置于同一芯片上且沿光路依次布置的光分束器、光片上起偏器和光调制器，光分束器与光片上起偏器之间以及光片上起偏器与光调制器之间均通过薄膜铌酸锂波导进行光互联；薄膜铌酸锂波导包括由下到上依次设置的Si基底层、SiO2下包层、薄膜铌酸锂波导芯层、SiO2上包层和金属电极层。本发明采用上述结构的基于薄膜铌酸锂波导的光学器件、制备方法及工作方法，通过薄膜铌酸锂波导进行各器件之间的级联，保证了波导结构的一致性以及器件整体结构的小型化。
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公开(公告)号：CN117930446A
公开(公告)日：2024-04-26
申请号：CN202410343680.0
申请日：2024-03-25
申请人： 北京航空航天大学
摘要： 本发明公开了一种传感用片上集成光收发组件及其工作方法，属于光学器件集成领域，包括由激光器、分束器和光探测器构成的集成式光收发组件本体，集成式光收发组件本体的尺寸为5cm×2cm，插入损耗≤9dB，出纤功率≥300μW，偏振消光比≤1.5dB；激光器、分束器和光探测器均集成于同一基底芯片上，激光器与分束器的输入端耦合，分束器的输出端与光探测器耦合，且分束器的输入输出端与单模尾纤耦合连接。本发明采用上述传感用片上集成光收发组件及其工作方法，实现了片上薄膜波导分束器的制备和应用，替代传统的光纤方案，保证器件性能的同时，完成了器件整体结构的小型化。
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公开(公告)号：CN117590628B
公开(公告)日：2024-03-29
申请号：CN202410073710.0
申请日：2024-01-18
申请人： 北京航空航天大学
摘要： 本发明公开了一种基于薄膜铌酸锂波导的光学器件、制备方法及工作方法，属于光学领域，包括集成设置于同一芯片上且沿光路依次布置的光分束器、光片上起偏器和光调制器，光分束器与光片上起偏器之间以及光片上起偏器与光调制器之间均通过薄膜铌酸锂波导进行光互联；薄膜铌酸锂波导包括由下到上依次设置的Si基底层、SiO2下包层、薄膜铌酸锂波导芯层、SiO2上包层和金属电极层。本发明采用上述结构的基于薄膜铌酸锂波导的光学器件、制备方法及工作方法，通过薄膜铌酸锂波导进行各器件之间的级联，保证了波导结构的一致性以及器件整体结构的小型化。
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