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公开(公告)号:CN119689647A
公开(公告)日:2025-03-25
申请号:CN202510015469.0
申请日:2025-01-06
Applicant: 北京邮电大学
Abstract: 本发明提供了一种反转T型波导结构的光栅耦合器,涉及光电集成器件技术领域,包括光子芯片及光纤(1)。光子芯片结构从上至下依次包括以下部分:波导耦合光栅(2)、波导层(3)、二氧化硅掩埋层(4)、反射镜层(5)、衬底层(6);其中,反射镜层(5)由多组折射率差较大的不同材料层交替形成,波导耦合光栅在波导层(3)上刻蚀形成,光纤(1)被设置在光子芯片上方,与垂直方向z轴形成倾斜角。反转T型结构可有效增强相邻光栅之间的相互作用,增加向上衍射的光束,减少横向透射光带来的插入损耗,以提高光栅耦合器的耦合效率,并实现大带宽。