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公开(公告)号：CN113188454A
公开(公告)日：2021-07-30
申请号：CN202110561572.7
申请日：2021-05-22
申请人： 北方民族大学
IPC分类号： G01B11/02
摘要： 本发明提供了一种基于时间差的位移传感器及其测量方法，该基于时间差的位移传感器包括：反射镜一，用于接收激光束一被三角波反射镜的第一反射面反射的激光束，且使该激光束在测量过程中沿同一路径反射至三角波反射镜的第二反射面；光偏转器一，用于使三角波反射镜的第二反射面反射的激光束的入射角度在设定角度区间内匀速偏转；光电探测器一和光电探测器二，都是用于在光偏转器一的一个偏转周期内，两次接收经光偏转器一偏转后的激光束；处理系统用于根据光电探测器一和光电探测器二分别接收到激光束的时间差及光偏转器一的偏转速度，计算出被测物体的位移变化值。本发明可以提高位移传感器的测量精度。
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公开(公告)号：CN110763135A
公开(公告)日：2020-02-07
申请号：CN201911011147.X
申请日：2019-10-23
申请人： 北方民族大学
IPC分类号： G01B9/02
摘要： 本发明涉及一种高精度激光干涉仪，包括读数头、以及分别设置在读数头两侧的第一固定直角反射镜组、第二固定直角反射镜组，所述第一固定直角反射镜组和第二固定直角反射镜组镜像对称设置，所述读数头包括激光源、分光镜、反射镜、移动直角反射镜组、聚光透镜、光电探测器。反射激光和透射激光这两路激光束经聚光透镜入射至光电探测器后发生干涉，光电探测器对干涉现象进行检测即可获得读数头对于第一固定直角反射镜组和第二固定直角反射镜组的相对位移量；读数头在移动时，干涉激光实现了差分效果，两路干涉激光中的其中一束激光光程在减小时，另一束激光光程必然在增大，提高了干涉激光光程差的放大倍数，从而提高了激光干涉仪的干涉位移测量精度。
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公开(公告)号：CN110631486A
公开(公告)日：2019-12-31
申请号：CN201911087610.9
申请日：2019-11-08
申请人： 北方民族大学
IPC分类号： G01B11/02
摘要： 本发明涉及一种反射式位移传感器，包括读数头、圆弧反射镜，所述圆弧反射镜用于将接收到的激光束反射至透镜；所述读数头包括：激光器，用于发射激光束；透镜，用于将接收到的激光束聚光透射至光电探测器；光电探测器，用于接收透镜透射的激光束；处理器，用于计算光电探测器上激光束入射点之间的距离，并换算为读数头与圆弧反射镜之间的相对位移量。本发明通过移动读数头或者移动圆弧反射镜，来完成对被测物件的测量，通过透镜对激光束进行聚光，使得入射至光电探测器的激光近似平行，确保光电探测器的检测精度。本发明先将被测物件的位移变化量转化为角度变化，再将角度变化转化为位移量变化，通过光学几何关系即可得到被测物件的实际位移量。
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公开(公告)号：CN210570504U
公开(公告)日：2020-05-19
申请号：CN201921920532.1
申请日：2019-11-08
申请人： 北方民族大学
IPC分类号： G01B11/02
摘要： 本实用新型涉及一种反射式位移传感器，包括读数头、圆弧反射镜，圆弧反射镜用于将接收到的激光束反射至透镜；读数头包括：激光器，用于发射激光束；透镜，用于将接收到的激光束聚光透射至光电探测器；光电探测器，用于接收透镜透射的激光束；处理器，用于计算光电探测器上激光束入射点之间的距离，并换算为读数头与圆弧反射镜之间的相对位移量。通过移动读数头或者移动圆弧反射镜，来完成对被测物件的测量，通过透镜对激光束进行聚光，使得入射至光电探测器的激光近似平行，确保光电探测器的检测精度。本实用新型先将被测物件的位移变化量转化为角度变化，再将角度变化转化为位移量变化，通过光学几何关系即可得到被测物件的实际位移量。
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公开(公告)号：CN210570480U
公开(公告)日：2020-05-19
申请号：CN201921785795.6
申请日：2019-10-23
申请人： 北方民族大学
IPC分类号： G01B9/02
摘要： 本实用新型涉及一种提高测量精度的激光干涉仪，包括读数头、以及分别设置在读数头两侧的第一固定直角反射镜组、第二固定直角反射镜组，所述第一固定直角反射镜组和第二固定直角反射镜组镜像对称设置，所述读数头包括激光源、分光镜、反射镜、移动直角反射镜组、聚光透镜、光电探测器。反射激光和透射激光这两路激光束经聚光透镜入射至光电探测器后发生干涉，光电探测器对干涉现象进行检测即可获得读数头对于第一固定直角反射镜组和第二固定直角反射镜组的相对位移量；读数头在移动时，干涉激光实现了差分效果，两束激光束的光程差产生变化，提高了干涉激光光程差的放大倍数，从而提高了激光干涉仪的干涉位移测量精度。
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公开(公告)号：CN214621035U
公开(公告)日：2021-11-05
申请号：CN202121106670.3
申请日：2021-05-22
申请人： 北方民族大学
IPC分类号： G01B11/02
摘要： 本实用新型提供了一种基于时间差的位移传感器，包括：反射镜一，用于接收激光束一被三角波反射镜的第一反射面反射的激光束，且使该激光束在测量过程中沿同一路径反射至三角波反射镜的第二反射面；光偏转器一，用于使三角波反射镜的第二反射面反射的激光束的入射角度在设定角度区间内匀速偏转；光电探测器一和光电探测器二，都是用于在光偏转器一的一个偏转周期内，两次接收经光偏转器一偏转后的激光束；处理系统用于根据光电探测器一和光电探测器二分别接收到激光束的时间差及光偏转器一的偏转速度，计算出被测物体的位移变化值。本实用新型可以提高位移传感器的测量精度。
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