公开(公告)号：CN107794499A

公开(公告)日：2018-03-13

申请号：CN201710830231.9

申请日：2017-09-15

申请人： 北方电子研究院安徽有限公司

发明人： 刘阳 ,  陈计学 ,  房立峰 ,  张帅 ,  张伟

IPC分类号： C23C14/24

摘要： 本发明公开一种高沉积速率蒸镀的蒸发舟调节固定装置，包括正调节固定板、负调节固定板、正电极延长柱与负电极延长柱，正调节固定板及负调节固定板分别水平连接于正蒸镀电极及负蒸镀电极顶部；正电极延长柱及负电极延长柱分别通过固定孔竖直固定于正调节固定板及负调节固定板；正电极延长柱及负电极延长柱顶部分别螺纹连接有固定套筒，固定套筒侧壁设有水平的开口槽,两个固定套筒的开口槽相对设置，蒸发舟两端分别插入两个开口槽形成配合；两个固定套筒上部分别设有锁紧螺栓，使蒸发舟两端分别夹紧固定于相对应的锁紧螺栓与电极延长柱之间；通过电极延长柱使蒸发舟的安装位置升高，从而缩短了蒸发源和基片的距离，能够提高沉积速率。

公开(公告)号：CN107794499B

公开(公告)日：2019-10-18

申请号：CN201710830231.9

申请日：2017-09-15

申请人： 北方电子研究院安徽有限公司

发明人： 刘阳 ,  陈计学 ,  房立峰 ,  张帅 ,  张伟

IPC分类号： C23C14/24

摘要： 本发明公开一种高沉积速率蒸镀的蒸发舟调节固定装置，包括正调节固定板、负调节固定板、正电极延长柱与负电极延长柱，正调节固定板及负调节固定板分别水平连接于正蒸镀电极及负蒸镀电极顶部；正电极延长柱及负电极延长柱分别通过固定孔竖直固定于正调节固定板及负调节固定板；正电极延长柱及负电极延长柱顶部分别螺纹连接有固定套筒，固定套筒侧壁设有水平的开口槽,两个固定套筒的开口槽相对设置，蒸发舟两端分别插入两个开口槽形成配合；两个固定套筒上部分别设有锁紧螺栓，使蒸发舟两端分别夹紧固定于相对应的锁紧螺栓与电极延长柱之间；通过电极延长柱使蒸发舟的安装位置升高，从而缩短了蒸发源和基片的距离，能够提高沉积速率。

公开(公告)号：CN106356322A

公开(公告)日：2017-01-25

申请号：CN201610921655.1

申请日：2016-10-20

申请人： 北方电子研究院安徽有限公司

发明人： 赵建强 ,  张伟 ,  姜楠 ,  陈计学

IPC分类号： H01L21/67 ,  H01L21/306 ,  H01L21/683

CPC分类号： H01L21/67075 ,  H01L21/30604 ,  H01L21/6835 ,  H01L2221/68304

摘要： 本发明提供一种晶圆腐蚀装置，其特征在于它包括：支架（1），在支架（1）上设有电机（2），在电机（2）的输出端上设有连接杆（3），在连接杆3）的端部设有粘片头（4），设置一个与粘片头4）对应配合的腐蚀槽主体（5）。本发明具有结构简单、工艺操作易于实现、成本低、可靠性高等优点。